பொருள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பிறகு, தடிமன் சீரான தன்மை, துகள் நிலை மற்றும் தூய்மை போன்ற அளவிடக்கூடிய அளவீடுகள் கருவியின் செயல்திறனை பெரும்பாலும் தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை CVD SiC பூச்சுகளின் முக்கிய தர பரிமாணங்களை ஏற்றுக்கொள்ளுதல் மற்றும் பயன்படுத்துதல் ஆகியவற்றை ஒழுங்கமைக்கிறது, இது "குறிப்பிட்ட பொருத்தங்களில்" இருந்து "அறிக்கை சரிபார்க்கப்படலாம் மற்றும் ஆபத்தை எதிர்பார்க்கலாம்" என்பதற்கு உதவுகிறது.

1.தடிமன் சீரான தன்மை ஏன் நேரடியாக வெப்பப் புலம் மற்றும் திரைப்பட செயல்திறனைப் பாதிக்கிறது?

முக்கிய முடிவு:சீரற்ற பூச்சு தடிமன் உள்ளூர் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு நிலையை மாற்றுகிறது, இது வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் பட தடிமன் விநியோகத்தை பாதிக்கிறது. ஒரு பொதுவான பொறியியல் இலக்கு, தடிமன் சீரான தன்மையை ±5% க்குள் கட்டுப்படுத்துவதாகும், அளவீட்டு புள்ளிகள் பகுதியின் முக்கியமான மண்டலங்களில் வைக்கப்படுகின்றன-சராசரி மதிப்பை மட்டும் பார்க்கவில்லை.

சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் ப்ரீஹீட் வளையங்கள் போன்ற வெப்ப மண்டல பகுதிகளுக்கு, பூச்சு ஒரு இரசாயன தடையாகவும் வெப்ப பாதையின் ஒரு பகுதியாகவும் உள்ளது. அதே பெயரளவு தடிமனின் கீழ், விளிம்பிற்கும் மையத்திற்கும் இடையில் அல்லது பள்ளங்கள் மற்றும் தட்டையான பகுதிகளுக்கு இடையில் பெரிய விலகல்கள், செயல்முறை சாளரத்தின் விளிம்பில் சீரான மாறுபாட்டைப் பெருக்கும்.

பார்க்க வேண்டிய தடிமன் தொடர்பான பொருட்கள்

• பெயரளவு தடிமன் மற்றும் சகிப்புத்தன்மை வரம்பு (செயல்முறை மற்றும் பகுதி அமைப்புக்கு பொருந்தும்)

• பல-புள்ளி சீரான தன்மை (கவர்ரிங் சென்டர், விளிம்பு மற்றும் கட்டமைப்பு மாற்ற மண்டலங்களை பரிந்துரைக்கவும்)

• முக்கியமான மற்றும் விமர்சனமற்ற முகங்களுக்கு இடையிலான வேறுபாடுகள் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய வரம்பிற்குள் உள்ளதா

2.துகள் கட்டுப்பாட்டுக்கு என்ன அளவிடக்கூடிய அளவீடுகள் தேவை?

முக்கிய முடிவு:துகள் கட்டுப்பாடு "குறைந்த துகள்களில்" நிறுத்த முடியாது. இது மேற்பரப்பு தூய்மை, அடர்த்தி மற்றும் பயன்பாட்டில் உள்ள தூள் அபாயத்தில் இறங்க வேண்டும். பொறியியல் நடைமுறையில் ஒரு யூனிட் பகுதிக்கான துகள்கள், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் பூச்சு ஒருமைப்பாடு ஆகியவை உள்வரும் மற்றும் கருவியைப் பயன்படுத்துவதற்கு முன் சரிபார்க்கும் உருப்படிகளாகப் பயன்படுத்துகின்றன. ஒரு இலக்கு துகள் நிலை ≤0.1/cm² வரிசையைக் குறிப்பிடலாம் மற்றும் ஒரு ஆலை செயல்முறைக்கு இறுக்கமாக அல்லது தளர்வாக இருக்கும்.

