CMP பாலிஷிங் ஸ்லரி

Veteksemicon இன் CMP மெருகூட்டல் குழம்பு முக்கியமாக CMP இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் ஸ்லரியில் செமிகண்டக்டர் பொருட்களைத் திட்டமிடுவதற்கு பாலிஷ் சிராய்ப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

அல்ட்ரா-ஹை ப்யூரிட்டி தொடர் தயாரிப்புகளுக்கான செயல்திறன் குறிகாட்டிகள்

உயர்-தூய்மை தொடர் தயாரிப்புகளுக்கான செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகள்

அளவுரு	அலகு	உயர்-தூய்மை தொடர் தயாரிப்புகளுக்கான செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகள்
		WGXY-1Z	WGXY-2Z	WGXY-3Z	WGXY-4Z	WGXY-5Z	WGXY-6Z	WGXY-7Z
சராசரி சிலிக்கா துகள் அளவு	nm	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
நானோ துகள்களின் அளவு விநியோகம் (PDI)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
தீர்வு pH	1	9.5± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2	9.5 ± 0.2
திடமான உள்ளடக்கம்	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
தோற்றம்	--	வெளிர் நீலம்	நீலம்	வெள்ளை	ஆஃப்-வெள்ளை	ஆஃப்-வெள்ளை	ஆஃப்-வெள்ளை	ஆஃப்-வெள்ளை
துகள் உருவவியல் X	X: S- pherical；B- வளைந்த
நிலைப்படுத்தும் அயனிகள்	எம்:ஆர்கானிக் அமீன்;கே:பொட்டாசியம் ஹைட்ராக்சைடு;என்:சோடியம் ஹைட்ராக்சைடு;அல்லது பிற கூறுகள்
உலோக தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்	Z:உயர்-தூய்மை தொடர்(H தொடர்≤1ppm;L தொடர்≤10ppm);தரநிலை தொடர் (M தொடர் ≤300ppm)

CMP பாலிஷிங் ஸ்லரி தயாரிப்பு பயன்பாடுகள்:

● ஒருங்கிணைந்த சுற்று ILD பொருட்கள் CMP

● ஒருங்கிணைந்த சுற்று Poly-Si பொருட்கள் CMP

● செமிகண்டக்டர் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் செதில் பொருட்கள் CMP

● செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள் CMP

● ஒருங்கிணைந்த சுற்று STI பொருட்கள் CMP

● ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உலோகம் மற்றும் உலோக தடை அடுக்கு பொருட்கள் CMP