VETEK-AMAT ஹாலோ லிஃப்ட் பின் தீர்வு: CVD SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு

படம் 1: AMAT 0200-03201 ஹாலோ லிஃப்ட் பின் இயற்பியல் தயாரிப்பு (300 மிமீ சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கு)

குறைக்கடத்தி செதில் பரிமாற்ற செயல்முறைகளில், வெற்று லிஃப்ட் முள் (வேஃபர் லிஃப்ட் பின்) செதில்களை ஆதரிப்பது மற்றும் மாற்றுவது போன்ற முக்கியமான பணிகளை மேற்கொள்கிறது. MOCVD மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களில், உயர் தூய்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த துகள் மாசுபாடு உள்ளிட்ட பல தேவைகளை லிப்ட் பின்கள் ஒரே நேரத்தில் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.

தற்போது, ​​சந்தையில் உள்ள பிரதான லிப்ட் பின்கள் ஒரு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு + CVD SiC பூச்சு தீர்வைப் பயன்படுத்துகின்றன. இருப்பினும், பெரும்பாலான சப்ளையர்களின் பூச்சு தொழில்நுட்பம் வெளிப்புற மேற்பரப்பை மட்டுமே மறைக்க முடியும் - வெற்று கட்டமைப்புகளுக்கு,உள்சுவர் உண்மையிலேயே "தொழில்நுட்ப மனிதர்கள் இல்லாத நிலம்".

I. உள்-சுவர் பூச்சு எதிர்கொள்ளும் மூன்று முக்கிய சவால்கள்

1. கட்டுப்பாடற்ற வைப்பு சீரான தன்மை

வெற்று கட்டமைப்புகள் ஒரு பெரிய விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளன. CVD வினைத்திறன் வாயுக்கள் உள் துளைக்குள் ஒரே சீரான ஆழத்தில் பரவுவதற்கு போராடுகின்றன, இதனால் உள்-சுவர் பூச்சு தடிமன் துறைமுகத்திலிருந்து ஆழமான உட்புறம் வரை சாய்வில் குறைகிறது, உள்ளூர் பகுதிகள் கூட வெற்று வெளிப்படும் பகுதிகளைக் காட்டுகின்றன.

2. போதிய இடைமுகப் பிணைப்பு வலிமை

வளைந்த உள்-சுவர் மேற்பரப்பு படிவு செயல்முறை அளவுருக்களின் தேர்வுமுறை இடத்தைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள பிணைப்பு வலிமை வெளிப்புற மேற்பரப்பின் அதே அளவை அடைவது கடினம், மேலும் வெப்ப சுழற்சியின் போது மைக்ரோ-கிராக் அல்லது உரித்தல் கூட எளிதில் ஏற்படலாம்.

3. கட்டுப்பாடற்ற உள் துளை சுத்தம்

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் நுண்ணிய அமைப்பு பூச்சு மூலம் முழுமையாக மூடப்படாவிட்டால், அதிக வெப்பநிலையில் கார்பன் துகள்கள் மற்றும் உலோக அசுத்தங்கள் வெளியிடப்படும். அசுத்தங்கள் பிரிந்தவுடன், அவை நேரடியாக நிற வேறுபாடு மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் துகள் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்துகின்றன, உற்பத்தி விளைச்சலைக் கடுமையாகக் குறைக்கின்றன.

CVD பூச்சு துறையில் குவிந்துள்ள ஆழமான தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவத்தைப் பயன்படுத்தி, VETEK ஆனது வெற்று கட்டமைப்புகளின் உட்புறச் சுவரில் CVD SiC பூச்சுகளின் சீரான படிவு மற்றும் இடைமுகப் பிணைப்பு ஆகியவற்றின் சவால்களை வெற்றிகரமாக முறியடித்துள்ளது-வாயு ஓட்ட புல உருவகப்படுத்துதல் தேர்வுமுறை முதல் துல்லியமான படிவு வெப்பநிலை புலக் கட்டுப்பாடு வரை. துளையின் ஆழமான உட்புறம், உறுதியான பிணைப்பு மற்றும் உள் துளை தூய்மைக்கான தரநிலைகள்.

இந்த கட்டுரை ஒரு ஆழமான பகுப்பாய்வை வழங்கும்: ஹாலோ லிப்ட் பின் உள் சுவர் பூச்சுகளின் தொழில்நுட்ப சிக்கல்கள், உள்-சுவர் பூச்சு சீரான தன்மை செதில் விளைச்சலை எவ்வாறு பாதிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை வடிவமைப்பு முதல் தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் விநியோகம் வரை முக்கிய கட்டுப்பாட்டு முனைகள்.

II. AMAT ஹாலோ லிஃப்ட் பின் என்றால் என்ன?

AMAT ஹாலோ லிப்ட் முள் என்பது செமிகண்டக்டர் செயல்முறை உபகரணங்களுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான செதில் கையாளும் கூறு ஆகும். ஏற்றுதல், இறக்குதல் மற்றும் செயல்முறை வரிசைகளின் போது செதில்களை உயர்த்துவது மற்றும் நிலைநிறுத்துவது இதன் முதன்மை செயல்பாடு ஆகும்.

வழக்கமான திடமான லிப்ட் ஊசிகளைப் போலன்றி, வெற்று வடிவமைப்பு உள் குழியை உள்ளடக்கியது. இந்த அமைப்பு தேவையான இயந்திர வடிவவியலைப் பராமரிக்கும் போது ஒட்டுமொத்த பொருள் அளவு மற்றும் வெப்ப வெகுஜனத்தை குறைக்கிறது. இருப்பினும், குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு, வழக்கமான திடமான கூறுகளை எந்திரம் செய்வதை விட வெற்று லிப்ட் ஊசிகளை உற்பத்தி செய்வது மிகவும் தேவைப்படுகிறது. உள் மற்றும் வெளிப்புற மேற்பரப்புகளின் பரிமாணத் துல்லியம் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் உள் மற்றும் வெளிப்புற வடிவவியலுக்கு இடையிலான செறிவு மிகவும் முக்கியமானது. எனவே, லிப்ட் பின்னின் இறுதி செயல்திறனுக்கு பொருள் தேர்வு மற்றும் பூச்சு செயல்முறைகள் இரண்டும் அவசியம்.

AMAT எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கு, VETEK செமிகண்டக்டர் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின் தீர்வுகளை வழங்குகிறது. செதில் தூக்குவதற்குத் தேவையான இயந்திர அமைப்பைப் பராமரிக்கும் போது வெற்று அமைப்பு தேவையற்ற பொருள் வெகுஜனத்தைக் குறைக்க உதவுகிறது; CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அதிக தூய்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. VETEK இன் AMAT 0200-03201 லிப்ட் முள் குறிப்பாக 300 மிமீ சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள், பரிமாணங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தயாரிக்கப்படலாம்.

III. VETEK இன் AMAT ஹாலோ லிஃப்ட் பின்னின் அமைப்பு

VETEK தற்போது AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின்களுக்கான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் + CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கட்டமைப்பில் கவனம் செலுத்துகிறது. அடிப்படை கட்டுமான செயல்முறை:

உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு → துல்லியமான CNC எந்திரம் → CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு → துல்லிய ஆய்வு

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு கட்டமைப்பு அடித்தளத்தை வழங்குகிறது மற்றும் மெல்லிய சுவர் மற்றும் வெற்று வடிவவியலின் துல்லியமான எந்திரத்திற்கு ஏற்றது. VETEK பொதுவாக இறக்குமதி செய்யப்பட்ட குறைக்கடத்தி-தர கிராஃபைட் பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது, இதில் SGL கார்பன் மற்றும் டோயோ டான்சோ பொருட்கள் உட்பட, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பொறுத்து. ஒரு அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் வைக்கப்பட்டு ஒரு பாதுகாப்பு குறைக்கடத்தி தர வேலை செய்யும் மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது.

கிராஃபைட்டை அடி மூலக்கூறாக ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

வெற்று லிப்ட் ஊசிகளுக்கு, அடி மூலக்கூறு பொருள் இயந்திரத்திறன், வெப்ப செயல்திறன், இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் பூச்சு செயல்முறை இணக்கத்தன்மை ஆகியவற்றில் சமநிலையை ஏற்படுத்த வேண்டும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் குறிப்பாக பொருத்தமானது, ஏனெனில் இது பின்வரும் பண்புகளை வழங்குகிறது:

• நல்ல உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை

• குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்

• நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்

• ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த அடர்த்தி

• சிக்கலான வடிவவியலுக்கான சிறந்த இயந்திரத்திறன்

• CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு செயல்முறையுடன் இணக்கம்

கிராஃபைட்டின் பயன்பாடு சிக்கலான வெற்று மற்றும் மெல்லிய சுவர் கட்டமைப்புகளை அதிக துல்லியத்துடன் தயாரிப்பதை சாத்தியமாக்குகிறது. VETEK ஆனது செமிகண்டக்டர் கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளுக்கான துல்லியமான CNC எந்திர திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எந்திர செயல்முறைகள் பரிமாணக் கட்டுப்பாடு மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்திற்கு உகந்ததாக உள்ளது.

IV. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு: முக்கியமான பாதுகாப்பு அடுக்கு

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு VETEK AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின்களின் மிக முக்கியமான அம்சங்களில் ஒன்றாகும். இந்த பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது, செயல்முறை சூழலில் இருந்து அடிப்படை கிராஃபைட்டைப் பாதுகாக்க உதவுகிறது.

அத்தகைய VETEK கூறுகளுக்கான நிலையான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தடிமன் தோராயமாக உள்ளது100±20 μm. பூச்சு தூய்மை தோராயமாக உள்ளது6N / 99.99995%.

VETEK இன் பரந்த CVD சிலிக்கான் கார்பைடு தொழில்நுட்ப திறன்களில் உயர் தூய்மை பூச்சுகள், கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பூச்சு தடிமன் மற்றும் தொகுதிக்கு தொகுதி தடிமன் சீரான தன்மை ஆகியவை அடங்கும். CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தூய்மை 6N–7N அளவில் இருப்பதாக தொழில்நுட்பத் தகவல்கள் குறிப்பிடுகின்றன. குறிப்பிட்ட AMAT லிப்ட் பின் திட்டங்களுக்கு, வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப பூச்சு விவரக்குறிப்புகள் சரிசெய்யப்படலாம்.

படம் 2: CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

உள் சுவர் பூச்சு ஏன் முக்கியமானது?

AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின்களின் தொழில்நுட்ப ரீதியாக மிகவும் சவாலான அம்சங்களில் ஒன்று வெளிப்புற மேற்பரப்பை பூசுவது மட்டுமல்ல, வெற்று கட்டமைப்பின் உள் சுவரில் நிலையான மற்றும் சீரான பூச்சுகளை அடைவது.

CVD பூச்சு செயல்பாட்டின் போது உள் மேற்பரப்பை அணுகுவது கடினம். வெளிப்புற மேற்பரப்புடன் ஒப்பிடுகையில், உட்புற வடிவவியல் வாயு ஓட்டம், படிவு சீரான தன்மை, பூச்சு தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் கூடுதல் சவால்களை அறிமுகப்படுத்துகிறது. எனவே, உள்-சுவர் பூச்சு தரமானது சப்ளையர்களிடையே ஒரு முக்கிய வேறுபாடு காரணியாக மாறும்.

VETEK ஆனது வெற்று கட்டமைப்புகளின் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் உள் மேற்பரப்பில் சிறப்பு முக்கியத்துவம் கொடுக்கிறது. நன்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உள்-சுவர் பூச்சு, உள் கிராஃபைட்டை செயல்முறை சூழலுக்கு வெளிப்படுத்தாமல், வெற்று அமைப்பு முழுவதும் பாதுகாப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கை பராமரிக்க உதவுகிறது. லிப்ட் முள் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு குறைக்கடத்தி செயல்முறை அறைகளில் செயல்படும் போது இது மிகவும் முக்கியமானது.

படம் 3: CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் நுண்ணிய படிக அமைப்பு

V. VETEK AMAT ஹாலோ லிஃப்ட் பின்களின் முக்கிய நன்மைகள்

உயர் தூய்மை பொருள் அமைப்பு:உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் உயர்-தூய்மை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவற்றின் கலவையானது, மாசுக் கட்டுப்பாடு முக்கியமானதாக இருக்கும் குறைக்கடத்தி சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட விவரக்குறிப்பைப் பொறுத்து, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தூய்மை 6N ஆகும்.

நிலையான 100±20 μm சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு:VETEK இன் நிலையான பூச்சு தடிமன் தோராயமாக 100±20 μm ஆகும், இது குறைக்கடத்தி செயல்முறை கூறுகளுக்கு நடைமுறை பூச்சு தடிமன் வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கம் கிடைக்கிறது.

சிறந்த உள்-சுவர் பூச்சு திறன்:வெற்று கூறுகளுக்கு, உள்-சுவர் பூச்சு என்பது உற்பத்தி செயல்முறையின் மிகவும் கடினமான பகுதிகளில் ஒன்றாகும். VETEK ஆனது வெற்று லிப்ட் ஊசிகளின் உள் சுவரில் உயர்தர கவரேஜை அடையும் திறன் கொண்ட பூச்சு செயல்முறைகளை உருவாக்கியுள்ளது, வாயு ஓட்ட புலம் உருவகப்படுத்துதல் முதல் வெப்பநிலை புலம் கட்டுப்பாடு வரை, நிலையான பூச்சு தடிமன், உறுதியான பிணைப்பு ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது.

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை:கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு இரண்டும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரசாயன தாக்குதல் மற்றும் மேற்பரப்பு சிதைவுக்கு எதிராக கூடுதல் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. VETEK இன் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு படத் தரவு உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் ஏறத்தாழ 2700 டிகிரி செல்சியஸ் பதங்கமாதல் வெப்பநிலை ஆகியவற்றைப் பட்டியலிடுகிறது, இது பொருள் அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது என்பதைக் குறிக்கிறது.

இரசாயன மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு:அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு மேற்பரப்பு வெற்று கிராஃபைட்டை விட சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயன சுத்தம் சூழல்களை தாங்கும். இது அடி மூலக்கூறு சிதைவைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செயல்முறை சுழற்சிகளில் மிகவும் நிலையான கூறு மேற்பரப்பை பராமரிக்கிறது.

துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் தனிப்பயனாக்கம்:வெற்று லிப்ட் ஊசிகளுக்கு வெளிப்புற விட்டம், உள் விட்டம், சுவர் தடிமன், நீளம் மற்றும் செறிவு ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. VETEK ஆனது CNC துல்லியமான இயந்திரத்தை CVD பூச்சு செயல்முறைகளுடன் இணைத்து வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின்படி சிக்கலான குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகிறது. லிஃப்ட் ஊசிகளை பின்வருமாறு தயாரிக்கலாம்:

• வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள்

• மாதிரி கூறுகள்

• பரிமாண விவரக்குறிப்புகள்

• தேவையான பூச்சு தடிமன்

• தேவையான கிராஃபைட் தரம்

• குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகள்

படம் 4: CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு GDMS தூய்மை சோதனை அறிக்கை

VI. வழக்கமான பயன்பாடுகள்

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி:எபிடாக்ஸி உபகரணங்களுக்குள் செதில் தூக்குதல், பொருத்துதல் மற்றும் பரிமாற்றம் ஆகியவற்றிற்கு லிஃப்ட் பின்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. VETEK இன் தற்போதைய AMAT 0200-03201 தயாரிப்பு குறிப்பாக 300 மிமீ சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்காக நிலைநிறுத்தப்பட்டுள்ளது.

செதில் கையாளுதல் அமைப்புகள்:உயர் வெப்பநிலை நிலைப்புத்தன்மை, பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கான துல்லியமான செதில் கையாளும் கூறுகளாக லிஃப்ட் பின்கள் செயல்படும். ஒரு வெற்று குழாய் உடலைக் கொண்ட வேஃபர் லிப்ட் பின்கள் உள்ளூர் வெப்ப இழப்பைத் திறம்பட குறைக்கலாம், இதன் மூலம் அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் (எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அல்லது அனீலிங் போன்றவை) செதில் பின்புறத்தில் பொதுவாகக் காணப்படும் முள் குறிகளைக் குறைக்கும். லிப்ட் பின் உடலின் உள்ளே ஒரு வெற்று குழியை உருவாக்குவது வெப்ப வெகுஜனத்தை குறைக்கிறது மற்றும் செதில் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

படம் 5: வெற்று லிப்ட் ஊசிகள் வெப்ப வெகுஜனத்தைக் குறைக்கும் மற்றும் செதில் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்தும் கொள்கையின் திட்டம்

குறைக்கடத்தி செயல்முறை உபகரணங்கள்:வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள் மற்றும் மாதிரிகளின் அடிப்படையில், இதே போன்ற கிராஃபைட் + CVD சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளை மற்ற குறைக்கடத்தி உபகரண தளங்களுக்கு உருவாக்கலாம். VETEK இன் குறைக்கடத்தி தயாரிப்பு போர்ட்ஃபோலியோ சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி, MOCVD, RTP/RTA, எச்சிங் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது.

 

VII. உற்பத்தி செயல்முறை: செயல்முறை வடிவமைப்பு முதல் தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் விநியோகம் வரை முக்கிய கட்டுப்பாட்டு முனைகள்

AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின்களின் உற்பத்தி பல முக்கியமான படிகளை உள்ளடக்கியது, ஒவ்வொன்றும் இறுதி தயாரிப்பு மற்றும் செதில் விளைச்சலின் நம்பகத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது:

1. கிராஃபைட் பொருள் தேர்வு- வாடிக்கையாளரின் பரிமாணம், வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் தூய்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பொருத்தமான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் தரத்தை (SGL கார்பன் அல்லது டோயோ டான்சோ, முதலியன) தேர்ந்தெடுக்கவும்.

2. துல்லியமான CNC எந்திரம்— தேவையான வெற்று வடிவவியலில் கிராஃபைட்டை வெறுமையாக்கவும். உள் விட்டம், வெளிப்புற விட்டம், சுவர் தடிமன், நீளம் மற்றும் செறிவு ஆகியவற்றில் சிறப்பு கவனம் செலுத்தப்படுகிறது.

3. மேற்பரப்பு தயாரிப்பு- இயந்திர கிராஃபைட் கூறு CVD பூச்சுக்கு முன் சுத்தம் மற்றும் மேற்பரப்பு தயாரிப்புக்கு உட்படுகிறது.

4. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு— கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கை டெபாசிட் செய்யவும். நிலையான பூச்சு தடிமன் தோராயமாக 100±20 μm ஆகும், தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட விவரக்குறிப்பின்படி பூச்சு தூய்மை 6N ஆகும்.

5. உள் மேற்பரப்பு பூச்சு (முக்கியமான தொழில்நுட்ப படி)- வெற்று லிப்ட் ஊசிகளுக்கு, நிலையான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கவரேஜை அடைய உள் சுவர் கவனமாக செயலாக்கப்படுகிறது. எரிவாயு ஓட்ட புல உருவகப்படுத்துதல் மற்றும் துல்லியமான படிவு வெப்பநிலை புலக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் மூலம், துறைமுகத்திலிருந்து துளையின் ஆழமான உட்புறம் வரை சீரான பூச்சு தடிமன், உறுதியான பிணைப்பு மற்றும் உள் துளை தூய்மை சந்திப்பு தரநிலைகள் உறுதி செய்யப்படுகின்றன.

6. ஆய்வு - முடிக்கப்பட்ட கூறுகள் பரிமாணத் துல்லியம், பூச்சு நிலை மற்றும் பிற வாடிக்கையாளர்-குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்றுமதிக்கு முன் ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன.

VETEK இன் உற்பத்தி திறன்கள் சுத்திகரிப்பு, CNC எந்திரம், CVD பூச்சு மற்றும் ஆய்வு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது, குறைக்கடத்தி கார்பன் அடிப்படையிலான கூறுகளுக்கு ஒரு ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி சங்கிலியை வழங்குகிறது.

படம் 6: VETEK குறைக்கடத்தி பொருட்கள் உற்பத்தி மற்றும் துல்லியமான எந்திர அடிப்படை

VIII. மாதிரி முன்னணி நேரம்

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின் மாதிரிகளுக்கான வழக்கமான முன்னணி நேரம் சுமார் 20 நாட்கள் வரை வேகமாக இருக்கும். வரைதல் சிக்கலானது, பொருள் தேர்வு, பூச்சு தேவைகள், அளவு மற்றும் ஆய்வு தேவைகளைப் பொறுத்து உண்மையான விநியோக நேரம் மாறுபடலாம். மீண்டும் மீண்டும் ஆர்டர்கள் அல்லது ஏற்கனவே தகுதி பெற்ற தயாரிப்புகளுக்கு, வாடிக்கையாளர் கணிப்புகள் மற்றும் தேவையான விநியோக தேதிகளின்படி உற்பத்தி அட்டவணைகள் தனித்தனியாக பேச்சுவார்த்தை நடத்தப்படலாம்.

படம் 7: VETEK AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின் தயாரிப்பு பேக்கேஜிங்

 

IX. VETEK இன் AMAT ஹாலோ லிஃப்ட் பின்களை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

VETEK ஆனது கிராஃபைட் பொருள் கொள்முதல், துல்லியமான எந்திரம், CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் குறைக்கடத்தி கூறு உற்பத்தி ஆகியவற்றை ஒரு ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி செயல்முறையாக ஒருங்கிணைக்கிறது. முக்கிய திறன்கள் அடங்கும்:

• உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு (SGL கார்பன் / டோயோ டான்சோ, முதலியன)

• CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தூய்மை 6N

• நிலையான பூச்சு தடிமன் 100± 20 μm

• வெற்று அமைப்பு எந்திரம்

• உள்-சுவர் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (முக்கிய வேறுபடுத்தும் திறன்)

• துல்லியமான CNC எந்திரம்

• AMAT-இணக்கமான வேஃபர் லிப்ட் பின் தீர்வுகள்

• மாதிரி முன்னணி நேரம் தோராயமாக 20 நாட்கள்

VETEK ஆனது CVD உபகரண மேம்பாடு, CVD செயல்முறை மேம்பாடு, CNC துல்லிய எந்திரம் மற்றும் சுத்திகரிப்பு ஆகியவற்றின் முழுமையான தொழில்நுட்ப சங்கிலியை உள்ளடக்கியது, அர்ப்பணிக்கப்பட்ட R&D மையங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் உற்பத்தி வசதிகளால் ஆதரிக்கப்படுகிறது.

X. அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)

Q1: VETEK AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின்களின் நிலையான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தடிமன் என்ன?

