சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை

வெடெக் குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை முக்கியமாக SIC ஆல் ஆனது. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலையின் முக்கிய செயல்பாடு ஒரு சீரான திரைப்படத்தை உருவாக்குவதை உறுதி செய்வதற்காக எதிர்வினை வாயுவை சமமாக விநியோகிப்பதாகும்வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)அல்லதுஉடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி)செயல்முறைகள். அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வேதியியல் ஸ்திரத்தன்மை போன்ற SIC இன் சிறந்த பண்புகள் காரணமாக, SIC ஷவர் தலை அதிக வெப்பநிலையில் திறமையாக செயல்பட முடியும், போது வாயு ஓட்டத்தின் சீரற்ற தன்மையைக் குறைக்கும்படிவு செயல்முறை, இதனால் திரைப்பட அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை ஒரே துளை மூலம் பல முனைகள் மூலம் எதிர்வினை வாயுவை சமமாக விநியோகிக்க முடியும், சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதி செய்யவும், உள்ளூர் செறிவுகளை மிக அதிகமாகவோ அல்லது மிகக் குறைவாகவோ தவிர்க்கலாம், இதனால் படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தலாம். சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையுடன் இணைந்துசி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி., துகள்கள் அல்லது அசுத்தங்கள் எதுவும் வெளியிடப்படவில்லைதிரைப்பட படிவு செயல்முறை, இது பட படிவின் தூய்மையைப் பராமரிப்பதில் முக்கியமானது.

முக்கிய செயல்திறன் அணி

முக்கிய குறிகாட்டிகள் தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் சோதனை தரநிலைகள்

அடிப்படை பொருள் 6N தர வேதியியல் நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு அரை F47-0703

வெப்ப கடத்துத்திறன் (25 ℃) 330 W/(M · K) ± 5%ASTM E1461

இயக்க வெப்பநிலை வரம்பு -196 ℃ ~ 1650 ℃ சுழற்சி நிலைத்தன்மை MIL-STD-883 முறை

துளை எந்திர துல்லியம் ± 0.005 மிமீ (லேசர் மைக்ரோஹோல் எந்திர தொழில்நுட்பம்) ஐஎஸ்ஓ 286-2

மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை RA ≤0.05μm (கண்ணாடி தர சிகிச்சை) JIS B 0601: 2013

மூன்று செயல்முறை கண்டுபிடிப்பு நன்மை

நானோ அளவிலான காற்றோட்டம் கட்டுப்பாடு

1080 துளை மேட்ரிக்ஸ் வடிவமைப்பு: 95.7% எரிவாயு விநியோக சீரான தன்மையை அடைய சமச்சீரற்ற தேன்கூடு கட்டமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது (அளவிடப்பட்ட தரவு)

சாய்வு துளை தொழில்நுட்பம்: 0.35 மிமீ வெளிப்புற வளையம் → 0.2 மிமீ மையம் முற்போக்கான தளவமைப்பு, விளிம்பு விளைவை நீக்குகிறது

பூஜ்ஜிய மாசு வைப்பு பாதுகாப்பு

அல்ட்ரா-சுத்தமான மேற்பரப்பு சிகிச்சை:

அயன் பீம் பொறித்தல் மேற்பரப்பு சேதமடைந்த அடுக்கை நீக்குகிறது

அணு அடுக்கு படிவு (ALD) al₂o₃ பாதுகாப்பு படம் (விரும்பினால்)

வெப்ப இயந்திர நிலைத்தன்மை

வெப்ப சிதைவு குணகம்: ≤0.8μm/m · ℃ (பாரம்பரிய பொருட்களை விட 73% குறைவு)

3000 வெப்ப அதிர்ச்சி சோதனைகள் (RT↔1450 ℃ சுழற்சி)

SEM தரவுசி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பட படிக அமைப்பு：

சி.வி.டி.யின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் Sic பூச்சு：

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு மழை தலை கடைகள்