பெரிய அளவிலான எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் SiC படிக வளர்ச்சி உலை

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

முக்கிய நன்மைகள்

 ● முழு அளவிலான இணக்கத்தன்மை

6-இன்ச், 8-இன்ச் மற்றும் 12-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் நிலையான வளர்ச்சியை செயல்படுத்துகிறது, கடத்தும், அரை-இன்சுலேடிங் மற்றும் N-வகை பொருள் அமைப்புகளுடன் முழுமையாக இணங்குகிறது. இது வெவ்வேறு விவரக்குறிப்புகளுடன் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தித் தேவைகளை உள்ளடக்கியது மற்றும் பல்வேறு பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளுக்கு மாற்றியமைக்கிறது.

● வலுவான செயல்முறை நிலைத்தன்மை

8-அங்குல படிகங்கள் சிறந்த 4H பாலிடைப் நிலைத்தன்மை, நிலையான மேற்பரப்பு வடிவம் மற்றும் அதிக மறுநிகழ்வு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன; 12-அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் அதிக வெகுஜன உற்பத்தி சாத்தியக்கூறுடன் சரிபார்ப்பை நிறைவு செய்துள்ளது.

● குறைந்த படிகக் குறைபாடு விகிதம்

வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் சக்தி ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் மூலம், முக்கிய குறிகாட்டிகள்-EPD=1435 ea/cm², BPD=381 ea/cm², TSD=0 ea/cm², மற்றும் TED=1054 ea/cm² ஆகிய முக்கிய குறிகாட்டிகளுடன் படிக குறைபாடுகள் திறம்பட குறைக்கப்படுகின்றன. அனைத்து குறைபாடு குறிகாட்டிகளும் உயர் தர படிக தர தேவைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன, இங்காட் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.

● கட்டுப்படுத்தக்கூடிய இயக்கச் செலவுகள்

இது ஒத்த தயாரிப்புகளில் குறைந்த ஆற்றல் நுகர்வு கொண்டது. முக்கிய கூறுகள் (வெப்ப காப்புக் கவசங்கள் போன்றவை) 6-12 மாதங்கள் நீண்ட மாற்று சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளன, இது விரிவான இயக்கச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

● பிளக் அண்ட் ப்ளே வசதி

உபகரணங்களின் சிறப்பியல்புகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செய்முறை மற்றும் செயல்முறை தொகுப்புகள், நீண்ட கால மற்றும் பல-தொகுப்பு உற்பத்தி மூலம் சரிபார்க்கப்பட்டு, நிறுவலுக்குப் பிறகு உடனடியாக உற்பத்தியை அனுமதிக்கிறது.

● பாதுகாப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மை

சாத்தியமான பாதுகாப்பு அபாயங்களை அகற்ற சிறப்பு எதிர்ப்பு ஆர்க் தீப்பொறி வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது; நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் முன்கூட்டியே எச்சரிக்கை செயல்பாடுகள் செயல்பாட்டு அபாயங்களை முன்கூட்டியே தவிர்க்கின்றன.

● சிறந்த வெற்றிட செயல்திறன்

இறுதி வெற்றிடம் மற்றும் அழுத்தம் உயர்வு விகிதம் குறிகாட்டிகள் சர்வதேச அளவில் முன்னணி நிலைகளை தாண்டி, படிக வளர்ச்சிக்கான சுத்தமான சூழலை உறுதி செய்கிறது.

● அறிவார்ந்த செயல்பாடு மற்றும் பராமரிப்பு

திறமையான மற்றும் வசதியான உற்பத்தி நிர்வாகத்திற்கான விருப்ப ரிமோட் கண்காணிப்பு செயல்பாடுகளை ஆதரிக்கும், விரிவான தரவு பதிவுடன் இணைந்து உள்ளுணர்வு HMI இடைமுகத்தை கொண்டுள்ளது.

முக்கிய செயல்திறன் காட்சி காட்சி

வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லிய வளைவு

படிக வளர்ச்சி உலையின் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் ≤ ± 0.3°C; வெப்பநிலை வளைவின் கண்ணோட்டம்

அழுத்தம் கட்டுப்பாடு துல்லிய வரைபடம்

படிக வளர்ச்சி உலையின் அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம்: 1.0 டோர், அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியம்: 0.001 டோர்

சக்தி நிலைப்புத் துல்லியம்

உலைகள்/தொகுதிகளுக்கு இடையே நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை: சக்தியின் உறுதித்தன்மை துல்லியம்

படிக வளர்ச்சி நிலையின் கீழ், நிலையான படிக வளர்ச்சியின் போது சக்தி கட்டுப்பாட்டின் துல்லியம் ± 0.15% ஆகும்.

Veteksemicon பொருட்கள் கடை