TAC பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டாக் பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் என்பது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் செதில் கையாளுதலுக்கான முக்கிய அங்கமாகும். அதன்டாக் என்னஎங்கள்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை (3880 ° C வரை உருகும் புள்ளி), வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில் செயலாக்கத்தில் அதிக துல்லியத்தையும் உயர் தரத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

டிஏசி பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் (டான்டலம் கார்பன் பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர்) என்பது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய உபகரணக் கூறு ஆகும். இது வழக்கமாக நிறுவப்படுகிறதுவேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)மற்றும் ஒரே மாதிரியான பொருள் படிவு மற்றும் திறமையான எதிர்வினையை உறுதிப்படுத்த செதில்களை ஆதரிப்பதற்கும் சுழற்றுவதற்கும் மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணங்கள். இந்த வகை தயாரிப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கை மற்றும் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, அதனுடன் அடி மூலக்கூறு பூசுவதன் மூலம்டான்டலம் கார்பன் (டிஏசி) பூச்சு.

டிஏசி பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் பொதுவாக டிஏசி பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவற்றால் அடி மூலக்கூறு பொருளாக இருக்கும். TAC என்பது மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளி (3880 ° C வரை உருகும் புள்ளி), கடினத்தன்மை (விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 HK) மற்றும் சிறந்த வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு தீவிர உயர் வெப்பநிலை பீங்கான் பொருள். வெடெக் குறைக்கடத்தி சி.வி.டி தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் அடி மூலக்கூறு பொருளின் மீது டான்டலம் கார்பன் பூச்சுகளை திறம்பட மற்றும் சமமாக மறைக்க முடியும்.

சுழற்சி சசெப்டர் பொதுவாக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் வலிமை பொருட்களால் ஆனது (கிராஃபைட் அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு), இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல இயந்திர ஆதரவு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்க முடியும். இரண்டின் சரியான கலவையானது, செதில்களை ஆதரிப்பதிலும் சுழற்றுவதிலும் TAC பூச்சு சுழற்சி செயலாக்குபவரின் சரியான செயல்திறனை தீர்மானிக்கிறது.

டிஏசி பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் சி.வி.டி செயல்பாட்டில் செதில்களை ஆதரிக்கிறது மற்றும் சுழற்றுகிறது. TAC இன் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 HK ஆகும், இது பொருளின் தொடர்ச்சியான உராய்வை எதிர்க்கவும், நல்ல துணைப் பாத்திரத்தை வகிக்கவும் உதவுகிறது, இதன் மூலம் எதிர்வினை வாயு சமமாக மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதையும், பொருள் சமமாக டெபாசிட் செய்யப்படுவதையும் உறுதி செய்கிறது. அதே நேரத்தில், டிஏசி பூச்சுகளின் அதிக வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலங்களில் நீண்ட காலத்திற்கு பயன்படுத்த உதவுகின்றன, இது செதில் மற்றும் கேரியரின் மாசுபாட்டை திறம்பட தவிர்க்கிறது.

மேலும், TAC இன் வெப்ப கடத்துத்திறன் 21 w/m · K ஆகும், இது நல்ல வெப்ப பரிமாற்றத்தைக் கொண்டுள்ளது. ஆகையால், டிஏசி பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் செதில்களை சமமாக வெப்பப்படுத்தலாம் மற்றும் சுழற்சி இயக்கத்தின் மூலம் வாயு படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் நிலைத்தன்மையையும் உயர் தரத்தையும் பராமரிக்கும்செதில் வளர்ச்சி.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு：

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்：

TAC பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் கடைகள்: