மூன்று-பீட்டல் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள்

CZ முறையால் மோனோக்ரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் வளர்ச்சி செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட வெடெக் செமிகண்டக்டரின் மூன்று-பீட்டல் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள், மூன்று-பீட்டல் கட்டமைப்பு கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் ஐசோஸ்டேடிக் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது. புதுமையான மூன்று-பேட்டல் கட்டமைப்பின் மூலம், பாரம்பரிய ஒருங்கிணைந்த க்ரூசிபிள் பிரித்தெடுக்கும் சிரமங்கள், வெப்ப அழுத்த செறிவு மற்றும் பிற தொழில் வலி புள்ளிகளை திறம்பட தீர்க்க முடியும், மேலும் இது ஒளிமின்னழுத்த சிலிக்கான் செதில்கள், குறைக்கடத்தி குவிப்பாளர்கள் மற்றும் பிற உயர்நிலை உற்பத்தித் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

முக்கிய செயல்முறை சிறப்பம்சங்கள்

1. அல்ட்ரா-துல்லியமான கிராஃபைட் செயலாக்க தொழில்நுட்பம்

பொருள் தூய்மை: சாம்பல் உள்ளடக்கம் <5ppm தேவைப்பட்டால் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் பயன்பாடு மற்றும் சிலிக்கான் உருகும் செயல்பாட்டில் பூஜ்ஜிய மாசுபாட்டை உறுதிப்படுத்த பொதுவாக ＜ 10பிபிஎம்

கட்டமைப்பு வலுப்படுத்துதல்: 2200 at இல் கிராஃபிடிஸ் செய்யப்பட்ட பிறகு, வளைக்கும் வலிமை ≥45mpa, மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் ≤4.6 × 10⁻⁶/as

மேற்பரப்பு சிகிச்சை: ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பை மேம்படுத்த 10-15μm பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு சி.வி.டி செயல்முறையால் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது (எடை இழப்பு <1.5%/100H@1600℃).

2. புதுமையான மூன்று-பேட்டல் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு

மட்டு சட்டசபை: 120 ° உபகரணங்கள் மூன்று-லோப் கட்டமைப்பு, நிறுவல் மற்றும் பிரித்தெடுக்கும் செயல்திறன் 300% அதிகரித்துள்ளது

மன அழுத்த வெளியீட்டு வடிவமைப்பு: பிளவு அமைப்பு வெப்ப விரிவாக்க அழுத்தத்தை திறம்பட சிதறடிக்கிறது மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை 200 க்கும் மேற்பட்ட சுழற்சிகளுக்கு விரிவுபடுத்துகிறது

துல்லிய பொருத்தம்: வால்வுகளுக்கு இடையிலான இடைவெளி <0.1 மிமீ, மற்றும் அதிக வெப்பநிலை பீங்கான் பிசின் சிலிக்கான் உருகும் செயல்பாட்டில் பூஜ்ஜிய கசிவை உறுதி செய்கிறது

3. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செயலாக்க சேவைகள்

ஆதரவு φ16 "-φ40" முழு அளவிலான தனிப்பயனாக்கம், சுவர் தடிமன் சகிப்புத்தன்மை கட்டுப்பாடு ± 0.5 மிமீ

வெப்ப புலம் விநியோகத்தை மேம்படுத்த சாய்வு அடர்த்தி அமைப்பு 1.83 கிராம்/செ.மீ.

போரோன் நைட்ரைடு கலப்பு பூச்சு மற்றும் ரீனியம் மெட்டல் எட்ஜ் வலுப்படுத்துதல் போன்ற மதிப்பு கூட்டப்பட்ட செயல்முறைகளை வழங்குதல்

வழக்கமான பயன்பாட்டு காட்சி

ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் ராட் தொடர்ச்சியான வரைதல்: ஜி 12 பெரிய அளவிலான சிலிக்கான் செதில் உற்பத்திக்கு ஏற்றது, ≥500 கிலோ ஏற்றுதல் திறன் ஆதரவு

என்-வகை டாப்கான் பேட்டரி: அல்ட்ரா-லோ தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வு சிறுபான்மை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது> 2 எம்எஸ்

வெப்ப புலம் மேம்படுத்தல்: பிரதான ஒற்றை படிக உலை மாதிரிகளுடன் இணக்கமானது (பி.வி.ஐ, ஃபெரோடெக், முதலியன)

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

8-12 அங்குல குறைக்கடத்தி-தர மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி: அரை நிலையான வகுப்பு -10 தூய்மை தேவைகளை பூர்த்தி செய்யுங்கள்

சிறப்பு அளவிலான படிகங்கள்: போரான்/பாஸ்பரஸ் விநியோக சீரான தன்மையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி: இணக்கமான SIC ஒற்றை படிக தயாரிப்பு செயல்முறை

அறிவியல் ஆராய்ச்சி புலம்

விண்வெளி சூரிய மின்கலங்களுக்கான அல்ட்ரா-மெல்லிய சிலிக்கான் செதில்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு

புதிய படிக பொருட்களின் வளர்ச்சி சோதனை (ஜெர்மானியம், காலியம் ஆர்சனைடு)

வரம்பு அளவுரு ஆராய்ச்சி (3000 ℃ அல்ட்ரா-உயர் வெப்பநிலை உருகும் பரிசோதனை)

தர உத்தரவாத அமைப்பு

ஐஎஸ்ஓ 9001/14001 இரட்டை கணினி சான்றிதழ்

வாடிக்கையாளர்களுக்கான பொருள் சோதனை அறிக்கையை வழங்குதல் (எக்ஸ்ஆர்டி கலவை பகுப்பாய்வு, SEM மைக்ரோஸ்ட்ரக்சர்)

முழு செயல்முறை தடமறிதல் அமைப்பு (லேசர் குறிக்கும் + பிளாக்செயின் சேமிப்பு)