நிலையான பூச்சு தடிமன் தோராயமாக 100± 20 μm ஆகும். வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப குறிப்பிட்ட தடிமன் சரிசெய்யப்படலாம்.

Q2: CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு எந்த தூய்மை நிலையை அடைய முடியும்?

தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட விவரக்குறிப்பைப் பொறுத்து, பூச்சு தூய்மை தோராயமாக 6N (99.99995%) ஆகும். VETEK இன் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு இயங்குதளம் வழக்கமாக 6N–7N அளவில் இயங்குகிறது.

Q3: வெற்று லிப்ட் ஊசிகளுக்கு உள்-சுவர் பூச்சு ஏன் முக்கியமானது?

உள் வடிவியல் ஒரே மாதிரியாக பூசுவது கடினம். உயர்தர உள்-சுவர் சிலிக்கான் கார்பைடு கவரேஜ் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு உயர் வெப்பநிலை, வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் செயல்முறை சூழல்களுக்கு வெளிப்படுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மைக்கான முக்கிய வேறுபாடு காரணியாகும். உள்-சுவர் பூச்சு சீரான தன்மை உட்புற துளை தூய்மை மற்றும் செதில் விளைச்சலுடன் நேரடியாக தொடர்புடையது.

Q4: எனது OEM வரைபடங்கள் அல்லது மாதிரிகளின்படி VETEK தயாரிக்க முடியுமா?

ஆம். வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள், OEM பகுதி எண்கள் (AMAT 0200-03201 போன்றவை), மாதிரி கூறுகள், பரிமாண விவரக்குறிப்புகள், தேவையான கிராஃபைட் தரம் மற்றும் பூச்சு தேவைகளுக்கு ஏற்ப VETEK தயாரிக்க முடியும்.

Q5: வழக்கமான மாதிரி முன்னணி நேரம் என்ன?

வழக்கமான மாதிரி முன்னணி நேரம் தோராயமாக 20 நாட்கள் வரை வேகமாக இருக்கும். உண்மையான விநியோகமானது வரைதல் சிக்கலானது, பொருள் தேர்வு, பூச்சு தேவைகள், அளவு மற்றும் ஆய்வு தேவைகளைப் பொறுத்தது.

XI. சுருக்கம்

AMAT ஹாலோ லிப்ட் முள் ஒப்பீட்டளவில் சிறிய குறைக்கடத்தி கூறு என்றாலும், அதன் உற்பத்தித் தேவைகள் எளிமையானவை அல்ல. மெல்லிய-சுவர் வடிவியல், கடுமையான செறிவுத் தேவைகள், உயர்-வெப்பநிலை செயல்பாடு, மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் உள்-மேற்பரப்பு பூச்சு ஆகியவற்றின் கலவையானது அதை ஒரு சிறப்பு குறைக்கடத்தி செயல்முறை கூறுகளாக ஆக்குகிறது.

VETEK இன் தற்போதைய தீர்வு, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டை ஏற்றுக்கொள்கிறது, CVD சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உயர் தூய்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையுடன் கிராஃபைட்டின் இயந்திரத்திறன் மற்றும் வெப்ப பண்புகளை இணைக்கிறது. நிலையான பூச்சு தடிமன் 100±20 μm, தூய்மை 6N, SGL மற்றும் Toyo Tanso கிராஃபைட் பொருள் விருப்பங்கள் மற்றும் உள்-சுவர் பூச்சு திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டு, VETEK ஆனது குறைக்கடத்தி செதில் கையாளுதல் மற்றும் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட AMAT ஹாலோ லிப்ட் பின் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

மாற்று சப்ளையர்களைத் தேடும் வாடிக்கையாளர்களுக்குAMAT 0200-03201 வெற்று செதில் லிப்ட் பின்கள்,அல்லதுமற்ற சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் குறைக்கடத்தி கூறுகள்,VETEK வரைபடங்கள் அல்லது மாதிரிகளை மதிப்பீடு செய்து தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உற்பத்தி தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.