01-04 VETEK | CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள் சுத்தம் செய்தல், மீளுருவாக்கம் மற்றும் முழு வாழ்க்கை சுழற்சி மேலாண்மை

பூசப்பட்ட பாகங்கள் ஒவ்வொரு வாழ்நாள் முனையிலும் முழுமையாக அகற்றப்பட வேண்டியதில்லை. CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள் சுத்தம் செய்வதற்கும் மீளுருவாக்கம் செய்வதற்கும் எப்போது பொருத்தமானது, பின்னர் அவற்றை எவ்வாறு ஏற்றுக்கொள்வது மற்றும் முழு-வாழ்க்கைச் சுழற்சி மனப்போக்குடன்-உதவியுடன் மாற்றுத் திறனை எவ்வாறு நிர்வகிப்பது என்பதை இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது. சமநிலை மகசூல் மற்றும் ஒரு ஓட்டத்திற்கான செலவு அதிக நம்பகத்தன்மையுடன் இருக்கும். லைனில் உள்ள சஸ்செப்டர்கள், ப்ரீஹீட் ரிங்க்ஸ் மற்றும் ஒத்த பாகங்களின் உண்மையான விலை கொள்முதல் விலை மட்டுமல்ல, மாற்று அதிர்வெண், வேலையில்லா நேர ஜன்னல்கள் மற்றும் துகள் அபாயமும் ஆகும்.

1.உடனடி ஸ்கிராப்புக்குப் பதிலாக எப்போது சுத்தம் செய்வதும், மீளுருவாக்கம் செய்வதும் பொருத்தமானது?

முக்கிய முடிவு:பூச்சு இன்னும் பெரிய அளவில் அப்படியே இருக்கும் போது மற்றும் முக்கிய பிரச்சினை மேற்பரப்பு படிவு அல்லது நீக்கக்கூடிய மாசுபாடு, சுத்தம் மற்றும் மீளுருவாக்கம் பெரும்பாலும் உடனடி ஸ்கிராப்பை விட செலவு குறைந்ததாகும். பெரிய பகுதியின் சிதைவு, கடுமையான மெல்லிய அல்லது அடி மூலக்கூறு சேதம் ஏற்கனவே ஏற்பட்டிருந்தால், நம்பிக்கையின் அடிப்படையில் மீண்டும் மீண்டும் சுத்தம் செய்வதை விட ஓய்வு மற்றும் மாற்றத்திற்கு முன்னுரிமை கொடுங்கள்.

முக்கியமானது "எத்தனை ரன்கள் பயன்படுத்தப்பட்டது" என்பது அல்ல, ஆனால் பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறில் எவ்வளவு மீட்கக்கூடிய நிலை உள்ளது.

சுத்தப்படுத்துதல் மற்றும் மீளுருவாக்கம் செய்வதற்கு சாதகமான சூழ்நிலைகள்

• மேற்பரப்பு செயல்முறை வைப்பு அல்லது சுத்தம் செய்யக்கூடிய மாசுபாடு; பூச்சு உடல் வெளிப்படையான நீக்கம் இல்லை

• தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மை இன்னும் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய வரம்பிற்குள் உள்ளது; துகள்கள் முக்கியமாக மேற்பரப்பு நிலையில் இருந்து எழுகின்றன

• பரிமாணங்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளை அப்படியே கண்டறிதல்; நிறுவலில் பொருத்தமான சிக்கல்கள் இல்லை

நேரடி ஓய்வு பெற வேண்டிய சூழ்நிலைகள்

• பெரிய பகுதி பூச்சு நீக்கம், விரிசல் அல்லது கடுமையான உள்ளூர் மெலிதல்

• அடி மூலக்கூறு சிதைவு, சேதம் அல்லது சகிப்புத்தன்மையின் முக்கிய பரிமாணங்கள்

• பல சுத்தம் செய்த பிறகு, துகள்கள் அல்லது வாழ்நாள் இன்னும் விரைவாக சிதைந்துவிடும்; மேலும் மீளுருவாக்கம் செய்வதன் விளிம்பு நன்மை மிகவும் குறைவு

2.மீளுருவாக்கம் செய்யப்பட்ட பகுதி கருவிக்கு திரும்ப முடியுமா என்பதை எவ்வாறு மதிப்பிடுவது?

முக்கிய முடிவு:மீளுருவாக்கம் என்பது "சுத்தம் என்றால் தயார்" அல்ல. குறைந்தபட்சம், தோற்றம் மற்றும் மேற்பரப்பு, முக்கியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் தேவையான தடிமன்/சீரான மாதிரியை சரிபார்க்கவும்; நிபந்தனைகள் அனுமதிக்கும் போது, ​​துகள்கள் மற்றும் வெப்பப் புலத்தை உறுதிப்படுத்த கருவியில் ஒரு சிறிய தொகுதியை இயக்கவும்.

சுத்தம் செய்வது மேற்பரப்பை மேம்படுத்தலாம் ஆனால் இழந்த பூச்சு தடிமன் அல்லது சேதமடைந்த அடி மூலக்கூறை மீட்டெடுக்க முடியாது. ஏற்றுக்கொள்ளும் அளவுகோல்கள் புதிய பகுதி எதிர்பார்ப்புகளுக்குக் கீழே இருக்க வேண்டும் மற்றும் "வெறுமனே பொருந்தக்கூடிய" தளத்திற்கு மேல் இருக்க வேண்டும், மேலும் பராமரிப்பு ஆவணங்களில் எழுதப்பட வேண்டும்.

மீளுருவாக்கம் செய்த பிறகு பொருட்களை சரிபார்க்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது

3.முழு வாழ்க்கைச் சுழற்சி மேலாண்மை எவ்வாறு ஒரு ஓட்டத்திற்கான செலவைக் குறைக்கலாம்?

முக்கிய முடிவு:இணைப்பு வாங்குதல், கருவியில் கண்காணிப்பு, சுத்தம் செய்தல்/மீளுருவாக்கம் மற்றும் ஒரு மூடிய சுழற்சியில் ஓய்வு. "ஒரு ஓட்டத்திற்கான அனைத்து செலவு" என்பதை முடிவு செய்யுங்கள், "அலகு கொள்முதல் விலை" அல்ல. பூச்சு இன்னும் மீட்கப்படும் போது மீண்டும் உருவாக்கவும்; ஆபத்து அதிகரிக்கும் போது தீர்க்கமாக மாற்றவும்-பொதுவாக போர்வை ஸ்க்ராப் அல்லது அதிக உபயோகத்தை விட மலிவானது.

வாழ்க்கைச் சுழற்சி நிர்வாகத்தின் முக்கிய அம்சம் கேடன்ஸ் ஆகும்: மிக விரைவாக ஓய்வு பெறுவது வாழ்க்கையை பூசுகிறது; மிகவும் தாமதமாக மாற்றுவது மகசூல் மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தில் செலுத்தப்படுகிறது.

செயல்படக்கூடிய மேலாண்மை படிகள்

1. ஒரு பகுதி பதிவை உருவாக்கவும்: நிறைய, ரன் எண்ணிக்கை, துகள்/விரோத பதிவுகள், சுத்தமான எண்ணிக்கை.

2. மீளுருவாக்கம் தூண்டுதல்கள் (எ.கா. துகள் போக்கு, தோற்றம் தரம்) மற்றும் கட்டாய ஓய்வு அளவுகோல்களை அமைக்கவும்.

3. கலப்புத் தரவைத் தவிர்க்க, புதிய பகுதிகளிலிருந்து மீளுருவாக்கம் செய்யப்பட்ட பகுதிகளைத் தனித்தனியாகக் குறிக்கவும்.

4. ஓய்வுக்குப் பிறகு, தனிப்பயனாக்கம்/உதிரி கேடன்ஸை உடனடியாகத் தொடங்குங்கள்; உபகரணங்கள்-இணக்கத்தன்மை மற்றும் தேர்வு கிளஸ்டர் பக்கங்களுக்கான இணைப்பு.

4.வழக்கு ஆய்வு: "துவைக்க முடியும் ஆனால் மிகவும் தாமதமாக கழுவினால்" துகள் ஏறுதல்

முக்கிய முடிவு:சுத்தம் மற்றும் மீளுருவாக்கம் ஒரு சாளரம் உள்ளது. பூச்சு ஏற்கனவே உள்நாட்டில் மெலிந்து, மேற்பரப்பு சிதைந்துவிடும் வரை காத்திருப்பது பெரும்பாலும் துகள்கள் மீண்டும் எழுவதற்கு முன்பு சுருக்கமாக அடக்குகிறது. வைப்புத்தொகை ஆதிக்கம் செலுத்தும் போது தலையிடுவது மற்றும் பூச்சு இன்னும் நிலையான மறுஉற்பத்தி பலனை அளிக்கிறது.

பொறியியல் குறிப்பு:

ஒரு GaN MOCVD கோடு "துகள்கள் தெளிவாக வரம்பை மீறும் போது மட்டுமே முழு தொகுதியையும் மாற்றுவதற்கான" உத்தியைப் பயன்படுத்தியது.CVD SiC பூசப்பட்டதுsusceptors. வாழ்க்கையின் நடுப்பகுதியில், துகள்கள் மெதுவாக ஏறின, ஆனால் சராசரி வாழ்நாள் இன்னும் வரலாற்று மாற்றத்தை அடையவில்லை என்பதால், சுத்தம் செய்ய திட்டமிடப்படவில்லை. அடுத்த இரண்டு வாரங்களில், பல கருவிகளில் விளிம்பு துகள்கள் ஒன்றாக உயர்ந்தன, அடுக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம் மற்றும் உதிரி-பகுதி அழுத்தத்துடன் ஆரம்ப மொத்த மாற்றத்தை கட்டாயப்படுத்தியது. ஆரம்பத்தில் எடுக்கப்பட்ட பாகங்களை ஆய்வு செய்தது: பெரிய பகுதி பூச்சு நீக்கம் இல்லை; முக்கியமாக தடிமனான செயல்முறை வைப்பு மற்றும் அதிகரித்த உள்ளூர் நுண்ணிய கடினத்தன்மை. தடிமன் மாதிரியானது தாவரத்தின் மீளுருவாக்கம் குறைந்த வரம்பிற்கு மேல் இன்னும் முக்கியமான மண்டலங்களைக் காட்டியது. துகள்கள் முதன்முதலில் நிலையான மேல்நோக்கிய போக்கைக் காட்டும்போது சுத்தம்/மீளுருவாக்கம் திட்டமிடப்பட்டிருந்தால், கூடுதல் உபயோகமான வாழ்க்கையை மீட்டெடுப்பதற்கான அதிக வாய்ப்பை வரலாற்று அனுபவம் பரிந்துரைத்தது. வரி "தொடர்ந்து N தொடர்ச்சியான ரன்களுக்கான உள் கட்டுப்பாட்டிற்கு மேல் உள்ள துகள்கள்" என்று சுத்திகரிப்பு தூண்டுதலில் எழுதப்பட்டது, திரும்புவதற்கு முன் தோற்றம் + பரிமாணங்கள் + சிறிய தொகுதி ஆன்-டூல் சரிபார்ப்பை அனுப்ப மறுஉருவாக்கம் செய்யப்பட்ட பாகங்கள் தேவை, மேலும் புதிய பகுதி முன்னணி நேரத்துடன் கட்டாய ஓய்வு விதிமுறைகளை சீரமைத்தது - மீண்டும் "கழுவலாம் ஆனால் செய்ய முடியாது" என்ற செயலற்ற வடிவத்தைத் தவிர்க்கிறது. இந்த வழக்கு காட்டுகிறது: லைஃப்சைக்கிள் மேனேஜ்மென்ட் இறுதி ஸ்கிராப் புள்ளியை மட்டுமல்ல, தூண்டுதல் புள்ளிகளையும் பிடிக்க வேண்டும்; துப்புரவு மற்றும் மீளுருவாக்கம் ஒரு செலவுக் கருவி மற்றும் ஒரு கேடன்ஸ் கருவி.

5.அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. அனைத்தும் முடியும்CVD SiC பூசப்பட்டதுபாகங்கள் சுத்தம் செய்யப்பட்டு மீண்டும் உருவாக்கப்பட வேண்டுமா?

இல்லை. இது பூச்சு ஒருமைப்பாடு, மீதமுள்ள தடிமன், அடி மூலக்கூறு நிலை மற்றும் மாசுபடுத்தும் வகையைப் பொறுத்தது. சிதைவு, கடுமையான மெலிதல் அல்லது அடி மூலக்கூறு சேதம் உள்ள பாகங்கள் ஓய்வு பெற வேண்டும்.

2. மீளுருவாக்கத்திற்குப் பிந்தைய வாழ்நாள் புதிய பகுதி நிலைக்குத் திரும்ப முடியுமா?

பொதுவாக அதை ஒரு புதிய பகுதிக்கு சமன் செய்ய முடியாது. ஒரு நியாயமான எதிர்பார்ப்பு என்பது பயன்படுத்தக்கூடிய கூடுதல் வாழ்க்கைப் பிரிவை மீட்டெடுப்பதாகும்; பதிவுகள் மற்றும் ஆன்-டூல் சரிபார்ப்பு மூலம் நிர்வகிக்கலாம், புதிய பகுதி வாழ்நாளை நேரடியாக விரிவுபடுத்துவதன் மூலம் அல்ல.

3. சுத்தம் செய்வது பூச்சுக்கு சேதம் விளைவிக்கும்?

முறையற்ற செயல்முறை முடியும். பூச்சு அமைப்புடன் பொருந்திய துப்புரவு அணுகுமுறையைத் தேர்வுசெய்து, மீளுருவாக்கம் செய்த பிறகு தோற்றம் மற்றும் தேவையான தடிமன்/மேற்பரப்பு அளவீடுகளைச் சரிபார்க்கவும்.

4. சுத்தமான எண்ணிக்கையில் மேல் வரம்பை எவ்வாறு அமைப்பது?

தடிமன் குறைந்த வரம்பு, துகள் மறு உயர்வு விகிதம் மற்றும் வரலாற்று தரவு ஆகியவற்றை இணைக்கவும். பல மீளுருவாக்கம் செய்த பிறகு நன்மைகள் தெளிவாகக் குறைந்துவிட்டால், ஓய்வு மற்றும் மாற்றத்திற்குச் செல்லவும்.

5. இது எவ்வாறு தேர்வு மற்றும் தரமான ஏற்றுக்கொள்ளலுடன் இணைகிறது?

தேர்வு பொருள் அமைப்பை வரையறுக்கிறது; தர அளவீடுகள் உள்வரும் தரங்களை வரையறுக்கின்றன; சுத்தம் / மீளுருவாக்கம் நடுத்தர வாழ்க்கை செலவு மற்றும் ஆபத்து வரையறுக்கிறது. தடிமன், துகள்கள் மற்றும் தோற்றம் ஆகியவற்றிற்கு மூன்றுமே ஒரே மொழியைப் பயன்படுத்த வேண்டும், இதனால் ஒருவருக்கொருவர் பேசுவதைத் தவிர்க்க வேண்டும்.

6.சுருக்கம் மற்றும் அடுத்த படிகள்

சுத்தம் மற்றும் மீளுருவாக்கம் ஸ்கிராப்பை தாமதப்படுத்துவதற்கான ஒரு வழி அல்ல; பூச்சு இன்னும் மீட்கக்கூடியதாக இருக்கும்போது, ​​பயன்படுத்தக்கூடிய ஆயுளை நீட்டிக்க இது ஒரு கருவியாகும். தெளிவான தூண்டுதல்களை எழுதுவது, மறுபிறப்புக்கு பிந்தைய ஏற்றுக்கொள்ளல் மற்றும் ஓய்வுபெறும் அளவுகோல்கள் பொதுவாக ஒரு ஓட்டத்திற்கான செலவு மற்றும் வரி நிலைத்தன்மை ஆகிய இரண்டையும் மேம்படுத்துகிறது.

ஒரு குறிப்பிட்ட பகுதி மீளுருவாக்கம் செய்வதற்கு ஏற்றதா அல்லது பதிவுகளை உருவாக்க மற்றும் விதிகளைத் தூண்டுவதற்கு ஏற்றதா என்பதை நீங்கள் மதிப்பிட வேண்டும் என்றால், VeTek தொழில்நுட்பக் குழுவைத் தொடர்புகொள்ள உங்களை வரவேற்கிறோம். டாக்டர். சியாவோ மற்றும் பொறியியல் குழு துப்புரவு மதிப்பீடு, மறு-ஏற்றுக்கொள்ளுதல் மற்றும் மாற்றியமைத்தல் ஆகியவற்றில் உதவ முடியும்.

தர அளவீடுகளுக்கு, பார்க்கவும்:VETEK | செயல்முறை நிபந்தனைகளின்படி SiC பூச்சு, TaC பூச்சு அல்லது திட SiC ஐ எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது; முழு கட்டமைப்பிற்கு, தூண் பக்கத்தைப் பார்க்கவும்எபிடாக்ஸி மற்றும் எட்ச்சிங் செயல்முறைகளில் CVD SiC, TaC மற்றும் Solid SiC ஆகியவற்றின் செயல்திறன் எல்லைகள்.

முக்கிய குறிப்புகள் மற்றும் தரவு ஆதாரங்கள்

1. VeTek செமிகண்டக்டர் உள் பொறியியல் மற்றும் வாடிக்கையாளர் பராமரிப்பு/சுத்தம் நடைமுறை.

2. செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி & எட்ச்சிங் கருவிகளுக்கான CVD கோட்டிங் நுகர்பொருட்கள் தேர்வு பொறியியல் கையேட்டில் உள்ள வாழ்க்கைச் சுழற்சி மற்றும் பூச்சு பயன்பாட்டில் உள்ள பராமரிப்பு குறிப்புகள்.

3. VeTek அதிகாரப்பூர்வ இணையதள தயாரிப்பு மற்றும் சுத்தம் தொடர்பான தொழில்நுட்ப பொருட்கள்: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

4. ASTM C1282-17 — இரசாயன ஆயுள் மற்றும் CVD பூச்சுகளின் எட்ச் வீதத்திற்கான நிலையான சோதனை முறை (பூச்சு இரசாயன ஆயுள் மற்றும் எட்ச்-வீதம் தொடர்பான மதிப்பீடு).

5. கூறுகளை சுத்தம் செய்தல் மற்றும் ஏற்றுக்கொள்வது தொடர்பான SEMI தரநிலைகள் (பகுதிகளை சுத்தம் செய்தல், மாசுபடுத்துதல் கட்டுப்பாடு மற்றும் உள்வரும்/வெளிச்செல்லும் அளவுகோல்களுக்கான தொழில் நடைமுறை குறிப்புகள்; குறிப்பிட்ட SEMI ஆவணம்(களை) fab ஏற்றுக்கொண்டது).

குறிப்பு: துப்புரவு/மீளுருவாக்கம் முடிவுகள் செயல்முறை, மாசு வகை மற்றும் பூச்சு நிலை ஆகியவற்றைப் பொறுத்து மாறுபடும்; உண்மையான முடிவுகள் மதிப்பீடு மற்றும் ஆன்-டூல் சரிபார்ப்பைப் பின்பற்றுகின்றன.

ஆசிரியர்: VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னிக்கல் இன்ஜினியரிங் டீம் (டாக்டர். சியாவோவின் வழிகாட்டுதலின் கீழ் முடிக்கப்பட்டது)

மேலும் தொழில்நுட்ப விவாதம் அல்லது மாதிரி மதிப்பீட்டிற்கு, அதிகாரப்பூர்வ இணையதளம் வழியாக எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.