நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு

நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு என்பது ஒரு நுண்ணிய கட்டமைப்பு பீங்கான் பொருள்சிலிக்கான் கார்பைடுமுக்கிய அங்கமாக மற்றும் ஒரு சிறப்பு சின்தேரிங் செயல்முறையுடன் இணைந்தது. அதன் போரோசிட்டி சரிசெய்யக்கூடியது (வழக்கமாக 30%-70%), துளை அளவு விநியோகம் ஒரே மாதிரியானது, இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த வாயு ஊடுருவல் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி), உயர் வெப்பநிலை வாயு வடிகட்டுதல் மற்றும் பிற புலங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

மேலும் நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு, தயவுசெய்து இந்த வலைப்பதிவைப் பாருங்கள்.

போரஸ் எஸ்.ஐ.சி பீங்கான் வட்டுசிறந்த இயற்பியல் பண்புகள்

High தீவிர உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு:

எஸ்.ஐ.சி மட்பாண்டங்களின் உருகும் புள்ளி 2700 ° C வரை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இது இன்னும் 1600 ° C க்கு மேல் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், இது பாரம்பரிய அலுமினா மட்பாண்டங்களை (சுமார் 2000 ° C) விட அதிகமாக உள்ளது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.

வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறன்:

வெப்பமான கடத்துத்திறன்: அடர்த்தியான SIC இன் வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 120 W/(M · K) ஆகும். நுண்ணிய அமைப்பு வெப்ப கடத்துத்திறனை சற்று குறைத்தாலும், இது பெரும்பாலான மட்பாண்டங்களை விட இன்னும் கணிசமாக சிறந்தது மற்றும் திறமையான வெப்ப சிதறலை ஆதரிக்கிறது.

வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.0 × 10⁻⁶/° C): அதிக வெப்பநிலையில் கிட்டத்தட்ட சிதைவு இல்லை, வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சாதன செயலிழப்பைத் தவிர்க்கிறது.

● சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை

அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு எதிர்ப்பு (குறிப்பாக எச்.எஃப் சூழலில் நிலுவையில் உள்ளது), அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் போன்ற கடுமையான சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

Mechanive சிறந்த இயந்திர பண்புகள்

Har உயர் கடினத்தன்மை (MOHS கடினத்தன்மை 9.2, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக), வலுவான உடைகள் எதிர்ப்பு.

✔ வளைக்கும் வலிமை 300-400 MPa ஐ அடையலாம், மேலும் துளை அமைப்பு வடிவமைப்பு இலகுரக மற்றும் இயந்திர வலிமை இரண்டையும் கணக்கில் எடுத்துக்கொள்கிறது.

● செயல்பாட்டு நுண்ணிய அமைப்பு

Specific உயர் குறிப்பிட்ட பரப்பளவு: வாயு பரவல் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு விநியோக தட்டுக்கு ஏற்றது.

✔ கட்டுப்படுத்தக்கூடிய போரோசிட்டி: சி.வி.டி செயல்பாட்டில் சீரான திரைப்பட உருவாக்கம் போன்ற திரவ ஊடுருவல் மற்றும் வடிகட்டுதல் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குறிப்பிட்ட பங்கு

வெப்பநிலை செயல்முறை ஆதரவு மற்றும் வெப்ப காப்பு

ஒரு செதில் ஆதரவு தட்டாக, இது உலோக மாசுபடுவதைத் தவிர்க்க பரவல் உலைகள் மற்றும் வருடாந்திர உலைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை உபகரணங்களில் (> 1200 ° C) பயன்படுத்தப்படுகிறது.

நுண்ணிய கட்டமைப்பில் காப்பு மற்றும் ஆதரவு செயல்பாடுகள் இரண்டையும் கொண்டுள்ளது, வெப்ப இழப்பைக் குறைக்கிறது.

Cas சீரான வாயு விநியோகம் மற்றும் எதிர்வினை கட்டுப்பாடு

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) கருவிகளில், ஒரு எரிவாயு விநியோகத் தட்டாக, மெல்லிய திரைப்பட படிவுகளின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக எதிர்வினை வாயுக்களை (SIH₄, NH₃ போன்ற) ஒரே மாதிரியாக கொண்டு செல்ல துளைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

உலர்ந்த பொறிப்பில், நுண்ணிய அமைப்பு பிளாஸ்மா விநியோகத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் பொறித்தல் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

● எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் (ஈ.எஸ்.சி) கோர் கூறுகள்

போரஸ் எஸ்.ஐ.சி எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மைக்ரோபோர்கள் வழியாக வெற்றிட உறிஞ்சுதலை அடைகிறது, செதில்களை துல்லியமாக சரிசெய்கிறது, மேலும் பிளாஸ்மா குண்டுவெடிப்புக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கிறது மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையைக் கொண்டுள்ளது.

● அரிப்பு-எதிர்ப்பு கூறுகள்

ஈரமான பொறித்தல் மற்றும் துப்புரவு உபகரணங்களின் குழி புறணி பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது வலுவான அமிலங்கள் (H₂SO₄, HNO₃ போன்றவை) மற்றும் வலுவான காரங்கள் (KOH போன்றவை) ஆகியவற்றால் அரிப்பை எதிர்க்கிறது.

● வெப்ப புலம் சீரான கட்டுப்பாடு

ஒற்றை படிக சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகளில் (செக்ரால்ஸ்கி முறை போன்றவை), ஒரு வெப்பக் கவசம் அல்லது ஆதரவாக, அதன் உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை சீரான வெப்ப புலங்களை பராமரிக்கவும், லட்டு குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

The வடிகட்டுதல் மற்றும் சுத்திகரிப்பு

நுண்ணிய அமைப்பு துகள் அசுத்தங்களை இடைமறிக்க முடியும் மற்றும் செயல்முறை தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக அதி-தூய்மையான வாயு/திரவ விநியோக முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பாரம்பரிய பொருட்களை விட நன்மைகள்