செய்தி

சிலிக்கான் வேஃபர் CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன்) பாலிஷ் ஸ்லரி என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் (ICs) மற்றும் மைக்ரோசிப்களை உருவாக்கப் பயன்படும் சிலிக்கான் செதில்கள் - உற்பத்தியின் அடுத்த கட்டங்களுக்குத் தேவையான மென்மையின் சரியான நிலைக்கு மெருகூட்டப்படுவதை உறுதி செய்வதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. CMP செயல்முறை சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பை மென்மையாக்குவதற்கு இரசாயன மற்றும் இயந்திர நடவடிக்கைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது மெல்லிய-பட படிவு மற்றும் பொறித்தல் போன்ற அடுத்தடுத்த படிகளுக்கு ஒரு சீரான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது. CMP மெருகூட்டல் குழம்பு, இந்த செயல்முறையின் முக்கிய அங்கமாக, பாலிஷ் செயல்திறன், மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் உற்பத்தியின் இறுதி செயல்திறன் ஆகியவற்றை கணிசமாக பாதிக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் CMP செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட திரவப் பொருளாகும். இது நீர், இரசாயன செதுக்கல்கள், உராய்வுகள் மற்றும் சர்பாக்டான்ட்களைக் கொண்டுள்ளது, இது இரசாயன பொறித்தல் மற்றும் இயந்திர மெருகூட்டல் இரண்டையும் செயல்படுத்துகிறது.