SIC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர்

MOCVD என்பது செமிகண்டக்டர், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதன உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான மெல்லிய பட வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும். MOCVD தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், உயர்தர செமிகண்டக்டர் மெட்டீரியல் ஃபிலிம்களை அடி மூலக்கூறுகளில் (சிலிக்கான், சபையர், சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை) டெபாசிட் செய்யலாம்.

MOCVD கருவிகளில், SIC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் உயர் வெப்பநிலை எதிர்வினை அறையில் ஒரு சீரான மற்றும் நிலையான வெப்பச் சூழலை வழங்குகிறது, இது வாயு கட்ட வேதியியல் எதிர்வினை தொடர அனுமதிக்கிறது, இதன் மூலம் விரும்பிய மெல்லிய படத்தை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கிராஃபைட் மோக்விடி ஹீட்டர் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுடன் உயர்தர கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது. எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் மோக்விடி ஹீட்டர் எதிர்ப்பு வெப்பத்தின் கொள்கையின் மூலம் வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது.

SIC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டரின் மையமானது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ஆகும். மின்னோட்டம் வெளிப்புற மின்சாரம் மூலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் கிராஃபைட்டின் எதிர்ப்பு பண்புகள் தேவையான உயர் வெப்பநிலையை அடைய வெப்பத்தை உருவாக்க பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிறந்தது, இது விரைவாக வெப்பத்தை நடத்தலாம் மற்றும் வெப்பநிலையை முழு ஹீட்டர் மேற்பரப்புக்கு மாற்றும். அதே நேரத்தில், எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறனை பாதிக்காது, வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு விரைவாக பதிலளிக்கவும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்யவும் ஹீட்டரை அனுமதிக்கிறது.

தூய கிராஃபைட் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு ஆளாகிறது. எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கிராஃபைட்டை ஆக்ஸிஜனுடன் நேரடி தொடர்பிலிருந்து திறம்பட தனிமைப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் ஹீட்டரின் ஆயுளை விரிவுபடுத்துகிறது. கூடுதலாக, MOCVD உபகரணங்கள் வேதியியல் நீராவி படிவுக்கு அரிக்கும் வாயுக்களை (அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் போன்றவை) பயன்படுத்துகின்றன. எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் வேதியியல் நிலைத்தன்மை இந்த அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கவும், கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாக்கவும் உதவுகிறது.

அதிக வெப்பநிலையின் கீழ், இணைக்கப்படாத கிராஃபைட் பொருட்கள் கார்பன் துகள்களை வெளியிடக்கூடும், இது படத்தின் படிவு தரத்தை பாதிக்கும். எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் பயன்பாடு கார்பன் துகள்களின் வெளியீட்டைத் தடுக்கிறது, இது MOCVD செயல்முறையை சுத்தமான சூழலில் மேற்கொள்ள அனுமதிக்கிறது, அதிக தூய்மைத் தேவைகளுடன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

இறுதியாக, SIC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் வழக்கமாக ஒரு வட்டமான அல்லது பிற வழக்கமான வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்கிறது. தடிமனான படங்களின் சீரான வளர்ச்சிக்கு வெப்பநிலை சீரான தன்மை முக்கியமானது, குறிப்பாக GAN மற்றும் INP போன்ற III-V சேர்மங்களின் MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில்.

வெடெக் குறைக்கடத்தி தொழில்முறை தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளை வழங்குகிறது. தொழில்துறை முன்னணி எந்திரம் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு திறன்கள் MOCVD கருவிகளுக்கு உயர்மட்ட ஹீட்டர்களை உற்பத்தி செய்ய எங்களுக்கு உதவுகின்றன, இது பெரும்பாலான MOCVD கருவிகளுக்கு ஏற்றது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

VeTeK செமிகண்டக்டர்  SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் கடைகள்