அதிக தூய்மை கடுமையானது

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு மெல்லிய படங்களை வளர்ப்பதற்கான தொழில்நுட்பமாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு மின் சாதனங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு RF சாதனங்கள் போன்ற உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு இந்த செயல்முறை அவசியம். இந்தச் செயல்பாட்டில், வெப்பநிலை, வாயு ஓட்டம், அழுத்தம் மற்றும் பிற அளவுருக்கள் உள்ளிட்ட வளர்ச்சி சூழல், நல்ல மின் பண்புகளுடன் கூடிய உயர்தர, உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியை உறுதிசெய்ய கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். SiC coatig ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்கள் SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் முக்கிய அங்கமாகும், மேலும் உயர் தூய்மையான திடமான உணர்திறன் முக்கியமாக SiC coatig ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்களின் வெப்பத்தை பாதுகாப்பதில் பங்கு வகிக்கிறது.

உயர் தூய்மையான திடமான உணர்ந்தது நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது SiC கோட்டிக் ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்களைச் சுற்றி வெப்பமூட்டும் மூலத்தின் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்கக்கூடியது மற்றும் நல்ல வெப்ப பாதுகாப்பு விளைவைக் கொண்டுள்ளது. SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​அது வெப்பத்தை உறிஞ்சி, உள்ளூர் அதிக வெப்பம் அல்லது அதிக குளிர்ச்சியைத் தவிர்க்க மெதுவாக வெளியிடலாம், இதனால் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வெப்பநிலை வேறுபாடு மிகச் சிறிய வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெப்பநிலை சீரான தன்மை பொதுவாக ±1 ஐ அடையலாம். - 2℃, சீரான தடிமன் மற்றும் சீரான மின் பண்புகளுடன் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்ப்பதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

சிலன் (SiH4) மற்றும் புரொப்பேன் (C3H8) போன்ற சில அரிக்கும் வாயுக்கள் SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் எதிர்வினை மூல வாயுக்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உயர் தூய்மையான திடமான உணர்திறன் இந்த இரசாயன வாயுக்களுக்கு நல்ல சகிப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சுழற்சி முழுவதும் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க முடியும் (இது மணிநேரங்கள் அல்லது டஜன் கணக்கான மணிநேரங்கள் கூட நீடிக்கும்). உயர் தூய்மை திடமான உணர்வின் தூய்மை 99.99% க்கு மேல் உள்ளது, மேலும் இது எபிடாக்சியல் அடுக்கை எதிர்வினை சூழலில் மாசுபடுத்தக்கூடிய பொருட்களை வெளியிடாது, இதன் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் அடுக்கின் உயர் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

பொருத்தமான அடர்த்தியானது, உயர் தூய்மை திடமான உணர்திறனின் இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை உறுதி செய்யும். வெப்ப கடத்துத்திறனை உறுதி செய்யும் போது, ​​இது SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் வெளிப்புற காரணிகளின் குறுக்கீட்டைக் குறைக்கும்.

பாரம்பரிய பீங்கான் பொருட்கள் மற்றும் உலோகப் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கடுமையான உணரப்பட்ட சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு ஒரு சிறந்த துணை கூறு பொருளாகும்.

ஒரு முன்னணி சீனா உயர் தூய்மை திடமான உணர்திறன் சப்ளையர் மற்றும் தொழிற்சாலை, VeTek செமிகண்டக்டர் மிகவும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது, அது பொருட்கள் அல்லது தயாரிப்பு அளவு எதுவாக இருந்தாலும், அது உங்களுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும். மேலும், VeTek செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட உயர் தூய்மை திடமான தொழில்நுட்பத்தை வழங்குவதில் நீண்ட காலமாக உறுதிபூண்டுள்ளது. மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கான தயாரிப்பு தீர்வுகள். சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் உண்மையாக காத்திருக்கிறோம்.

வெடெக் குறைக்கடத்தி உயர் தூய்மை கடுமையான உற்பத்தி கடைகள்: