எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கான டிஏசி பூசப்பட்ட வளையம்

தற்போது, ​​SIC மின் சாதனங்கள் மேலும் மேலும் பிரபலமாகி வருகின்றன, எனவே தொடர்புடைய குறைக்கடத்தி சாதன புனையல் மிகவும் முக்கியமானது, மேலும் SIC இன் பண்புகள் மேம்படுத்தப்பட வேண்டும். Sic என்பது குறைக்கடத்தியில் அடி மூலக்கூறு ஆகும். SIC சாதனங்களுக்கான இன்றியமையாத மூலப்பொருளாக, SIC படிகத்தை எவ்வாறு திறம்பட உற்பத்தி செய்வது என்பது முக்கியமான தலைப்புகளில் ஒன்றாகும். பி.வி.டி (இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து) முறையால் எஸ்.ஐ.சி படிகத்தை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில், எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கான வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டிஏசி பூசப்பட்ட வளையம் ஒரு இன்றியமையாத மற்றும் முக்கியமான பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. கவனமாக வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்திக்குப் பிறகு, இந்த TAC பூசப்பட்ட வளையம் உங்களுக்கு சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறதுSic படிக வளர்ச்சிசெயல்முறை.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு 3880 ° C வரை அதிக உருகும் புள்ளி, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளைக் கொண்ட கலப்பு செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. இது பி.வி.டி முறை SIC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையில் ஒரு பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.

டாக் பூசப்பட்ட மோதிரம்தயாரிப்பு அம்சங்கள்

(I) கிராஃபைட் பொருளுடன் உயர்தர டிஏசி பூச்சு பொருள் பிணைப்பு

எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கான டிஏசி பூசப்பட்ட வளையம் உயர்தர எஸ்ஜிஎல் கிராஃபைட் பொருளைப் பயன்படுத்தி அடி மூலக்கூறாக, இது நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மிக உயர்ந்த பொருள் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு ஒரு நுண்ணிய அல்லாத மேற்பரப்பை வழங்குகிறது. அதே நேரத்தில், அதிக தூய்மை சி.வி.டி டாக் (டான்டலம் கார்பைடு) பூச்சு பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மிக அதிக கடினத்தன்மை, உருகும் புள்ளி மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. டிஏசி பூச்சு அதிக வெப்பநிலையில் (பொதுவாக 2000 ℃ அல்லது அதற்கு மேற்பட்டவை) சிறந்த செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும் மற்றும் பி.வி.டி முறையால் எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சியின் அதிக அரிக்கும் சூழல், வேதியியல் எதிர்வினைகள் மற்றும் உடல் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும்Sic வளர்ச்சி, பூச்சு வளையத்தின் சேவை வாழ்க்கையை பெரிதும் நீட்டிக்கிறது, மேலும் உபகரணங்கள் பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.

10 µm 300 µm

டாக் பூச்சுஅதிக படிகத்தன்மை மற்றும் சிறந்த சீரான தன்மையுடன்

(Ii) துல்லியமான பூச்சு செயல்முறை

வெடெக் குறைக்கடத்தியின் மேம்பட்ட சி.வி.டி பூச்சு செயல்முறை தொழில்நுட்பம் டிஏசி பூச்சு மோதிரத்தின் மேற்பரப்பில் சமமாகவும் அடர்த்தியாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. பூச்சு தடிமன் துல்லியமாக ± 5UM இல் கட்டுப்படுத்தப்படலாம், இது படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை புலம் மற்றும் காற்று ஓட்ட புலத்தின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது SIC படிகங்களின் உயர் தரமான மற்றும் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சிக்கு உகந்ததாகும்.

பொது பூச்சு தடிமன் 35 ± 5um ஆகும், மேலும் உங்கள் தேவைக்கு ஏற்ப நாங்கள் அதைத் தனிப்பயனாக்கலாம்.

(Iii) சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு

பி.வி.டி முறையின் உயர் வெப்பநிலை சூழலில், எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கான டிஏசி பூசப்பட்ட வளையம் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் காட்டுகிறது.

H2, NH3, SIH4, Si க்கு எதிர்ப்பு

செயல்முறையின் மாசுபடுவதைத் தடுக்க தீவிர உயர் தூய்மை

வேகமான செயல்பாட்டு சுழற்சிகளுக்கு வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு அதிக எதிர்ப்பு

இது சிதைவு, விரிசல் அல்லது பூச்சு உதிர்தல் இல்லாமல் நீண்ட கால உயர் வெப்பநிலை பேக்கிங்கைத் தாங்கும். SIC படிகங்களின் வளர்ச்சியின் போது, ​​வெப்பநிலை அடிக்கடி மாறுகிறது. எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கான வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டிஏசி பூசப்பட்ட வளையம் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் விரிசல் அல்லது சேதம் இல்லாமல் வெப்பநிலையில் விரைவான மாற்றங்களுக்கு விரைவாக மாற்றியமைக்க முடியும். உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேலும் மேம்படுத்தவும்.

வெவ்வேறு வாடிக்கையாளர்களுக்கு வெவ்வேறு பி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறைகள் உள்ளன என்பதை வெடெக் குறைக்கடத்தி நன்கு அறிந்திருக்கிறது, எனவே இது எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகத்தின் பி.வி.டி வளர்ச்சிக்கு டிஏசி பூசப்பட்ட வளையத்திற்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை வழங்குகிறது. இது மோதிர உடலின் அளவு விவரக்குறிப்புகள், பூச்சு தடிமன் அல்லது சிறப்பு செயல்திறன் தேவைகள் என இருந்தாலும், தயாரிப்பு உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறையுடன் சரியாக பொருந்துகிறது என்பதை உறுதிப்படுத்த உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்ப நாங்கள் அதை வடிவமைக்க முடியும், மேலும் உங்களுக்கு மிகவும் உகந்த தீர்வை வழங்குகிறது.

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்

இது குறைக்கடத்திடாக் பூசப்பட்ட மோதிரம் உற்பத்தி கடைகள்