PZT பைசோ எலக்ட்ரிக் வேஃபர்ஸ் (PZT on Si/SOI)

1. தொழில்நுட்ப கட்டிடக்கலை

எங்களின் செதில்கள் சிக்கலான MEMS செயலாக்கத்தின் போது உகந்த ஒட்டுதல், கடத்துத்திறன் மற்றும் பைசோ எலக்ட்ரிக் பதிலை உறுதிப்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட அதிநவீன பல அடுக்கு அடுக்கு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளன:

 ●மேல் மின்முனை (விசை அடுக்கு): Pt (பிளாட்டினம்).

● பைசோ லேயர் (கோர் லேயர்): PZT.

● இடைநிலை அடுக்குகள்: தானிய நோக்குநிலை மற்றும் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கு தாங்கல் அடுக்கு, கீழ் மின்முனை மற்றும் ஒட்டுதல் அடுக்கு ஆகியவை அடங்கும்.

● அடி மூலக்கூறு: Si அல்லது SOI செதில்களுடன் இணக்கமானது.

2. தர உத்தரவாதம் & நுண் கட்டமைப்பு பகுப்பாய்வு

கடுமையான தொழில்நுட்ப குணாதிசயங்கள் மூலம் உயர் நம்பகத்தன்மையை நாங்கள் உறுதி செய்கிறோம்:

 ●SEM பகுப்பாய்வு: ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோபி (SEM) படங்கள், ஒரே மாதிரியான தானிய அளவு விநியோகத்துடன் கூடிய அடர்த்தியான, விரிசல் இல்லாத மேற்பரப்பு உருவ அமைப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, அதிக நம்பகத்தன்மை கொண்ட MEMS பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

 ●XRD குணாதிசயம்: எக்ஸ்-ரே டிஃப்ராஃப்ரக்ஷன் (எக்ஸ்ஆர்டி) வடிவங்கள் வலுவான (100) விருப்பமான நோக்குநிலையுடன் தூய பெரோவ்ஸ்கைட் கட்ட உருவாக்கத்தை உறுதிப்படுத்துகின்றன, இது அதிகபட்ச பைசோ எலக்ட்ரிக் செயல்திறன் குணகங்களை உறுதி செய்கிறது.

3. தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் (பண்புகள்)

4. முக்கிய பயன்பாடுகள்

 ● பைசோ எலக்ட்ரிக் மைக்ரோமசின்டு அல்ட்ராசோனிக் டிரான்ஸ்யூசர்கள் (pMUT): கைரேகை சென்சார்கள், சைகை அறிதல் மற்றும் வாகன அல்ட்ராசோனிக் ரேடார் ஆகியவற்றிற்கான உயர் அதிர்வெண் மினியேட்டரைஸ் செய்யப்பட்ட அணிவரிசைகள்.

 ● தொடர்பு: FBAR அல்லது SAW வடிப்பான்களை 5G/6G இல் தயாரிப்பதற்கான திறவுகோல், பரந்த அலைவரிசை மற்றும் குறைந்த செருகும் இழப்பை அடைய.

 ● ஒலியியல் MEMS: MEMS ஸ்பீக்கர்களுக்கு சக்திவாய்ந்த நிலையற்ற பதிலை வழங்குகிறது மற்றும் MEMS மைக்ரோஃபோன்களுக்கான சிக்னல்-டு-இரைச்சல் விகிதத்தை (SNR) மேம்படுத்துகிறது.

 ● துல்லியமான திரவக் கட்டுப்பாடு: இன்க்ஜெட் பிரிண்ட்ஹெட்களில் நீர்த்துளி அளவை நானோலிட்டர் அளவிலான துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கு d31 பயன்முறை வழியாக அதிவேக அதிர்வு.

 ● மருத்துவம் மற்றும் அழகு (மைக்ரோ-பம்பிங்): அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் சிறிய அளவு கொண்ட மருத்துவ நெபுலைசர்கள் அல்லது ஒப்பனை மீயொலி குழாய்களை இயக்குகிறது.

5. தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்

Si செதில்களில் நிலையான வைப்புத்தொகைக்கு கூடுதலாக, நாங்கள் தனிப்பயன் படிவு சேவைகளையும் வழங்குகிறோம்:

 ●திரைப்படம் & தடிமன் தனிப்பயனாக்கம்: வடிவமைப்பு தேவைகளுக்கு ஏற்ப குறிப்பிட்ட பட வகைகள் மற்றும் தனிப்பயன் தடிமன்களின் படிவு.

 ●OEM ஃபவுண்டரி: உயர்தர பைசோ எலக்ட்ரிக் மெல்லிய பட வளர்ச்சிக்காக வாடிக்கையாளர்களிடமிருந்து வழங்கப்படும் செதில்களை ஏற்றுக்கொள்வது.

 ●SOI அடி மூலக்கூறு ஆதரவு: பின்வரும் விவரக்குறிப்புகளுடன் SOI செதில்களில் சிறப்புப் படிவு: