சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

SIC பூச்சு ALD SUSSCECTOR என்பது அணு அடுக்கு படிவு (ALD) செயல்பாட்டில் குறிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஆதரவு கூறு ஆகும். இது ALD கருவிகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மையையும் துல்லியத்தையும் உறுதி செய்கிறது. எங்கள் ALD கிரக சசெப்டர் தயாரிப்புகள் உங்களுக்கு உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளை கொண்டு வர முடியும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.

VeTek செமிகண்டக்டரில் இருந்து CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி முழுவதும் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA) உபகரணங்களை வழங்குகிறது. அடி மூலக்கூறு உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் மேல் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்கு டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இந்த கட்டுமானமானது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் நிலையான பரிமாண நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது.

வெக்கின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடுப்பு முக்கியமாக எஸ்ஐ எபிடாக்ஸியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பொதுவாக சிலிக்கான் நீட்டிப்பு பீப்பாய்களுடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடையின் தனித்துவமான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் நிலைத்தன்மையை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் காற்றோட்டத்தின் சீரான விநியோகத்தை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. எங்கள் தயாரிப்புகள் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பத்தையும் உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளையும் உங்களுக்குக் கொண்டு வர முடியும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கிராஃபைட் சிலிண்டர் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் முக்கியமானது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் அமைப்புகளில் உள் கூறுகளைப் பாதுகாக்க உலைகளுக்குள் ஒரு பாதுகாப்புக் கவசமாக செயல்படுகிறது. இது ரசாயனங்கள் மற்றும் தீவிர வெப்பத்திற்கு எதிராக திறம்பட பாதுகாக்கிறது, உபகரணங்கள் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது. விதிவிலக்கான உடைகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன், இது சவாலான சூழல்களில் நீண்ட ஆயுளையும் ஸ்திரத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது. இந்த அட்டைகளைப் பயன்படுத்துவது குறைக்கடத்தி சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, ஆயுட்காலம் நீடிக்கிறது, மற்றும் பராமரிப்பு தேவைகளைத் தணிக்கிறது மற்றும் சேத அபாயங்களை குறைக்கிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு முனைகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களை டெபாசிட் செய்வதற்கு எல்.பி.இ எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமான கூறுகள். இந்த முனைகள் பொதுவாக கடுமையான செயலாக்க சூழல்களில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளால் ஆனவை. சீரான படிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட அவை, குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் வளர்க்கப்படும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. உங்கள் மேலதிக விசாரணையை வரவேற்கிறோம்.

பயன்படுத்தப்படும் வெடெக் செமிகண்டக்டரின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பாதுகாப்பான் எல்.பி. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், எல்.பி.இ என்பது ஒற்றை படிக மெல்லிய திரைப்படங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கியமான செயல்முறை தொழில்நுட்பமாகும், இது பெரும்பாலும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அல்லது பிற குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுகிறது. மேலும் கேள்விகளுக்கு எங்களை தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.