எபிடாக்ஸி மற்றும் எச்சிங் துகள் உணர்திறன். பூச்சு நுண்துளையாகவோ, மைக்ரோ கிராக்டாகவோ அல்லது உள்நாட்டில் மிகவும் தடிமனாக/மெல்லியதாகவோ இருந்தால், சில பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு அது ஒரு துகள் மூலமாக மாறும் வாய்ப்பு அதிகம். சிக்கல்கள் தோன்றிய பிறகு குற்றம் சாட்டுவதை விட, உள்வரும் ஏற்றுக்கொள்ளலில் மேற்பரப்பு நிலையை தெளிவுபடுத்துவது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

துகள் மற்றும் மேற்பரப்பு சோதனை புள்ளிகள்

• தோற்றம்: சீரான நிறம், வெளிப்படையான குழிகள், கொப்புளங்கள் அல்லது சிதைவு இல்லை

• மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (ரா) ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட வரம்பிற்குள் உள்ளதா

• துகள் அல்லது தூய்மை அறிக்கைகள் வழங்கப்பட்டுள்ளதா (பரஸ்பரம் ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட சோதனை முறைகளின்படி)

3.உள்வரும் பரிசோதனையில் தூய்மை, தடிமன் மற்றும் மேற்பரப்பு நிலையை எவ்வாறு சரிபார்க்கலாம்?

முக்கிய முடிவு:GDMS/ICP-OES தூய்மை அறிக்கைகள், தடிமன் மற்றும் சீரான தரவு, தோற்றம் மற்றும் முக்கியமான பரிமாணங்கள் ஆகியவற்றை நிலையான உள்வரும் தொகுப்பாகக் கருத பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. பூச்சு தூய்மை 5 ppm க்கு கீழே இருக்கலாம்; சில தொகுதிகள் 99.99995% அடையும். அறிக்கைகள் குறிப்பிட்ட இடங்கள் மற்றும் பகுதிகளுக்கு கண்டறியப்படுவதற்கு வரைபடமாக இருக்க வேண்டும்.

ஒரு வாய்மொழி "குறிப்பிட்டத்தை சந்திக்கிறது" என்பதை விட இயங்கக்கூடிய ஏற்றுக்கொள்ளல் பட்டியல் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். பின்வரும் உருப்படிகளை தாவரத் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு ட்ரிம் செய்து வாங்குதல் மற்றும் IQC ஆவணங்களில் எழுதலாம்.

பரிந்துரைக்கப்பட்ட உள்வரும் சரிபார்ப்பு பட்டியல்

கருவியைப் பயன்படுத்துவதற்கு முன்பு, வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் துகள் செயல்திறன் ஆகியவற்றின் மாதிரி சரிபார்ப்பு இன்னும் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. கடந்து செல்லும் அறிக்கையானது செயல்முறைச் சாளரத்தில் உகந்த செயல்திறனுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்காது, ஆனால் இது கருவியில் குறைபாடுள்ள நிறையை வெளியிடுவதற்கான வாய்ப்பை வெகுவாகக் குறைக்கும்.

4.தர சீரமைப்பில் பொறியாளர்களுக்கான நடைமுறைப் பரிந்துரைகள்

முக்கிய முடிவு:தடிமன் சீரான தன்மை, துகள்கள்/மேற்பரப்பு மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை செயல்படுத்தக்கூடிய ஏற்றுக்கொள்ளும் உட்பிரிவுகளில் எழுதவும், மேலும் பலவற்றைக் கொண்டு ஒருவரையொருவர் வரைய அறிக்கைகள் தேவை. முரண்பாடுகள் ஏற்படும் போது, ​​முதலில் அதே இடத்தில் மற்ற கருவிகளை ஒப்பிட்டு மாற்றங்களைச் செயல்படுத்தவும், பின்னர் பொருள் தீர்வை மேம்படுத்த வேண்டுமா என்பதைத் தீர்மானிக்கவும்.

பரிந்துரைக்கப்பட்ட வரிசை:

1. கொள்முதல் விவரக்குறிப்பில், தடிமன் சகிப்புத்தன்மை, சீரான இலக்கு, தூய்மை முறை மற்றும் வரம்புகள் மற்றும் தோற்றத் தேவைகள் ஆகியவற்றை வரையறுக்கவும்.

