எல்.ஈ.டி எபி

தொழில்முறை தலைமையிலான எபிஐ சசெப்டர் சப்ளையர் மற்றும் உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு உயர் தரமான எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டரை வழங்க விரும்புகிறது.

எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன தயாரிப்பு வெட்க்செமிகனின் எல்.ஈ.டி எபி சசெப்டர். இந்த உயர்தர சசெப்டர் எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸிக்கான ஒரு செதில் கேரியராக செயல்படுகிறது, அத்தியாவசிய ஆதரவை வழங்குகிறது மற்றும் எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் செதில்களின் வளர்ச்சியைப் பேணுகிறது.

எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டர் சிறந்த உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. வழக்கமாக, SUSSCECTOR அதிக வெப்பநிலை சூழலில் (1000 ° C க்கு மேல்) வேலை செய்ய வேண்டும், மேலும் அதன் பொருள் கிராஃபைட் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவற்றால் ஆனது. இந்த பொருட்கள் அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளன (சுமார் 3650 ° C இன் கிராஃபைட் உருகும் புள்ளி போன்றவை) மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப கடத்துத்திறன் போன்றவை சுமார் 120 w/m · k போன்றவை), இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, வெட்க்செமிகான் சசெப்டரின் மேற்பரப்பு மிகவும் தட்டையானது, இது அடி மூலக்கூறுடன் நெருங்கிய தொடர்பை உறுதி செய்கிறது. அதே நேரத்தில், திகிராஃபைட்அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள்குறிப்பிடத்தக்க வேதியியல் செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டிருக்கிறது, எதிர்வினை வாயுக்களுடன் (NH₃, TMGA போன்றவை) பக்க எதிர்வினைகளைத் தவிர்ப்பது மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயரை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது.

எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டர் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை உள்ளடக்கியது, எபிடாக்சியல் செதில்களுக்கான நிலையான வளர்ச்சி வெப்பநிலையை பராமரிக்க வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்கிறது. இந்த முக்கியமான அம்சம் செயல்முறை நிலைத்தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது, சீரான மற்றும் உயர்தர எல்.ஈ.டி வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. அதன் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்த, எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டர் பிரீமியம் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) மெல்லிய படத்துடன் பூசப்பட்டுள்ளது. திடாக் பூச்சுஉற்பத்தியின் ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது நீண்டகால மற்றும் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

வெட்செமிகோனின் எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டர் பல்வேறு எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளுடன் தடையற்ற பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது மாறுபட்ட எபிடாக்சியல் செதில் வளர்ச்சி தேவைகளுக்கு பல்துறை தீர்வாக அமைகிறது. அதே நேரத்தில், வெட்க்செமிகான் குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்திற்கான மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. நீங்கள் எங்களுடன் சேருவதை நாங்கள் உண்மையிலேயே எதிர்நோக்குகிறோம்.