தேர்வு வழிகாட்டி

சரியான CVD SiC, TaC பூச்சு அல்லது Solid SiC ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது எபிடாக்ஸி/எட்ச்சிங் கோடுகளில் துகள் அளவுகள் மற்றும் கூறுகளின் ஆயுட்காலத்தை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரையானது வெப்பநிலை, வளிமண்டலம் மற்றும் செயல்முறை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் தெளிவான தேர்வு எல்லைகளை வழங்குகிறது, முக்கிய உபகரண மாற்று தீர்வுகள் மற்றும் முக்கிய அளவீடுகளுடன் பொருந்துகிறது, இது விரைவான முடிவுகளை எடுக்கவும் ஆபத்தை குறைக்கவும் உதவுகிறது.