2. உள்வரும் போது, ​​உடல் பகுதிக்கு எதிரான அறிக்கையைச் சரிபார்க்கவும்; மாதிரி முக்கியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் தோற்றம்.

3. ஒரு புதிய தொகுதி அல்லது செயல்முறை மாற்றத்திற்குப் பிறகு, துகள்கள் மற்றும் சீரான தன்மையை சரிபார்க்க ஒரு சிறிய தொகுதியை கருவியில் இயக்கவும்.

4. வாழ்நாள் அல்லது துகள்கள் அசாதாரணமாக இருக்கும் போது, ​​பூச்சு தரவு மற்றும் உலை/செயல்முறை நிலைகளை இணையாக ஆராயவும்; ஒற்றை காரணப் பண்புகளைத் தவிர்க்கவும்.

5.வழக்கு ஆய்வு: சராசரி தடிமன் கடந்து ஆனால் விளிம்பில் தோல்வியுற்ற ஒரு ஏற்றுக்கொள்ளல் இடைவெளி

முக்கிய முடிவு:சராசரி தடிமன் மட்டும் அறிக்கையிடுவது போதாது. விளிம்பு மற்றும் கட்டமைப்பு மாறுதல் மண்டலங்களில் உள்ள உள்ளூர் மெலிதல் அல்லது தடித்தல் நேரடியாக துகள் மற்றும் வெப்பப் புல அபாயத்தை உயர்த்துகிறது. ஏற்றுக்கொள்ளுதல் என்பது பல-புள்ளி சீரான தன்மை மற்றும் அளவீட்டு இடங்களைக் குறிப்பிட வேண்டும்-வட்டு-சராசரியானது பெயரளவிலான சகிப்புத்தன்மைக்குள் வருமா என்பது மட்டும் அல்ல.

பொறியியல் குறிப்பு:

ஒரு பிறகுSiC எபிடாக்ஸிவரி ஒரு புதிய விவரக்குறிப்பை அறிமுகப்படுத்தியதுCVD SiC பூசப்பட்டதுsusceptor, IQC சப்ளையர் அறிக்கையை சரிபார்த்தது: பெயரளவு தடிமன் மற்றும் வட்டு-சராசரி தடிமன் இரண்டும் ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட சகிப்புத்தன்மைக்குள் இருந்தன, GDMS தூய்மை கடந்துவிட்டன, மற்றும் தோற்றத்தில் வெளிப்படையான ஒழுங்கின்மை இல்லை, எனவே கருவிக்கு நிறைய வெளியிடப்பட்டது. ஏறக்குறைய இருபது ஓட்டங்களுக்குப் பிறகு, சில தட்டுகள் செதில்-விளிம்பு தொடர்புடைய பகுதியில் உயரும் துகள்கள் மற்றும் உள்ளூர் படலம் மெலிந்து போவதை மீண்டும் மீண்டும் காட்டியது, அதே லாட்டில் இருந்து மற்ற தட்டுகள் சாதாரணமாக செயல்பட்டன. செயல்முறை எரிவாயு விநியோகம் முதலில் சந்தேகிக்கப்பட்டது, ஆனால் அதே அறை மீண்டும் பழைய-குறிப்பிட்ட தட்டுகளுக்கு மாற்றப்பட்டபோது, ​​விளிம்பில் சிக்கல் தெளிவாகத் தணிந்து, புதிய இடத்தையே சுட்டிக்காட்டியது. தோல்வியுற்ற பகுதிகளுக்கு எதிராக பல-புள்ளி தடிமன் அளவீடு பின்னர் காட்டியது: வட்டு சராசரி உண்மையில் விவரக்குறிப்பில் இருந்தது, ஆனால் வெளிப்புற வளையத்திற்கு அருகிலுள்ள புள்ளிகள் முறையாக சுமார் 8%-12% மெல்லியதாக இருந்தன, ஏற்கனவே ஆலையின் உள் சீரான இலக்கான ±5% ஐத் தாண்டியது; மெல்லிய மண்டலங்கள் உயர் துகள் மண்டலங்களை மிக அதிகமாக ஒன்றுடன் ஒன்று இணைக்கின்றன. பள்ளங்களில் படிவு விகிதம் மற்றும் வெளிப்புற வளையம் அந்த கட்டமைப்பிற்கு முழுமையாக அளவீடு செய்யப்படாததால் மூல காரணம் கண்டறியப்பட்டது; வெளிச்செல்லும் அறிக்கையானது ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட பல-புள்ளி விநியோகம் இல்லாமல் சராசரியை மட்டுமே வழங்கியது. வரி "சென்டர் + எட்ஜ் + க்ரூவ் டிரான்சிஷன்" பல-புள்ளி சீரானதை கட்டாய உள்வரும் காசோலைகளாக எழுதியது மற்றும் அளவீட்டு-புள்ளி வரைபடத்தைச் சேர்க்க தேவையான அறிக்கைகள். சப்ளையர் வெளிப்புற வளைய செயல்முறை சாளரத்தை அடுத்தடுத்த இடங்களில் சரிசெய்த பிறகு, விளிம்பு துகள்கள் மற்றும் பட தடிமன் மாறுபாடு வரலாற்று நிலைகளுக்குத் திரும்பியது. இந்த வழக்கு காட்டுகிறது: விவரக்குறிப்பில் சராசரி என்பது விவரக்குறிப்பில் சீரான தன்மையைக் குறிக்காது. வெப்ப உணர்திறன் தாங்கிகளுக்கு, பல-புள்ளி தடிமன் மற்றும் இருப்பிடத் தரவு இல்லாமல் ஏற்றுக்கொள்வது உள்ளூர் குறைபாடுகளை வரியில் அனுமதிக்கும். "அறிக்கை ஏற்கத்தக்கதா" என்று வாதிடுவதை விட, அளவீட்டு-புள்ளி தளவமைப்பு மற்றும் ±5% போன்ற ஒரு சீரான இலக்கை விவரக்குறிப்பில் எழுதுவது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

6.அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. ±5% தடிமன் சீரான ஒரு கட்டாய தரநிலையா?

இது ஒரு பொதுவான பொறியியல் இலக்கு, ஒரு தனிப்பட்ட சட்ட தரநிலை அல்ல. பகுதி அமைப்பு மற்றும் செயல்முறை உணர்திறன் அடிப்படையில் சப்ளையருடன் இறுக்கமான அல்லது சற்று பரந்த வரம்பை ஒப்புக்கொள்ளலாம். முக்கியமானது அளவீட்டு-புள்ளி கவரேஜ் மற்றும் அறிக்கையின் கண்டுபிடிப்பு.

2. அனைத்து செயல்முறைகளுக்கும் ≤0.1/cm² பொருந்துமா?

இது அளவின் ஒரு குறிப்பு வரிசை. இறுதி அளவுகோல்கள் தாவரத்தின் அறை, செயல்முறை மற்றும் மகசூல் தேவைகளைப் பின்பற்ற வேண்டும், சோதனை முறை மற்றும் தீர்ப்பு விதிகள் விவரக்குறிப்பில் எழுதப்பட்டுள்ளன.

3. தூய்மை அறிக்கை மட்டும் போதுமா?

இல்லை. குறைந்தபட்சம், தூய்மை, தடிமன்/சீரான தன்மை மற்றும் தோற்றம் (கூடுதலாக ஒப்புக்கொள்ளப்பட்ட மேற்பரப்பு அளவீடுகள்) ஒன்றாக இருக்க வேண்டும்; பரிமாண பொருத்தம் கருவியின் பயன்பாட்டையும் பாதிக்கிறது.

4. அறிக்கை கடந்து சென்றாலும் கருவியில் உள்ள துகள்கள் இன்னும் அதிகமாக இருந்தால் என்ன செய்வது?

முதலில் அதே இடத்தில் உள்ள மற்ற கருவிகளை ஒப்பிட்டு, சமீபத்திய செயல்முறை/பராமரிப்பு மாற்றங்கள் மற்றும் துப்புரவு நிலை, பின்னர் பூச்சு தீர்வு அல்லது செயல்முறை சாளரத்தில் சரிசெய்தல் தேவையா என்பதை மதிப்பிடவும். தேவைப்பட்டால், தேர்வு-முடிவு மற்றும் உபகரண-இணக்கக் கிளஸ்டர் பக்கங்களைச் சரிபார்க்கவும்.

