சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு செதில் வைத்திருப்பவர்

சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சு செதில் வைத்திருப்பவர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக MOCVD (உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு), எல்பிசிவி, பி.இ.சி.வி.டி மற்றும் வெப்ப வருடாந்திர போன்ற அல்ட்ரா-சுத்தம், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அடர்த்தியான மற்றும் சீருடையை ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம்சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுஒரு வலுவான கிராஃபைட் அல்லது பீங்கான் அடி மூலக்கூறில், இந்த செதில் கேரியர் கடுமையான சூழல்களின் கீழ் இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை இரண்டையும் உறுதி செய்கிறது.

.. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் முக்கிய செயல்பாடு

குறைக்கடத்தி புனையலில், செதில்கள் பாதுகாப்பாக ஆதரிக்கப்படுவதையும், ஒரே மாதிரியாக சூடாகவும், படிவு அல்லது வெப்ப சிகிச்சையின் போது பாதுகாக்கப்படுவதையும் உறுதி செய்வதில் வேஃபர் வைத்திருப்பவர்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றனர். எஸ்.ஐ.சி பூச்சு அடிப்படை அடி மூலக்கூறுக்கும் செயல்முறை சூழலுக்கும் இடையில் ஒரு செயலற்ற தடையை வழங்குகிறது, துகள் மாசுபாடு மற்றும் அவுட்டிகேஷனை திறம்பட குறைக்கிறது, அவை அதிக சாதன மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைவதற்கு முக்கியமானவை.

முக்கிய பயன்பாடுகள் பின்வருமாறு:

● எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி (sic, gan, Gaas அடுக்குகள்)

Ax வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல்

● உயர் வெப்பநிலை அனீலிங் (> 1200 ° C)

And வெற்றிடம் மற்றும் பிளாஸ்மா செயல்முறைகளின் போது இடமாற்றம் மற்றும் ஆதரவு

.. உயர்ந்த உடல் பண்புகள்

இந்த அளவுருக்கள் கடுமையான செயல்முறை சுழற்சிகளின் கீழ் கூட செயல்திறன் ஸ்திரத்தன்மையை பராமரிப்பதற்கான வேஃபர் வைத்திருப்பவரின் திறனை நிரூபிக்கின்றன, இது அடுத்த தலைமுறை சாதன உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

.. செயல்முறை பணிப்பாய்வு-படிப்படியான பயன்பாட்டு காட்சி

எடுத்துக்கொள்வோம்MOCVD எபிடாக்ஸிபயன்பாட்டை விளக்க ஒரு பொதுவான செயல்முறை சூழ்நிலையாக:

1. செதில் வேலை வாய்ப்பு.

2. அறை வெப்பமாக்கல்: அறை வேகமாக அதிக வெப்பநிலைக்கு (~ 1000–1600 ° C) சூடாகிறது. SIC பூச்சு திறமையான வெப்ப கடத்தல் மற்றும் மேற்பரப்பு நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

3. முன்னோடி அறிமுகம்: உலோக-கரிம முன்னோடிகள் அறைக்குள் பாய்கின்றன. எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ரசாயன தாக்குதல்களை எதிர்க்கிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறிலிருந்து வெளியேறுவதைத் தடுக்கிறது.

4. எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சி: சீரான அடுக்குகள் மாசுபாடு அல்லது வெப்ப டிஸ்டோ இல்லாமல் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றனஇதன் மூலம், வைத்திருப்பவரின் சிறந்த தட்டையானது மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மைக்கு நன்றி.

5. குளிர்ச்சியான & பிரித்தெடுத்தல்: செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு, வைத்திருப்பவர் துகள் உதிர்தல் இல்லாமல் பாதுகாப்பான வெப்ப மாற்றம் மற்றும் செதில் மீட்டெடுக்க அனுமதிக்கிறார்.

பரிமாண நிலைத்தன்மை, வேதியியல் தூய்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையை பராமரிப்பதன் மூலம், எஸ்.ஐ.சி பூச்சு செதில் சசெப்டர் செயல்முறை விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் கருவி வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஃபிலிம் படிக அமைப்பு:

வெட்கெமிகான் தயாரிப்பு கிடங்கு: