ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலை

ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகள் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், தனித்த சாதனங்கள், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள், சக்தி மின்னணு சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி போன்ற பல்வேறு துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை செதில்களின் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங், அலாய் மற்றும் சின்டரிங் உள்ளிட்ட செயல்முறைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

VeTek செமிகண்டக்டர் உயர் தூய்மை கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் குவார்ட்ஸ் கூறுகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர். குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களுக்கு உயர்தர உலை கூறுகளை வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் CVD-SiC, CVD-TaC, பைரோகார்பன் போன்ற மேற்பரப்பு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் முன்னணியில் இருக்கிறோம்.

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளின் நன்மைகள்:

அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு (1600℃ வரை)

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை

நல்ல இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு

வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்

அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை

நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் இருப்பதால், பல கூறுகளுக்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் பொருட்களின் பயன்பாடு தேவைப்படுகிறது, அவற்றில் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் தேர்வாகும். ஆக்ஸிஜனேற்ற உலைகள் மற்றும் பரவல் உலைகளில் காணப்படும் பொதுவான சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகள் பின்வருமாறு:

செதில் படகு

சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகு என்பது சிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்லப் பயன்படும் ஒரு கொள்கலன் ஆகும், இது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களுடன் வினைபுரியாது.

உலை குழாய்

உலை குழாய் என்பது பரவல் உலையின் முக்கிய அங்கமாகும், இது சிலிக்கான் செதில்களுக்கு இடமளிப்பதற்கும் எதிர்வினை சூழலைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு உலை குழாய்கள் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு செயல்திறன் கொண்டவை.

தடுப்பு தட்டு

உலைக்குள் காற்று ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்த பயன்படுகிறது

தெர்மோகப்பிள் பாதுகாப்பு குழாய்

அரிக்கும் வாயுக்களுடன் நேரடி தொடர்பு இருந்து வெப்பநிலை அளவிடும் தெர்மோகப்பிள்களைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுகிறது.

கான்டிலீவர் துடுப்பு

சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும், மேலும் சிலிக்கான் படகுகள் அல்லது சிலிக்கான் செதில்களை சுமந்து செல்லும் குவார்ட்ஸ் படகுகளை பரவல் உலை குழாய்களில் கொண்டு செல்ல பயன்படுகிறது.

கேஸ் இன்ஜெக்டர்

உலைக்குள் எதிர்வினை வாயுவை அறிமுகப்படுத்தப் பயன்படுகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்க வேண்டும்.

படகு கேரியர்

சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் படகு கேரியர் சிலிக்கான் செதில்களை சரிசெய்யவும் ஆதரிக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவை அதிக வலிமை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நல்ல கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன.

உலை கதவு

உலை கதவின் உட்புறத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அல்லது கூறுகள் பயன்படுத்தப்படலாம்.

வெப்பமூட்டும் உறுப்பு

சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்பமூட்டும் கூறுகள் அதிக வெப்பநிலைக்கும், அதிக சக்திக்கும் ஏற்றது, மேலும் வெப்பநிலையை விரைவாக 1000℃க்கு உயர்த்தும்.

SiC லைனர்

உலைக் குழாய்களின் உட்புறச் சுவரைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுகிறது, இது வெப்ப ஆற்றலின் இழப்பைக் குறைக்கவும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தம் போன்ற கடுமையான சூழல்களைத் தாங்கவும் உதவும்.