5. VeTek என்ன தரம் தொடர்பான ஆதரவை வழங்க முடியும்?

GDMS/ICP-OES மற்றும் ஒத்த பகுப்பாய்வு அறிக்கைகள், தடிமன் மற்றும் சீரான தரவு, மாதிரி சரிபார்ப்பு மற்றும் முரண்பாடுகள் பற்றிய தொழில்நுட்ப தொடர்பு (ஆங்கிலம் உட்பட) வழங்கப்படலாம்.

7.சுருக்கம் மற்றும் அடுத்த படிகள்

சரியான பொருள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பிறகு, தடிமன் சீரான தன்மை, துகள் கட்டுப்பாடு மற்றும் தூய்மை ஆகியவை செயல்முறை சாளரத்தில் நிலையானதாக நுழைய முடியுமா என்பதை தீர்மானிக்கின்றன. இந்த மூன்றையும் சரிபார்க்கக்கூடிய ஏற்றுக்கொள்ளும் உட்பிரிவுகளாக எழுதுவது மற்றும் அறிக்கைகள் பலவற்றிற்கு வரைபடத்தை வலியுறுத்துவது கருவி ஆபத்தைக் குறைப்பதற்கான நேரடியான வழியாகும்.

ஒரு குறிப்பிட்ட பகுதிக்கான ஏற்பு அளவீடுகள் அல்லது அறிக்கைகளை விளக்குவதற்கு உங்களுக்கு உதவி தேவைப்பட்டால், VeTek தொழில்நுட்பக் குழுவைத் தொடர்புகொள்ள உங்களை வரவேற்கிறோம். Dr. Xiao மற்றும் பொறியியல் குழு விவரக்குறிப்பு சீரமைப்பு, மாதிரி சரிபார்ப்பு மற்றும் ஒழுங்கின்மை பகுப்பாய்வு ஆகியவற்றில் உதவ முடியும்.

தேர்வு தர்க்கத்திற்கு, பார்க்கவும்:VETEK | செயல்முறை நிபந்தனைகளின்படி SiC பூச்சு, TaC பூச்சு அல்லது திட SiC ஐ எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது; முழு கட்டமைப்பிற்கு, தூண் பக்கத்தைப் பார்க்கவும்எபிடாக்ஸி மற்றும் எட்ச்சிங் செயல்முறைகளில் CVD SiC, TaC மற்றும் Solid SiC ஆகியவற்றின் செயல்திறன் எல்லைகள்.

முக்கிய குறிப்புகள் மற்றும் தரவு ஆதாரங்கள்

1. VeTek செமிகண்டக்டர் உள் பொறியியல் மற்றும் வாடிக்கையாளர் ஏற்றுக்கொள்ளும் நடைமுறை.

2. செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி & எட்ச்சிங் கருவிகளுக்கான CVD கோட்டிங் நுகர்பொருட்கள் தேர்வு பொறியியல் கையேட்டில் தூய்மை, தடிமன் சீரான தன்மை மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு பற்றிய மெட்ரிக் விளக்கங்கள்.

3. VeTek அதிகாரப்பூர்வ இணையதள தயாரிப்பு மற்றும் தொழில்நுட்ப பொருட்கள்: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

குறிப்பு: உரையில் உள்ள சீரான தன்மை, துகள் மற்றும் தூய்மை புள்ளிவிவரங்கள் வழக்கமான பொறியியல் குறிப்புகள்; உண்மையான மதிப்புகள் ஒப்பந்த விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் அளவிடப்பட்ட முடிவுகளைப் பின்பற்றுகின்றன.

ஆசிரியர்: VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னிக்கல் இன்ஜினியரிங் டீம் (டாக்டர். சியாவோவின் வழிகாட்டுதலின் கீழ் முடிக்கப்பட்டது)

மேலும் தொழில்நுட்ப விவாதம் அல்லது மாதிரி மதிப்பீட்டிற்கு, அதிகாரப்பூர்வ இணையதளம் வழியாக எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.