செமிகண்டக்டர் பீங்கான் முனை

குறைக்கடத்தி பீங்கான் முனை முக்கிய பங்கு வகிக்கிறதுHDP-CVD செயல்முறை, வாயு ஓட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும் உறுதி செய்யவும் பயன்படுகிறதுஉயர்தர திரைப்பட படிவு. சீரான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வாயு ஓட்ட விகிதங்களை உறுதி செய்வதற்காக பீங்கான் முனை தெளிப்பு துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, வாயு எதிர்வினை அறைக்குள் நுழையும் போது சாத்தியமான கொந்தளிப்பைக் குறைக்கிறது.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:

1. பொருள் கலவை:

VeTeK செமிகண்டக்டர் பீங்கான் மணல் வெடிப்பு முனை பொதுவாக அலுமினியம் ஆக்சைடு (Al2O3) போன்ற செமிகண்டக்டர் மட்பாண்டங்களால் ஆனது.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), அல்லது சிர்கோனியம் ஆக்சைடு (ZRO2), இந்த பொருட்கள் சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன:

    • உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை (1000℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையைத் தாங்கும்)

    • பயன்படுத்தப்படும் வினைத்திறன் வாயுக்களால் அரிப்பை எதிர்ப்பதுCVD செயல்முறைகள்(சிலேன், அம்மோனியா போன்றவை)

    • தொடர்ச்சியான பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டிற்கு எதிர்ப்பு.

2. கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு:

    • துளை அளவு: செமிகண்டக்டர் பீங்கான் முனையின் துவாரமானது, வாயு ஓட்டத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துவதற்கு அறிவியல் பூர்வமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது படத்தின் சீரான தன்மையையும் தடிமனையும் பாதிக்கிறது.

    • கோணங்கள் மற்றும் வடிவவியல்: அடி மூலக்கூறு முழுவதும் சீரான வாயு விநியோகத்தை உறுதிசெய்யும் வகையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்கில் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

குறைக்கடத்தி துறையில், செமிகண்டக்டர் பீங்கான் வெடிப்பு முனை முதன்மையாக HDP-CVD செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்திக்காக மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்யவும் அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன, உயர்தர மேற்பரப்பு பூச்சுகளை சீரானதாகவும் மாசுக்கள் இல்லாததாகவும் உறுதி செய்கிறது.

வெடெக் குறைக்கடத்தி பீங்கான் முனை கடைகள்: