CVD SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்

Veteksemicon இன் CVD SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் செதில் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான-பொறியியல் கருவியாகும். இந்த SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்பெப்டர் மெல்லிய படலங்கள், எபிலேயர்கள் மற்றும் பிற பூச்சுகளின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, மேலும் வெப்பநிலை மற்றும் பொருள் பண்புகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.

அடிப்படைCVD SiC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சு Epitaxy Susceptor தயாரிப்பு நன்மைகள்:

● துல்லியமான வைப்பு: Susceptor அடி மூலக்கூறுகளுக்கு (சபையர், SiC அல்லது GaN போன்றவை) நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குவதற்கு SiC பூச்சுடன் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை ஒருங்கிணைக்கிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (SiC சுமார் 120 W/m·K போன்றவை) விரைவாக வெப்பத்தை மாற்றும் மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் உயர்தர வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும்.

● குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு: CVD செயல்முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SiC பூச்சு மிக உயர்ந்த தூய்மையைக் கொண்டுள்ளது (அசுத்தமான உள்ளடக்கம் <5 ppm) மேலும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு (Cl₂, NH₃ போன்றவை) அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, இது எபிடாக்சியல் லேயரை மாசுபடுத்துவதைத் தவிர்க்கிறது.

● ஆயுள்: SiC இன் உயர் கடினத்தன்மை (Mohs கடினத்தன்மை 9.5) மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்தும் போது அடித்தளத்தின் இயந்திர இழப்பைக் குறைக்கின்றன மற்றும் உயர் அதிர்வெண் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.

VeTeksemicon உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் போட்டி விலைகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க நாங்கள் காத்திருக்கிறோம்.

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடைகள்: