01-05 VETEK | பொறித்தல் மற்றும் உயர்-தூய்மை காட்சிகளில் சாலிட் SiC இன் பயன்பாட்டு எல்லைகள் மற்றும் தேர்வுப் புள்ளிகள்

திட SiC என்பது "அதிக விலையுயர்ந்த பூச்சு மாற்று" அல்ல, ஆனால் இடைமுகம் இல்லாத, பிளாஸ்மா-எதிர்ப்பு மற்றும் தீவிர நீண்ட-வாழ்நாள் காட்சிகளுக்கான மற்றொரு தொழில்நுட்ப பாதை. இந்த கட்டுரை பொறித்தல் மற்றும் உயர்-தூய்மை பயன்பாடு, பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டுடன் TCO ஒப்பீடு மற்றும் அறிமுகத்திற்கான சரிபார்ப்பு புள்ளிகள் ஆகியவற்றில் அதன் பயன்பாட்டு எல்லைகளை விளக்குகிறது.

ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் மற்றும் ஒத்த நிலைகளில் பூச்சு நீக்கம் அல்லது துகள் ஏறுவதை ஒரு கோடு மீண்டும் மீண்டும் பார்க்கும்போது, ​​​​பிரச்சினை பெரும்பாலும் "போதுமான சுத்தம்" அல்லது "மோசமான நிறைய" மட்டுமல்ல, ஆனால் பொருள் வடிவம் பிளாஸ்மா சூழலுடன் பொருந்துமா.

1. ஏன் முக்கியமான பொறித்தல் பாகங்கள் அடிக்கடி தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றனதிட SiC?

முக்கிய முடிவு:பிளாஸ்மா பூச்சு-அடி மூலக்கூறு இடைமுகத்திற்கு நட்பற்றது. திட SiC என்பது பூச்சு இடைமுகம் இல்லாத மொத்த β-SiC ஆகும், இது கட்டமைப்பின் மூலம் delamination-வகை துகள் மூலங்களை நீக்குகிறது; இது பிளாஸ்மா அரிப்பை மிகவும் வலுவாக எதிர்க்கிறது மற்றும் பிளாஸ்மாவிற்கு நேரடியாக வெளிப்படும் ஃபோகஸ் வளையங்கள் போன்ற முக்கியமான பகுதிகளுக்கு ஏற்றது.

எபிடாக்ஸி வெப்ப மண்டலங்களில், பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பிரதானமாக உள்ளது; எட்ச் அறைகளில், இடைமுகம் மற்றும் அரிப்பு வழிமுறைகள் வேறுபடுகின்றன, எனவே பொருள் தேர்வு தர்க்கம் அவற்றுடன் மாற வேண்டும்.

கட்டமைப்பு மற்றும் சேவை வேறுபாடுகள்

• பூசப்பட்ட கிராஃபைட்: பூச்சு-கிராஃபைட் இடைமுகம் உள்ளது; நீண்ட கால பிளாஸ்மா அல்லது வெப்ப அழுத்தம் delamination ஆபத்தை கொண்டுள்ளது

• திட SiC: மொத்தமாக SiC; இடைமுக நீக்கம் பாதை இல்லை; தூய்மை 5N–7N ஐ அடையலாம்

• வழக்கமான பயன்பாடுகள்: ஃபோகஸ் ரிங், சில ஷவர்ஹெட்ஸ் மற்றும் அறை பாகங்கள் மிக அதிக துகள் மற்றும் வாழ்நாள் தேவைகள்

2. திட SiC மற்றும் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடையே TCO ஐ எவ்வாறு ஒப்பிடுவது?

முக்கிய முடிவு:கொள்முதல் அலகு விலையை மட்டும் ஒப்பிட வேண்டாம். மடிப்பு மாற்று சுழற்சி, வேலையில்லா நேரம் மற்றும் துகள்களில் இருந்து மகசூல் இழப்பு ஒரு ஓட்டம் அல்லது ஒரு செதில் செலவு, Solid SiC பெரும்பாலும் அதிக சுமை எட்ச் நிலைகளில் மிகவும் சாதகமானது; லேசான எபிடாக்ஸி தட்டுகளில், பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொதுவாக சிறந்த சமநிலையாக இருக்கும்.

TCO ஒப்பீடு குறைந்தபட்சம் உள்ளடக்கியதாக இருக்க வேண்டும்: பகுதி விலை, எதிர்பார்க்கப்படும் வாழ்நாள் (ரன்கள் அல்லது மணிநேரம்), திட்டமிடப்பட்ட வேலையில்லா நேரம், திட்டமிடப்படாத துகள் தொடர்பான வேலையில்லா நேரம், ஸ்கிராப் மற்றும் தளவாடங்கள்.

சுருக்கமான ஒப்பீடு

அட்டவணை பொதுவான பொறியியல் தீர்ப்புகளைக் காட்டுகிறது; குறிப்பிட்ட எண்கள் தாவர வாழ்நாள் மற்றும் வேலையில்லா நேர செலவில் இருந்து கணக்கிடப்பட வேண்டும்.

3. அறிமுகப்படுத்தும் போது என்ன சரிபார்க்கப்பட வேண்டும்திட SiC?

முக்கிய முடிவு:முதலில் பரிமாண மற்றும் வெப்ப/மின் பொருத்தத்தை உறுதிப்படுத்தவும், பின்னர் துகள்கள், பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் உண்மையான வாழ்நாள் ஆகியவற்றை ஒரு சிறிய தொகுப்பில் சரிபார்க்கவும், பின்னர் மட்டுமே வாங்குவதை அளவிடவும். கருவியில் உள்ள தரவை "உயர்-தர பொருள்" மாற்ற அனுமதிக்காதீர்கள்.

பரிந்துரைக்கப்பட்ட சரிபார்ப்பு வரிசை:

1. வரைதல்/அசல் பரிமாணங்கள் அறைக்கு பொருந்தும்; சகிப்புத்தன்மை நிறுவலை அனுமதிக்கிறது.

2. தூய்மை மற்றும் மேற்பரப்பு நிலை தாவர விவரக்குறிப்புகளை சந்திக்கிறது (அறிக்கைகள் தேவைப்படலாம்).

3. சிறிய தொகுதி ஆன்-டூல்: துகள்கள், முக்கியமான செயல்முறை சாளர பரிமாணங்கள், மாற்று சுழற்சி.

4. ஏற்கனவே இருக்கும் பூச்சு தீர்வுடன் அதே நிலைமைகளின் கீழ் ஒப்பிட்டு, பின்னர் சுவிட்ச் ஸ்கோப்பை முடிவு செய்யுங்கள்.

4. கேஸ் ஸ்டடி: ஃபோகஸ் ரிங் கோட்டிங் டிலாமினேஷன் மூலம் சாலிட் எஸ்ஐசி அறிமுகம்

முக்கிய முடிவு:தோல்விப் பயன்முறையானது பூச்சு-இடைமுகத்தை நீக்கும் போது எளிமையான மேற்பரப்பு படிவுகளை விட, அடிக்கடி சுத்தம் செய்தல் அல்லது நிறைய மாற்றங்கள் பெரும்பாலும் அறிகுறிகளுக்கு மட்டுமே சிகிச்சையளிக்கின்றன. பிளாஸ்மாவிற்கு நேரடியாக வெளிப்படும் நிலைகளில் சாலிட் SiC ஐ மதிப்பிடுவது கட்டமைப்பு ரீதியாக நீக்கம் பாதையை குறைக்கலாம்.

பொறியியல் குறிப்பு:

ஒரு எட்ச் லைன் நீளமாக பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஃபோகஸ் வளையங்களைப் பயன்படுத்தியது. துகள்கள் வாழ்க்கையின் நடுப்பகுதி முதல் பிற்பகுதி வரை மீண்டும் மீண்டும் உயர்ந்தது; பராமரிப்பு முதலில் துப்புரவு மற்றும் நிறைய மாற்றங்களுடன் பதிலளித்தது-செயல்திறன் குறுகிய காலத்திற்கு ஆனால் எப்போதும் குறுகிய சுழற்சிகளுடன். தோல்வியுற்ற பகுதி பகுப்பாய்வு உள்ளூர் பூச்சு நீக்கம் மற்றும் இடைமுக வெளிப்பாடு ஆகியவற்றைக் காட்டியது, பிளாஸ்மா-நேரடி மண்டலத்தை ஒன்றுடன் ஒன்று சேர்க்கிறது, ஒரே மாதிரியான மேற்பரப்பு-வைப்பு மாசுபாடு அல்ல. பின்னர் வரி அறிமுகப்படுத்தப்பட்டதுதிட SiCஅதே அளவுகளில் மாதிரிகள். சிறிய தொகுதி ஒப்பீடு காட்டியது: அதே செயல்பாட்டின் கீழ், துகள்கள் மிகவும் நிலையானதாகவும், மாற்று சுழற்சிகள் தெளிவாக நீளமாகவும் இருந்தன; யூனிட் விலை அதிகமாக இருந்தது, ஆனால் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் மகசூல் இழப்பைக் கணக்கிட்டு ஒரு ஓட்டத்திற்கான செலவு குறைந்தது. முடிவு புள்ளி "Solid SiC எப்போதும் சிறந்தது" அல்ல, ஆனால் தோல்வி பயன்முறை ஏற்கனவே இடைமுகத்தை சுட்டிக்காட்டியது - பூச்சு பாதையில் அதிக சுத்தம் செய்வதன் மூல காரணத்தை அகற்ற முடியவில்லை. இந்த வழக்கு காட்டுகிறது: தோல்வி பொறிமுறையானது அதன் இடைமுகம் மற்றும் பிளாஸ்மா-எதிர்ப்பு நன்மைகளுடன் பொருந்தும்போது Solid SiC ஐத் தேர்ந்தெடுக்கவும்; முதலில் பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள், பின்னர் மாறுங்கள் - முதலில் மாற்றி பின்னர் விளக்குவதை விட நம்பகமானது.

5. அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்களும் நகர வேண்டுமா?திட SiC?

பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில், இல்லை. எபிடாக்சி ஹாட் சோன்கள் வெப்ப பதிலை மதிப்பிடுகின்றன மற்றும் அதிக விலை; உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் + CVD SiC/TaC பூச்சு பிரதானமாக உள்ளது. எட்ச் மற்றும் பிற இடைமுகம் மற்றும் பிளாஸ்மா உணர்திறன் நிலைகளுக்கு Solid SiC முன்னுரிமை அளிக்கப்படுகிறது.

2. Solid SiC வாழ்நாள் எப்போதும் 2000 மணிநேரத்தை எட்ட முடியுமா?

இது பொருத்தமான செயல்முறைகளின் கீழ் அளவின் குறிப்பு வரிசையாகும். உண்மையான முடிவுகள் பிளாஸ்மா நிலைகள், வாயுக்கள் மற்றும் பராமரிப்பு மூலோபாயம் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது, மேலும் ஆலை சரிபார்ப்பைப் பின்பற்ற வேண்டும்.

3. பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை சாலிட் SiCக்கு 1:1 மாற்ற முடியுமா?

பரிமாணங்கள் பெரும்பாலும் அசல் பகுதி அல்லது வரைபடத்திலிருந்து தனிப்பயனாக்கப்படலாம், ஆனால் பொருள் மற்றும் வெப்ப/மின்சார நடத்தை வேறுபடுகின்றன. கருவியில் சரிபார்ப்பு தேவை; செயல்முறை சாளரம் மாறாமல் இருப்பதாக கருத வேண்டாம்.

4. அதிக யூனிட் விலையை ஏற்கும் வகையில் வாங்குவதை எப்படி நம்ப வைப்பது?

ஒரே நிபந்தனை ஒப்பீட்டுத் தரவைப் பயன்படுத்தவும்: மாற்று சுழற்சி, துகள்கள், வேலையில்லா நேர எண்ணிக்கைகள்-ஓட்டிற்கான செலவைக் கணக்கிடுங்கள் அல்லது ஒரு செதில் விலை மட்டும் அல்ல.

5. தேர்வு-முடிவு கிளஸ்டர் பக்கத்துடன் இந்தப் பக்கம் எவ்வாறு செயல்படுகிறது?

கிளஸ்டர் பக்கம் 2 ஒட்டுமொத்த SiC/TaC/Solid SiC கட்டமைப்பை வழங்குகிறது; இந்த பக்கம் சாலிட் SiC எல்லைகள் மற்றும் பொறித்தல் மற்றும் உயர்-தூய்மை காட்சிகளில் சரிபார்ப்பு பாதையை விவரிக்கிறது. அவற்றை ஒன்றாகப் பயன்படுத்துங்கள்.

6. சுருக்கம் மற்றும் அடுத்த படிகள்

திட SiC இன் மதிப்பு இடைமுகம் மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு அல்ல - பொதுவான "உயர் முனை" அல்ல. தோல்விப் பயன்முறையானது பூச்சு நீக்கம் அல்லது குறுகிய எட்ச்-பொசிஷன் வாழ்நாளைக் குறிக்கும் போது, ​​சிறிய தொகுதி சரிபார்ப்பு மூலம் விருப்பங்களைக் கொண்டுவருவது மதிப்பு; ஒரு வழக்கமான எபிடாக்ஸி வெப்ப மண்டலமாக இருக்கும் போது, ​​பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இன்னும் சிறந்த பதில்.

ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் போன்ற நிலைகள் Solid SiC அறிமுகத்திற்கு ஏற்றதா என்பதை நீங்கள் மதிப்பிட வேண்டும் என்றால், VeTek தொழில்நுட்பக் குழுவைத் தொடர்புகொள்ள உங்களை வரவேற்கிறோம். பரிமாண பொருத்தம், மாதிரி சரிபார்ப்பு மற்றும் TCO விவாதம் ஆகியவற்றில் டாக்டர் சியாவோ மற்றும் பொறியியல் குழு உதவ முடியும்.

ஒட்டுமொத்த தேர்வு கட்டமைப்பிற்கு, பார்க்கவும்:செயல்முறை நிபந்தனைகளின்படி SiC பூச்சு, TaC பூச்சு அல்லது திட SiC ஐ எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது; முழு அமைப்பிற்கு, தூண் பக்கத்தைப் பார்க்கவும்01 எபிடாக்ஸி மற்றும் எட்ச்சிங் செயல்முறைகளில் CVD SiC, TaC மற்றும் Solid SiC ஆகியவற்றின் செயல்திறன் எல்லைகள்.

முக்கிய குறிப்புகள் மற்றும் தரவு ஆதாரங்கள்

1. VeTek செமிகண்டக்டர் உள் பொறியியல் மற்றும் எட்ச்-வாடிக்கையாளர் பயன்பாட்டு நடைமுறை.

2. செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி & எட்ச்சிங் கருவிகளுக்கான CVD கோட்டிங் நுகர்பொருட்கள் தேர்வு பொறியியல் கையேட்டில் உள்ள Solid SiC vs பூச்சு தீர்வுகள் பற்றிய எல்லைக் குறிப்புகள்.

3. VeTek அதிகாரப்பூர்வ இணையதள தயாரிப்பு மற்றும் தொழில்நுட்ப பொருட்கள்: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

குறிப்பு: உரையில் வாழ்நாள் மற்றும் TCO புள்ளிவிவரங்கள் வழக்கமான பொறியியல் குறிப்புகள்; உண்மையான மதிப்புகள் ஆலை சரிபார்ப்பு மற்றும் செலவு கணக்கீட்டைப் பின்பற்றுகின்றன.

ஆசிரியர்: VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னிக்கல் இன்ஜினியரிங் டீம் (டாக்டர். சியாவோவின் வழிகாட்டுதலின் கீழ் முடிக்கப்பட்டது)

மேலும் தொழில்நுட்ப விவாதம் அல்லது மாதிரி மதிப்பீட்டிற்கு, அதிகாரப்பூர்வ இணையதளம் வழியாக எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.