TAC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீனா TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம், TaC பூச்சு குரூசிபிள், விதை வைத்திருப்பவர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்.

எஸ்.ஐ.சி மற்றும் ஏஐஎன் ஒற்றை படிக உலை ஆகியவற்றில் டிஏசி பூச்சு சிலுவை, விதை வைத்திருப்பவர் மற்றும் டிஏசி பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் பி.வி.டி முறையால் வளர்க்கப்பட்டது.

SIC ஐ தயாரிக்க இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து முறை (பிரைவேட்) பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​விதை படிகமானது ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த வெப்பநிலை பகுதியில் உள்ளது, மேலும் SIC மூலப்பொருள் ஒப்பீட்டளவில் அதிக வெப்பநிலை பகுதியில் (2400 tove க்கு மேல்) உள்ளது. மூலப்பொருள் சிதைவு சிக்ஸியை உருவாக்குகிறது (முக்கியமாக Si, sic₂, Si₂c, முதலியன). நீராவி கட்ட பொருள் உயர் வெப்பநிலை பகுதியிலிருந்து குறைந்த வெப்பநிலை பகுதியில் விதை படிகத்திற்கு கொண்டு செல்லப்படுகிறது, மேலும் நியூக்ளியேட்ஸ் மற்றும் வளர்கிறது. ஒற்றை படிகத்தை உருவாக்க. இந்த செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப புலப் பொருட்கள், க்ரூசிபிள், ஓட்ட வழிகாட்டி வளையம், விதை படிக வைத்திருப்பவர் போன்றவை அதிக வெப்பநிலையை எதிர்க்க வேண்டும் மற்றும் SIC மூலப்பொருட்கள் மற்றும் SIC ஒற்றை படிகங்களை மாசுபடுத்தாது. இதேபோல், ALN ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியில் வெப்ப கூறுகள் அல் நீராவி, அரிப்பு ஆகியவற்றை எதிர்க்க வேண்டும், மேலும் படிக தயாரிப்பு காலத்தை குறைக்க அதிக யூடெக்டிக் வெப்பநிலை (மற்றும் ALN) இருக்க வேண்டும்.

TAC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெப்ப புலப் பொருட்களால் தயாரிக்கப்பட்ட SIC மற்றும் ALN ஆகியவை தூய்மையானவை, கிட்டத்தட்ட கார்பன் (ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன்) மற்றும் பிற அசுத்தங்கள், குறைவான விளிம்பு குறைபாடுகள், ஒவ்வொரு பிராந்தியத்திலும் சிறிய எதிர்ப்பை, மற்றும் மைக்ரோபோர் அடர்த்தி மற்றும் பொறித்தல் குழி அடர்த்தி ஆகியவை கண்டறியப்பட்டன கணிசமாகக் குறைக்கப்பட்டது (கோ பொறித்த பிறகு), மற்றும் படிகத் தரம் பெரிதும் மேம்படுத்தப்பட்டது. கூடுதலாக, டிஏசி க்ரூசிபிள் எடை இழப்பு விகிதம் கிட்டத்தட்ட பூஜ்ஜியமாகும், தோற்றம் அழிவில்லாதது, மறுசுழற்சி செய்யப்படலாம் (200 மணி வரை வாழ்க்கை), அத்தகைய ஒற்றை படிக தயாரிப்பின் நிலைத்தன்மையையும் செயல்திறனையும் மேம்படுத்தலாம்.

TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தின் தயாரிப்பு அளவுரு:

உற்பத்தி கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: