தொழில்நுட்பம் மற்றும் தீர்வுகள்

சரியான CVD SiC, TaC பூச்சு அல்லது Solid SiC ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது எபிடாக்ஸி/எட்ச்சிங் கோடுகளில் துகள் அளவுகள் மற்றும் கூறுகளின் ஆயுட்காலத்தை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரையானது வெப்பநிலை, வளிமண்டலம் மற்றும் செயல்முறை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் தெளிவான தேர்வு எல்லைகளை வழங்குகிறது, முக்கிய உபகரண மாற்று தீர்வுகள் மற்றும் முக்கிய அளவீடுகளுடன் பொருந்துகிறது, இது விரைவான முடிவுகளை எடுக்கவும் ஆபத்தை குறைக்கவும் உதவுகிறது.

VeTek இன் நீர்-வழிகாட்டப்பட்ட லேசர் தொழில்நுட்பம் 2mm SiC அடி மூலக்கூறுகளில் ஒரே மாதிரியான Φ0.15mm துளைகளை எவ்வாறு வழங்குகிறது என்பதைக் கண்டறியவும்.

செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் ஹாலோ லிப்ட் பின்களுக்கு மிகவும் சவாலான தொழில்நுட்ப சிக்கல் வெளிப்புற மேற்பரப்பு பூச்சு அல்ல, ஆனால் வெற்று கட்டமைப்பின் உள் சுவரில் நிலையான மற்றும் சீரான CVD பூச்சுகளை அடைவது. உள்-சுவர் பூச்சு சீரான கட்டுப்பாடு முதல் உட்புற துளை தூய்மை உறுதி வரை, ஒவ்வொரு செயல்முறை நடவடிக்கையும் நேரடியாக செதில் விளைச்சலை பாதிக்கிறது. இந்த கட்டுரை ஹாலோ லிப்ட் பின் உள்-சுவர் பூச்சு மற்றும் முக்கிய தொழில்நுட்ப பாதைகளின் முக்கிய சவால்களை பகுப்பாய்வு செய்கிறது.