நுண்துளை கிராஃபைட் வழிகாட்டி வளையம்

முக்கிய தயாரிப்பு நன்மைகள்

1. அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை & குறைந்த குறைபாடு உத்தரவாதம்

ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்ற உலோகம் அல்லாத அசுத்தங்களை ஆழமாக அகற்ற 3000℃ வெற்றிட உயர்-வெப்பநிலை சுத்திகரிப்பு செயல்முறையை ஏற்றுக்கொள்கிறது, தயாரிப்பு தூய்மையை ≥99.9995% ஆக அதிகரிக்கிறது. இது அசுத்தத்தால் தூண்டப்பட்ட படிகக் குறைபாடுகளை (எ.கா., நுண்குழாய்கள், இடப்பெயர்வுகள்) மூலத்திலிருந்து நீக்குகிறது, SiC ஒற்றைப் படிகங்களின் மின் பண்புகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, உயர்தர படிக வளர்ச்சிக்கு உறுதியான அடித்தளத்தை அமைக்கிறது.

2. அதி-உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை & துல்லியமான வெப்பப் புல ஒழுங்குமுறை

ஒரு ஆர்கான் அல்லது வெற்றிட சூழலில் 2200℃ தீவிர உயர் வெப்பநிலையை தாங்கும், மென்மையாக்குதல் அல்லது சிதைப்பது இல்லாமல் 1000 மணி நேரத்திற்கும் மேலாக தொடர்ந்து மற்றும் நிலையானது. தயாரிப்பு வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் பொருள் விரிசலை திறம்பட தவிர்க்கலாம். இது போரோசிட்டியின் சாய்வு விநியோக வடிவமைப்பை (15-30%) ஆதரிக்கிறது மற்றும் CFD (கணினி திரவ இயக்கவியல்) உருவகப்படுத்துதல் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து துளை அளவை (10-200μm) மேம்படுத்துகிறது, வெப்பநிலை சாய்வு ஏற்ற இறக்கத்தை ±3℃க்குள் கட்டுப்படுத்துகிறது மற்றும் வெப்பப் புலத்தின் சீரான வளர்ச்சியை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

3. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தழுவல் & முழு காட்சி திருப்தி

• வடிவியல் வடிவத் தழுவல்: சரியான பொருத்தம் மற்றும் நிறுவலை அடைய வாடிக்கையாளர்களின் உலை கட்டமைப்புகளுக்கு ஏற்ப வளைய பீப்பாய்கள் மற்றும் பல அடுக்கு கவச கட்டமைப்புகள் போன்ற சிக்கலான வடிவங்களை துல்லியமாக செயலாக்க முடியும்.
• மேற்பரப்பு செயல்முறை தனிப்பயனாக்கம்: மிகத் துல்லியமான மெருகூட்டல் மற்றும் சிறப்பு பூச்சுகள் போன்ற தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு சிகிச்சை சேவைகளை வழங்குகிறது, இது தயாரிப்பின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.

4. செயல்திறன்-சரிபார்க்கப்பட்ட & செயல்திறன் மேம்படுத்தப்பட்டது

• PVT SiC படிகமயமாக்கல் செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய வெப்ப புலக் கூறுகளாகப் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​அது நடைமுறைச் சூழ்நிலைகளில் சரிபார்க்கப்பட்டது:
• பாரம்பரிய கிராஃபைட் தயாரிப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது படிக வளர்ச்சி விகிதம் 15% -20% அதிகரித்துள்ளது, இது உற்பத்தி சுழற்சியை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.
• 4-அங்குல SiC ஒற்றைப் படிகச் செதில்களின் மகசூல் 90% ஐத் தாண்டி, உற்பத்திச் செலவைக் குறைக்கிறது.
• உபகரண பராமரிப்பு சுழற்சி வழக்கமான 3 மாதங்களில் இருந்து 6 மாதங்களுக்கு நீட்டிக்கப்படுகிறது, பணிநிறுத்தம் பராமரிப்பின் அதிர்வெண் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
  
  

விண்ணப்ப காட்சிகள்

• PVT வளர்ச்சி உலை அசெம்பிளி: SiC பொருள் பதங்கமாதல் மற்றும் படிக வளர்ச்சிக்கான முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது, படிகமயமாக்கல் செயல்முறையின் சீரான முன்னேற்றத்தை உறுதிசெய்ய நிலையான மற்றும் சீரான வெப்ப புல விநியோகத்தை வழங்குகிறது.
• வெப்பப் புலக் கவசக் கூறு: தனித்துவமான நுண்துளை அமைப்பு வெப்ப அழுத்தத்தைத் திறம்படத் தடுக்கும், உபகரணத் தேய்மானத்தைக் குறைக்கும் மற்றும் உபகரணங்களின் ஒட்டுமொத்த சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும்.
• விதை படிக ஆதரவு துணைக்கருவி: விதை படிகங்களை நிலையாக ஆதரிக்கும் உயர் இயந்திர வலிமையை கொண்டுள்ளது, இது திசை படிக வளர்ச்சியின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
• வாயு பரவல் அடுக்கு: வாயு-கட்ட பரிமாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, ஒரே மாதிரியான பதங்கமாதல் மற்றும் மூலப்பொருட்களின் படிவுகளை ஊக்குவிக்கிறது, மேலும் ஒற்றை படிக தரம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதத்தை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

முக்கிய போட்டி சிறப்பம்சங்கள்

• தீவிர உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன்: 2200℃ இல் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை மென்மையாக்குதல் அல்லது சிதைப்பது இல்லாமல் பராமரிக்கிறது, தீவிர செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய 1000 மணிநேரத்திற்கு மேல் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டை ஆதரிக்கிறது.
• தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தெர்மல் ஃபீல்ட் தீர்வு: துளை சாய்வு வடிவமைப்பை மேம்படுத்துவதற்கும், வாடிக்கையாளர்களின் செயல்முறைத் தேவைகளை துல்லியமாகப் பொருத்துவதற்கும் மற்றும் படிக சீரான தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கும் CFD உருவகப்படுத்துதல் தொழில்நுட்பத்தை நம்பியுள்ளது.
• விரைவான மறுமொழி சேவை: செயல்முறை அளவுரு பொருத்தம் சோதனை சேவைகளை வழங்குகிறது மற்றும் 72 மணி நேரத்திற்குள் முன்மாதிரி தீர்வுகளை வழங்குகிறது, வாடிக்கையாளர்களுக்கு R&D மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளை துரிதப்படுத்த உதவுகிறது.