செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட வளையம்

செங்குத்து உலைகளில், SIC பூசப்பட்ட மோதிரங்களின் பயன்பாடு ஒரு பொதுவான தீர்வாகும், முக்கியமாக அதிக வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறதுகுறைக்கடத்தி செதில்கள். செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் உயர் செயல்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு கூறுகள் ஆகும், அவை செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த செதில்களை ஆதரிக்க அல்லது பாதுகாக்க பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட வளையத்தின் செயல்பாடுகள்

. செயல்பாடுகள்

துணை பங்கு. உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் அவற்றின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் துல்லியமான நிலையை உறுதிப்படுத்த செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படுகிறது.

●  அரிப்பு பாதுகாப்பு

அரிக்கும் வாயுக்கள் அல்லது ரசாயனங்கள் அடிப்படை பொருளை அரிப்பதைத் தடுக்கவும்.

●  மாசுபாட்டை குறைக்கவும்

உயர்-தூய்மை SiC பூச்சு, துகள்கள் உதிர்தல் மற்றும் தூய்மையற்ற மாசுபடுதலைத் தடுக்கும், செயல்முறையின் தூய்மையை உறுதிசெய்யும்.

●  உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் (பொதுவாக 1000 ° C க்கும் அதிகமான) சிறந்த இயந்திர பண்புகள் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும்.

செங்குத்து உலை SiC பூசப்பட்ட வளையத்தின் அம்சங்கள்

●  அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமை

SIC பொருட்கள் சிறந்த இயந்திர வலிமையைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் உலையில் அதிக வெப்பநிலை அழுத்தத்தைத் தாங்கும்.

●  நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை

SiC இன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவை வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்க உதவுகின்றன.

●  வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை

SIC பூச்சுகள் ஆக்ஸிஜனேற்ற, அமில அல்லது கார சூழல்களில் அரிப்பை எதிர்க்கும்.

●  குறைந்த துகள் மாசுபாடு

மென்மையான மேற்பரப்பு துகள் உருவாக்கத்தின் சாத்தியத்தை குறைக்கிறது, இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் அதி-சுத்தமான சூழலுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது.

செங்குத்து உலைகளில் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங் மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிக்கவும், வெப்ப சிகிச்சையின் போது துகள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

உற்பத்தி பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறைகள்

●  அடி மூலக்கூறு: உயர்தர SGL கிராஃபைட்டால் ஆனது, தரம் உத்தரவாதம்.

●  பூச்சு: இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

The பூச்சு தடிமன் பொதுவாக 50 ~ 500μm க்கு இடையில் இருக்கும், இது பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப சரிசெய்யப்படுகிறது.

●  ரசாயன நீராவி படிவு SiC பூச்சு அதிக தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி மற்றும் சிறந்த ஆயுள் கொண்டது.

பொருத்தமானதைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்SiC பூச்சுஉலையில் சிலிக்கான் செதிலின் விட்டம் மற்றும் கேரியர் விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப மோதிரம். நாங்கள் அதை உங்களுக்காக தனிப்பயனாக்கலாம். அதிக தூய்மை, அடர்த்தியான பூச்சு மிகவும் நீடித்த மற்றும் குறைந்த மாசுபடுத்தும். பூச்சு வயதானதால் மாசுபடுவதைத் தவிர்ப்பதற்கு பயன்பாட்டின் அதிர்வெண் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அதிர்வெண் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப ஒழுங்காக மாற்றவும்.

ஒரு தொழில்முறை செங்குத்து உலை எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வளைய சப்ளையர் மற்றும் சீனாவில் உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் நீண்டகாலமாக குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட செங்குத்து உலை தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் மனதார எதிர்பார்க்கிறோம்.

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டர்செங்குத்து உலை SIC பூசப்பட்ட வளைய கடைகள்: