செய்தி

இந்த கட்டுரை வெடெக் குறைக்கடத்தியின் நுண்ணிய கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் அளவுருக்கள் மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விவரிக்கிறது.

இந்த கட்டுரை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளை பல கோணங்களில் பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

சிஐபி உற்பத்தியில் மெல்லிய திரைப்பட படிவு மிக முக்கியமானது, சி.வி.டி, ஏ.எல்.டி அல்லது பி.வி.டி வழியாக 1 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட படங்களை வைப்பதன் மூலம் மைக்ரோ சாதனங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறைகள் மாற்று கடத்தும் மற்றும் இன்சுலேடிங் திரைப்படங்கள் மூலம் குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகின்றன.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: செதில் செயலாக்கம், ஆக்சிஜனேற்றம், லித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, ஒன்றோடொன்று சோதனை, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங். மணலில் இருந்து சிலிக்கான் செதில்களாக பதப்படுத்தப்பட்டு, ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்ட, வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் அதிக துல்லியமான சுற்றுகளுக்கு பொறிக்கப்படுகிறது.

இந்த கட்டுரை எல்.ஈ.டி அடி மூலக்கூறு சபையரின் மிகப்பெரிய பயன்பாடு, அத்துடன் சபையர் படிகங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறைகள் என்று விவரிக்கிறது: செசோக்ரால்கி முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, கைரோப ou லோஸ் முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது, வழிகாட்டப்பட்ட அச்சு முறையால் சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பது மற்றும் வெப்ப பரிமாற்ற முறையால் திருட்டு படிகங்களை வளர்ப்பது.

ஒற்றை-படிக உலையில் வெப்பநிலை சாய்வை கட்டுரை விளக்குகிறது. இது படிக வளர்ச்சி, திட-திரவ இடைமுகம் மற்றும் திடப்படுத்துவதில் வெப்பநிலை சாய்வின் பங்கு ஆகியவற்றின் போது நிலையான மற்றும் மாறும் வெப்ப புலங்களை உள்ளடக்கியது.