தொழில் செய்திகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை அடிக்கடி சந்திக்கிறது. பிளாஸ்மா அடர்த்தியை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு கலவையை சரிசெய்தல், வெற்றிட அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், நியாயமான லித்தோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைத்தல் மற்றும் பொருத்தமான எச்சிங் மாஸ்க் பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது ஆகியவை மேம்பாட்டுத் தீர்வுகளில் அடங்கும்.

உயர் செயல்திறன் கொண்ட SIC மட்பாண்டங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறையாக ஹாட் பிரஸ்ஸிங் சின்தேரிங் உள்ளது. சூடான அழுத்தும் சின்தேரிங்கின் செயல்முறை பின்வருமாறு: உயர் தூய்மை SIC பொடியைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அழுத்தி வடிவமைத்தல், பின்னர் சின்தேரிங். இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SIC மட்பாண்டங்கள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தியின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை அரைக்கும் வட்டுகள் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களை செதில் செயலாக்கத்திற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) முக்கிய வளர்ச்சி முறைகளில் PVT, TSSG மற்றும் HTCVD ஆகியவை அடங்கும், ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகள் மற்றும் சவால்களைக் கொண்டுள்ளன. கார்பன் அடிப்படையிலான வெப்பப் புலப் பொருட்களான இன்சுலேஷன் சிஸ்டம்ஸ், க்ரூசிபிள்கள், TaC பூச்சுகள் மற்றும் நுண்துளை கிராஃபைட் ஆகியவை SiC இன் துல்லியமான உருவாக்கம் மற்றும் பயன்பாட்டிற்கு அவசியமான நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குவதன் மூலம் படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகின்றன.

எஸ்.ஐ.சி அதிக கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பொருந்தக்கூடிய லட்டு மாறிலி ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை ஆயுள் மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன, இது செதில் கேரியர்கள், முன்கூட்டியே வளையங்கள் மற்றும் பல போன்ற பயன்பாடுகளில் அவசியமாக்குகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் பல்வேறு தொழில் தேவைகளுக்கான தனிப்பயன் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) என்பது உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் இயந்திர வலிமை போன்ற சிறந்த பண்புகளுக்கு அறியப்பட்ட உயர் துல்லியமான குறைக்கடத்தி பொருள் ஆகும். இது 200 க்கும் மேற்பட்ட படிக கட்டமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, 3C-SIC ஒரே கன வகை, மற்ற வகைகளுடன் ஒப்பிடும்போது சிறந்த இயற்கை கோளத்தையும் அடர்த்தியையும் வழங்குகிறது. 3 சி-எஸ்.ஐ.சி அதன் உயர் எலக்ட்ரான் இயக்கத்திற்கு தனித்து நிற்கிறது, இது பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸில் MOSFET களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, இது நானோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், நீல எல்.ஈ.டிக்கள் மற்றும் சென்சார்களில் பெரும் திறனைக் காட்டுகிறது.

டயமண்ட், நான்காவது தலைமுறை "இறுதி குறைக்கடத்தி", அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் கவனத்தை ஈர்க்கிறது. அதன் அதிக விலை மற்றும் உற்பத்தி சவால்கள் அதன் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்தும் அதே வேளையில், CVD என்பது விருப்பமான முறையாகும். ஊக்கமருந்து மற்றும் பெரிய பகுதி படிக சவால்கள் இருந்தபோதிலும், வைரம் வாக்குறுதியைக் கொண்டுள்ளது.