செய்தி

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மெல்லிய படப் பொருட்களை அறையில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் SiO2, SiN போன்றவை அடங்கும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வகைகளில் PECVD மற்றும் LPCVD ஆகியவை அடங்கும். வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு வகையைச் சரிசெய்வதன் மூலம், வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய CVD உயர் தூய்மை, சீரான தன்மை மற்றும் நல்ல படக் கவரேஜ் ஆகியவற்றை அடைகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளை விவரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் சின்தேரிங் விரிசல்களின் காரணங்கள் மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடைய தீர்வுகள் பற்றிய பகுப்பாய்வு குறித்தும் இது கவனம் செலுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை அடிக்கடி சந்திக்கிறது. பிளாஸ்மா அடர்த்தியை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு கலவையை சரிசெய்தல், வெற்றிட அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், நியாயமான லித்தோகிராஃபி அமைப்பை வடிவமைத்தல் மற்றும் பொருத்தமான எச்சிங் மாஸ்க் பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது ஆகியவை மேம்பாட்டுத் தீர்வுகளில் அடங்கும்.

உயர் செயல்திறன் கொண்ட SIC மட்பாண்டங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறையாக ஹாட் பிரஸ்ஸிங் சின்தேரிங் உள்ளது. சூடான அழுத்தும் சின்தேரிங்கின் செயல்முறை பின்வருமாறு: உயர் தூய்மை SIC பொடியைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அழுத்தி வடிவமைத்தல், பின்னர் சின்தேரிங். இந்த முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SIC மட்பாண்டங்கள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தியின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை அரைக்கும் வட்டுகள் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களை செதில் செயலாக்கத்திற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) முக்கிய வளர்ச்சி முறைகளில் PVT, TSSG மற்றும் HTCVD ஆகியவை அடங்கும், ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகள் மற்றும் சவால்களைக் கொண்டுள்ளன. கார்பன் அடிப்படையிலான வெப்பப் புலப் பொருட்களான இன்சுலேஷன் சிஸ்டம்ஸ், க்ரூசிபிள்கள், TaC பூச்சுகள் மற்றும் நுண்துளை கிராஃபைட் ஆகியவை SiC இன் துல்லியமான உருவாக்கம் மற்றும் பயன்பாட்டிற்கு அவசியமான நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குவதன் மூலம் படிக வளர்ச்சியை மேம்படுத்துகின்றன.