டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையம்

வெடெக் குறைக்கடத்தி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையம் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுகிராஃபைட்மற்றும் டான்டலம் கார்பைடுடன் பூசப்பட்டிருக்கும், இது சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதிப்படுத்த இரு பொருட்களின் சிறந்த பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது. 

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தின் டிஏசி பூச்சு, இது எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி உலைகளின் எதிர்வினை வளிமண்டலங்களில் வேதியியல் செயலற்றதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இதில் பெரும்பாலும் ஹைட்ரஜன், ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்ற வாயுக்கள் அடங்கும். வளர்ந்து வரும் படிகத்தின் எந்தவொரு மாசுபாட்டையும் தடுக்க இந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மிக முக்கியமானது, இது குறைபாடுகள் மற்றும் இறுதி குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் செயல்திறனைக் குறைக்கும். கூடுதலாக, TAC பூச்சு வழங்கிய வெப்ப நிலைத்தன்மை, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தை SIC படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான அதிக வெப்பநிலையில் திறம்பட செயல்பட அனுமதிக்கிறது, இது பொதுவாக 2000 ° C ஐ தாண்டியது.

பிளாஸ்மா தெளித்தல், சி.வி.டி முறை மற்றும் குழம்பு சின்தேரிங் முறை மூலம் அடர்த்தியான மற்றும் சீரான டிஏசி பூச்சு கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் தயாரிக்கப்படலாம், ஆனால் பிளாஸ்மா தெளித்தல் முறை உயர் உபகரணங்கள் தேவைகள் மற்றும் டிஏ 2 சி உருவாக்கம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. குழம்பு சின்தேரிங் முறையால் கலப்பு பூச்சு தயாரிப்பது கடினம், மேலும் பூச்சின் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மோசமாக உள்ளது. சி.வி.டி முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட பூச்சு கட்டுப்படுத்தக்கூடிய கலவை மற்றும் அதிக அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளது, இது தற்போது பொதுவான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு முறையாகும்.

TAC இன் இயந்திர பண்புகள் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் உடைகளை வெகுவாகக் குறைக்கின்றன மற்றும் கிழிக்கின்றன. படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் தொடர்ச்சியான தன்மை காரணமாக இது முக்கியமானது, இது வழிகாட்டி வளையத்தை அடிக்கடி வெப்ப சுழற்சிகள் மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு அம்பலப்படுத்துகிறது. TAC இன் கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை TAC பூசப்பட்ட வளையம் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் துல்லியமான பரிமாணங்களை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது, மேலும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது. 

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் மொத்த அடர்த்தி 14.3 கிராம்/செ.மீ 3, உமிழ்வு 0.3, கடினத்தன்மை 2000 ஹெச்.கே, உருகும் புள்ளி 3950 கள் ℃, மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் பொதுவான பொருளாக நல்ல இயற்பியல் பண்புகள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டுள்ளன.

கூடுதலாக, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் கிராஃபைட் மற்றும் டாக் ஆகியவற்றின் கலவையானது படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் வெப்ப நிர்வாகத்தை மேம்படுத்துகிறது. கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் திறமையாக வெப்பத்தை விநியோகிக்கிறது, ஹாட்ஸ்பாட்களைத் தடுக்கிறது மற்றும் சீரான படிக வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கிறது. இதற்கிடையில், TAC பூச்சு ஒரு வெப்ப தடையாக செயல்படுகிறது, கிராஃபைட் மையத்தை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு நேரடி வெளிப்பாட்டிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. கோர் மற்றும் பூச்சுப் பொருட்களுக்கு இடையிலான இந்த சினெர்ஜி வழிகாட்டி வளையத்தில் விளைகிறது, இது கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்குவது மட்டுமல்லSic படிக வளர்ச்சிஆனால் செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் தரத்தையும் மேம்படுத்துகிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையம் குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுசிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள். அதன் வடிவமைப்பு கிராஃபைட் மற்றும் டான்டலம் கார்பைட்டின் பலங்களை அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்த சூழல்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறது. TAC பூச்சு வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, இயந்திர ஆயுள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இவை அனைத்தும் உயர்தர SIC படிகங்களை உருவாக்குவதற்கு முக்கியமானவை. தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் அதன் ஒருமைப்பாட்டையும் செயல்பாட்டையும் பராமரிப்பதன் மூலம், மோதிரம் SIC படிகங்களின் திறமையான மற்றும் குறைபாடு இல்லாத வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது, இது உயர் சக்தி மற்றும் உயர் அதிர்வெண் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் முன்னேற்றத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

வெடெக் குறைக்கடத்தி ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுமற்றும்சிறப்பு கிராஃபைட்சீனாவில். குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க நாங்கள் நீண்ட காலமாக கடமைப்பட்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால பங்காளியாக இருப்பார் என்று உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டு மீது：

கண்ணோட்டம்குறைக்கடத்தி சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலி：