செய்தி

டயமண்ட், நான்காவது தலைமுறை "இறுதி குறைக்கடத்தி", அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் கவனத்தை ஈர்க்கிறது. அதன் அதிக விலை மற்றும் உற்பத்தி சவால்கள் அதன் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்தும் அதே வேளையில், CVD என்பது விருப்பமான முறையாகும். ஊக்கமருந்து மற்றும் பெரிய பகுதி படிக சவால்கள் இருந்தபோதிலும், வைரம் வாக்குறுதியைக் கொண்டுள்ளது.

SiC மற்றும் GaN ஆகியவை பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகள் ஆகும், அவை சிலிக்கானை விட நன்மைகள், அதிக முறிவு மின்னழுத்தங்கள், வேகமான மாறுதல் வேகம் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் போன்றவை. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக உயர் மின்னழுத்தம், உயர்-பவர் பயன்பாடுகளுக்கு SiC சிறந்தது, அதே நேரத்தில் GaN உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளில் சிறந்து விளங்குகிறது.

எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது மின்தடை வெப்பமாக்கலுடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் திறமையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பூச்சு முறையாகும், இது எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் ஆவியாதல் பொருளை வெப்பப்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஆவியாகி மெல்லிய படலமாக ஒடுங்குகிறது.

வெற்றிட பூச்சுகளில் திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல், வெற்றிட போக்குவரத்து மற்றும் மெல்லிய திரைப்பட வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல் முறைகள் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறைகளின்படி, வெற்றிட பூச்சு பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி ஆகிய இரண்டு பிரிவுகளாக பிரிக்கப்படலாம்.

இந்த கட்டுரை வெடெக் குறைக்கடத்தியின் நுண்ணிய கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் அளவுருக்கள் மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளை விவரிக்கிறது.

இந்த கட்டுரை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகளை பல கோணங்களில் பகுப்பாய்வு செய்கிறது.