தொழில் செய்திகள்

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD SUSSCECTOR இன் தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் MOCVD SUSCECEPTOR தயாரிப்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

ASMக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்ஸி அமைப்பினுள் ஒரு மாற்றுப் பகுதி மட்டுமல்ல. இது ஒரு செயல்முறை-முக்கியமான கேரியர் ஆகும், இது வெப்ப சீரான தன்மை, செதில் தூய்மை, பூச்சு ஆயுள், அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால உற்பத்தி செலவு ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது.

ஒரு CVD TaC பூச்சு கவர் என்பது ஒரு பாதுகாப்பு மூடி அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு மட்டுமல்ல. உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், இது அறையின் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, பகுதி வாழ்நாள் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கலாம்.

PECVD உற்பத்தியில், பல பூச்சு மற்றும் படிவு சிக்கல்கள் பிளாஸ்மா சக்தி அல்லது வாயு வேதியியலில் தொடங்குவதில்லை. அவை செதில்களை வைத்திருக்கும் கேரியரில் தொடங்குகின்றன.

சரியான செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிளைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறிய கொள்முதல் விவரம் அல்ல. இது நேரடியாக உருகும் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, படிக இழுக்கும் நிலைத்தன்மை, மகசூல் கட்டுப்பாடு மற்றும் முழு வளர்ச்சிக் கோட்டின் சேவை தாளத்தையும் பாதிக்கிறது.

உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தூள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி, மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை செயல்முறைகள் முழுவதும் ஒரு முக்கியமான பொருளாக மாறியுள்ளது. ஆனால் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் பொடியை சரியாக என்ன வரையறுக்கிறது, மேலும் அது ஏன் கோரும் சூழல்களில் நிலையான கிராஃபைட் பொருட்களை விட சிறப்பாக செயல்படுகிறது?