தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம்
  • டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம்

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் குறைக்கடத்தி துறையில், குறிப்பாக எஸ்.ஐ.சி செதில்களை பொறிப்பதில் ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும். கிராஃபைட் அடிப்படை மற்றும் டிஏசி பூச்சு ஆகியவற்றின் கலவையானது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. அதன் மேம்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையுடன், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வளையம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு அவற்றின் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியமான, நம்பகத்தன்மை மற்றும் உயர்தர முடிவுகளை அடைய உதவுகிறது.

மற்றும்c பொறித்தல் செயல்முறைடான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தின் பயன்பாடு

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் முதன்மையாக எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மின் சாதனங்கள் மற்றும் ஆர்.எஃப் சாதனங்கள் போன்ற குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய படியாகும். டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு என்பது கடுமையான சூழல், அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன் காரணமாக உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் என்பது ஒரு நுட்பமான செயல்முறையாகும், இது துல்லியத்தையும் ஸ்திரத்தன்மையையும் பராமரிக்கும் போது கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கக்கூடிய கூறுகள் தேவைப்படுகிறது.

கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் ஒரு டிஏசி பூச்சு பயன்படுத்துவதன் மூலம், அவை ஆக்ஸிஜனேற்றம், அரிப்பு, உடைகள் மற்றும் அதன் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்கான அதன் எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்த முடியும் என்று ஆராய்ச்சியாளர்கள் கண்டுபிடித்தனர். இந்த பூச்சு செயல்முறை உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் கிராஃபைட்டின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.


உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் துல்லியமான சூழல்கள்

வெடெக் குறைக்கடத்தியின் டிஏசி பூச்சு வளையம் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி சூழல்களில் குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும், அங்கு அது உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும். அதன்டாக் பூச்சுஇந்த பொருட்களின் அரிக்கும் விளைவுகளிலிருந்து அதைப் பாதுகாக்கிறது, பொறித்தல் செயல்முறை முழுவதும் அதன் செயல்பாட்டை பராமரிக்கிறது.


மற்றும்c wafer கையாளுதல்

TAC பூசப்பட்ட வளையம் ஒரு சிறந்த வைத்திருப்பவர் மற்றும் ஆதரவு அமைப்பாக செயல்படுகிறதுமற்றும்c செதில்கள்பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது. அதன் துல்லியமான பொருத்தம் செதில் சரியாக நிலைநிறுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, பொறிப்பின் போது எந்தவொரு இயக்கத்தையும் தடுக்கிறது, இது சீரற்ற அல்லது அபூரண மேற்பரப்புகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்.


மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல்

குறைக்கடத்தி தொழிலில் தேவைப்படும் துல்லியத்தையும் தரத்தையும் பராமரிப்பதில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, குறிப்பாக மேம்பட்ட சாதனங்களின் உற்பத்தியில், செதிலின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறையின் தரம் இரண்டும் மிக முக்கியமானவை. உயர் தரமான டிஏசி பூச்சு வளையம் வேலை செய்யும் பணியில் சில தவறுகளைத் தவிர்க்கிறது.


TAC பூசப்பட்ட வளையத்தின் நீண்ட ஆயுள் அதன் மிக முக்கியமான நன்மைகளில் ஒன்றாகும். TAC பூச்சு கூடுதல் பாதுகாப்பின் அடுக்கை வழங்குகிறது, இது கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, கடுமையான குறைக்கடத்தி பொறிக்கும் சூழல்களில் கூட. இது குறைக்கப்பட்ட உடைகள் மற்றும் கண்ணீர் குறைவான மாற்றீடுகளுக்கு மொழிபெயர்க்கப்படுவது மட்டுமல்லாமல், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கான ஒட்டுமொத்த இயக்க செலவுகளையும் குறைக்கிறது. கூறுகளின் ஆயுட்காலம் விரிவாக்குவதன் மூலம், டிஏசி பூச்சு வளையம் நம்பகமான மற்றும் நீடித்த பாகங்கள் தேவைப்படும் உயர்-தொகுதி உற்பத்தி வரிகளுக்கு செலவு குறைந்த தீர்வை வழங்குகிறது.

சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தின் ஒரு முன்னணி சப்ளையர் மற்றும் உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் டாக் பூசப்பட்ட வளையம் குறைக்கடத்தி துறையில் மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த மற்றும் இன்றியமையாத அங்கமாகும், குறிப்பாக எஸ்.ஐ.சி செதில்களை பொறிப்பதில். ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது SIC பொறித்தல் பயன்பாடுகளில் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் செயல்பாட்டு செலவுகளைக் குறைப்பதற்கும் ஒரு சிறந்த தீர்வை வழங்குகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாற வேண்டும் என்று உண்மையாக நம்புகிறார்.

வேதியியல்TAC பூச்சு பண்புகள்

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு வேதியியல் பண்புகள்
டாக்
B
N O மற்றும் S Cl Nb நா

0.4

14 39 0.14 0.29 13 0.87 .05 0.05


TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்

PTAC பூச்சின் கடினமான பண்புகள்
TAC பூச்சு அடர்த்தி
14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு
0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்
6.3*10-6/கே
டாக் பூச்சு கடினத்தன்மை (எச்.கே)
2000 எச்.கே.
எதிர்ப்பு
1 × 10-5ஓம்*செ.மீ.
வெப்ப நிலைத்தன்மை
<2500
கிராஃபைட் அளவு மாற்றங்கள்
-10 ~ -20um
பூச்சு தடிமன்
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um ± 10um)

இது குறைக்கடத்திடான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மோதிரம் தயாரிப்புக் கடைகள்

SiC Coating Graphite substrateTantalum Carbide Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்/

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept