தொழில் செய்திகள்

பீதியின் அந்த தருணத்தை நாம் அனைவரும் உணர்ந்தோம். உங்கள் தொலைபேசி பேட்டரி 5%ஆக உள்ளது, நீங்கள் மிச்சப்படுத்த சில நிமிடங்கள் உள்ளன, மேலும் ஒவ்வொரு நொடியும் செருகப்படுவது ஒரு நித்தியம் போல் உணர்கிறது. இந்த கவலையை முடிவுக்குக் கொண்டுவருவதற்கான ரகசியம் முற்றிலும் புதிய வேதியியலில் அல்ல, மாறாக பேட்டரியுக்குள்ளேயே ஒரு அடிப்படை பொருளை மறுவடிவமைப்பதில் என்ன செய்தால் என்ன செய்வது? இரண்டு தசாப்தங்களாக தொழில்நுட்பத்தின் முன்னணியில், போக்குகள் வந்து செல்வதை நான் கண்டிருக்கிறேன். ஆனால் நுண்ணிய கிராஃபைட்டைச் சுற்றியுள்ள சலசலப்பு வித்தியாசமாக உணர்கிறது. இது ஒரு அதிகரிக்கும் படி அல்ல; ஆற்றல் சேமிப்பு வடிவமைப்பை நாம் எவ்வாறு அணுகுகிறோம் என்பதில் இது ஒரு அடிப்படை மாற்றத்தைக் குறிக்கிறது.

வெடெக்கில், வெப்பநிலையில் நம்பகத்தன்மையைக் கோரும் தொழில்களுக்கான எங்கள் ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் தீர்வுகளைச் செம்மைப்படுத்த பல தசாப்தங்களாக செலவிட்டோம். இந்த பொருள் ஏன் ஒரு சிறந்த தேர்வாக இருக்கிறது என்பதையும், எங்கள் தயாரிப்புகள் போட்டியை எவ்வாறு சிறப்பாகச் செய்கின்றன என்பதையும் நாம் டைவ் செய்வோம்.

ஒரு தசாப்தத்திற்கும் மேலாக குறைக்கடத்தி துறையில் பணியாற்றிய நான், அதிக வெப்பநிலை, உயர் சக்தி சூழல்களில் பொருள் தேர்வு எவ்வளவு சவாலாக இருக்க முடியும் என்பதை நான் நேரில் புரிந்துகொள்கிறேன். வெடெக்கின் எஸ்.ஐ.சி தொகுதியை நான் சந்திக்கும் வரை நான் இறுதியாக நம்பகமான தீர்வைக் கண்டேன்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், சாதன அளவு தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், மெல்லிய திரைப்படப் பொருட்களின் படிவு தொழில்நுட்பம் முன்னோடியில்லாத சவால்களை ஏற்படுத்தியுள்ளது. அணு மட்டத்தில் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடையக்கூடிய மெல்லிய திரைப்பட படிவு தொழில்நுட்பமாக அணு அடுக்கு படிவு (ALD), குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் இன்றியமையாத பகுதியாக மாறியுள்ளது. மேம்பட்ட சிப் உற்பத்தியில் அதன் முக்கிய பங்கைப் புரிந்துகொள்ள உதவும் வகையில் ALD இன் செயல்முறை ஓட்டம் மற்றும் கொள்கைகளை அறிமுகப்படுத்துவதை இந்த கட்டுரை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது.

ஒரு சரியான படிக அடிப்படை அடுக்கில் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் அல்லது குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்குவது சிறந்தது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உள்ள எபிடாக்ஸி (ஈபிஐ) செயல்முறை ஒற்றை-படிக அடி மூலக்கூறில் பொதுவாக 0.5 முதல் 20 மைக்ரான் வரை ஒரு சிறந்த ஒற்றை-படிக அடுக்கை டெபாசிட் செய்வதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் தயாரிப்பதில் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஒரு முக்கியமான படியாகும், குறிப்பாக சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தியில்.

எபிடாக்ஸி மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு அவற்றின் திரைப்பட வளர்ச்சி வழிமுறைகள் மற்றும் இயக்க நிலைமைகளில் உள்ளது. எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்குநிலை உறவைக் கொண்ட படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக மெல்லிய திரைப்படத்தை வளர்க்கும் செயல்முறையை குறிக்கிறது, அதே அல்லது ஒத்த படிக கட்டமைப்பைப் பராமரிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, ALD என்பது ஒரு படிவு நுட்பமாகும், இது வெவ்வேறு வேதியியல் முன்னோடிகளுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறை வெளிப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது, இது ஒரு நேரத்தில் ஒரு மெல்லிய திரைப்படத்தை உருவாக்கும்.