க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி
தயாரிப்புகள்
எங்களை தொடர்பு கொள்ள
தொலைபேசி
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், தனித்துவமான சாதனங்கள், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள், சக்தி மின்னணு சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி போன்ற பல்வேறு துறைகளில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், வருடாந்திர, கலப்பு மற்றும் செதில்களின் சின்தேரிங் உள்ளிட்ட செயல்முறைகளுக்கு அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
வெடெக் செமிகண்டக்டர் என்பது உயர் தூய்மை கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் உற்பத்தியில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளராகும். குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களுக்கு உயர்தர உலை கூறுகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், மேலும் சி.வி.டி-எஸ்.ஐ.சி, சி.வி.டி-டிஏசி, பைரோகார்பன் போன்ற மேற்பரப்பு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் முன்னணியில் உள்ளோம்.
வெப்பநிலை எதிர்ப்பு (1600 வரை)
வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை
● நல்ல வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு
The வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்
வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை
Service நீண்ட சேவை வாழ்க்கை
ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் இருப்பதால், பல கூறுகளுக்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு-எதிர்ப்பு பொருட்களின் பயன்பாடு தேவைப்படுகிறது, அவற்றில் சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் தேர்வாகும். ஆக்ஸிஜனேற்ற உலைகள் மற்றும் பரவல் உலைகளில் காணப்படும் பொதுவான சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகள் பின்வருமாறு:
● செதில் படகு
சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு என்பது சிலிக்கான் செதில்களைச் சுமக்கப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு கொள்கலன் ஆகும், இது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களுடன் வினைபுரியாது.
● உலை குழாய்
உலை குழாய் என்பது பரவல் உலையின் முக்கிய அங்கமாகும், இது சிலிக்கான் செதில்களுக்கு இடமளிக்கவும் எதிர்வினை சூழலைக் கட்டுப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு உலை குழாய்கள் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளன.
● தடுப்பு தட்டு
உலைக்குள் காற்றோட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்த பயன்படுகிறது
● தெர்மோகப்பிள் பாதுகாப்பு குழாய்
அரிக்கும் வாயுக்களுடன் நேரடி தொடர்பிலிருந்து வெப்பநிலை அளவிடும் தெர்மோகப்பிள்களைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுகிறது.
● கான்டிலீவர் துடுப்பு
சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்புகளை எதிர்க்கின்றன, மேலும் சிலிக்கான் படகுகள் அல்லது சிலிக்கான் செதுக்களை எடுத்துச் செல்லும் குவார்ட்ஸ் படகுகளை பரவல் உலை குழாய்களுக்கு கொண்டு செல்லப் பயன்படுகின்றன.
● வாயு இன்ஜெக்டர்
உலையில் எதிர்வினை வாயுவை அறிமுகப்படுத்தப் பயன்படுகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்க வேண்டும்.
● படகு கேரியர்
சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு கேரியர் சிலிக்கான் செதில்களை சரிசெய்யவும் ஆதரிக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது அதிக வலிமை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நல்ல கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.
● உலை கதவு
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அல்லது கூறுகள் உலை கதவின் உட்புறத்திலும் பயன்படுத்தப்படலாம்.
Melight வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்பமூட்டும் கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை, அதிக சக்தி ஆகியவற்றிற்கு ஏற்றவை, மேலும் வெப்பநிலையை 1000 to க்கு மேல் உயர்த்தலாம்.
● SIC லைனர்
உலை குழாய்களின் உள் சுவரைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுகிறது, இது வெப்ப ஆற்றலின் இழப்பைக் குறைக்கவும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தம் போன்ற கடுமையான சூழல்களைத் தாங்கவும் உதவும்.
Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.
Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.
Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.
For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.
+86-579-87223657
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
பதிப்புரிமை © 2024 வெடெக் செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட். அனைத்து உரிமைகளும் பாதுகாக்கப்பட்டவை.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |