TAC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள்

TAC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்களின் செயல்பாடு:

துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு: திTAC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம்வாயு ஊசி முறைக்குள் மூலோபாய ரீதியாக நிலைநிறுத்தப்பட்டுள்ளதுMOCVD உலை. அதன் முதன்மை செயல்பாடு முன்னோடி வாயுக்களின் ஓட்டத்தை இயக்குவதும், அவற்றின் சீரான விநியோகத்தை அடி மூலக்கூறு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் உறுதி செய்வதும் ஆகும். சீரான எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சி மற்றும் விரும்பிய பொருள் பண்புகளை அடைய வாயு ஓட்ட இயக்கவியல் மீதான இந்த துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம்.

வெப்ப மேலாண்மை: டிஏசி பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள் பெரும்பாலும் வெப்பமான சசெப்டர் மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு அருகாமையில் இருப்பதால் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் இயங்குகின்றன. TAC இன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்க உதவுகிறது, உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்கிறது மற்றும் எதிர்வினை மண்டலத்திற்குள் நிலையான வெப்பநிலை சுயவிவரத்தை பராமரிக்கிறது.

MOCVD இல் TAC இன் நன்மைகள்:

தீவிர வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: TAC அனைத்து பொருட்களிலும் மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளிகளில் ஒன்றாகும், இது 3800. C ஐ தாண்டியது.

சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை: TAC MOCVD இல் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை முன்னோடி வாயுக்களான அம்மோனியா, சிலேன் மற்றும் பல்வேறு உலோக-கரிம சேர்மங்கள் போன்ற எதிர்வினை முன்னோடி வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பு மற்றும் வேதியியல் தாக்குதலுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது.

இயற்பியல் பண்புகள்டாக் பூச்சு:

MOCVD செயல்திறனுக்கான நன்மைகள்:

MOCVD கருவிகளில் வெடெக் குறைக்கடத்தி TAC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தின் பயன்பாடு இதற்கு கணிசமாக பங்களிக்கிறது:

அதிகரித்த உபகரணங்கள் நேரம்: டிஏசி பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தின் ஆயுள் மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது, பராமரிப்பு வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் MOCVD அமைப்பின் செயல்பாட்டு செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மை: TAC இன் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை MOCVD அறைக்குள் மிகவும் நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினை சூழலுக்கு பங்களிக்கிறது, செயல்முறை மாறுபாடுகளைக் குறைக்கிறது மற்றும் இனப்பெருக்கத்தை மேம்படுத்துகிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட எபிடாக்சியல் லேயர் சீரான தன்மை: TAC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்களால் எளிதாக்கப்பட்ட துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு சீரான முன்னோடி விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதன் விளைவாக மிகவும் சீரானதுஎபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சிநிலையான தடிமன் மற்றும் கலவையுடன்.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டு மீது: