MOCVDக்கான உயர்-தூய்மை ஒளிபுகா குவார்ட்ஸ் ஷீல்ட் & ஷட்டர்

1. தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

உங்களின் குறிப்பிட்ட உபகரண மாதிரிகளுடன் சரியான பொருத்தத்தை உறுதி செய்வதற்காக உங்கள் தொழில்நுட்ப வரைபடங்களின் அடிப்படையில் உயர் துல்லியமான எந்திரத்தை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

2. முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

● MOCVD செயல்முறை பாதுகாப்பு: எதிர்வினை சூழலைப் பாதுகாக்க அத்தியாவசிய உள் கவசங்கள்/லைனர்களாக சேவை செய்தல்.

● செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி: மெல்லிய-பட வளர்ச்சியின் போது ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை நிலைப்படுத்தலுக்கு உயர்-துல்லிய ஷட்டர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

● பரந்த-பேண்ட்கேப் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி: GaN மற்றும் பிற மேம்பட்ட பொருட்களுக்கான அதிக தேவை சூழல்களுடன் இணக்கமானது.

3. VETEK குவார்ட்ஸ் தீர்வுகளை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

● சிறந்த வெப்ப கதிர்வீச்சு மேலாண்மை: நமது பால் வெள்ளை குவார்ட்ஸில் அதிக அடர்த்தியான நுண்குமிழ்கள் உள்ளன, அவை உயர் வெப்பநிலை வெப்பக் கதிர்வீச்சை (>1000°C) திறம்பட சிதறடித்து தடுக்கின்றன. இது வெப்பமூட்டும் கூறுகளிலிருந்து புலப்படும் மற்றும் அருகிலுள்ள அகச்சிவப்பு ஒளியை உறிஞ்சி, அதை தொலைதூர அகச்சிவப்பு கதிர்வீச்சாக மாற்றுகிறது, அதிக சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்கிறது.
● மாசு கட்டுப்பாடு & எளிதான பராமரிப்பு: தியாகம் செய்யும் அல்லது மாற்றக்கூடிய உள் லைனராக, குவார்ட்ஸ் ஷீல்டு விலையுயர்ந்த அறை சுவர்கள் மற்றும் ஹீட்டர்களில் துணை தயாரிப்பு படிவதைத் தடுப்பதன் மூலம் எதிர்வினை அறையை சுத்தமாக வைத்திருக்கிறது. இந்த பாகங்களை ஈரமான சுத்தம் (SPM+DHF தீர்வுகள் போன்றவை) மூலம் மீண்டும் உருவாக்கலாம் அல்லது அதிக செதில் விளைச்சலை உறுதிசெய்ய எளிதாக மாற்றலாம்.
● தீவிர இரசாயன எதிர்ப்பு: VETEK குவார்ட்ஸ் அடிக்கடி வெப்ப சுழற்சியைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் உலோக கரிமப் பொருட்கள் (TMGa போன்றவை) மற்றும் ஹைட்ரைடுகள் (ASH₃ போன்றவை) அரிப்பை எதிர்க்கும்.
● துல்லியமான செயல்முறை கட்டுப்பாடு: எங்கள் குவார்ட்ஸ் ஷட்டர்கள் அகச்சிவப்பு அல்லது இழை வெப்பத்தின் கீழ் உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கின்றன. அவற்றின் குறைந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை விரைவான இயந்திர பதிலை அனுமதிக்கிறது, துல்லியமான "அணு நிலை" வளர்ச்சிக் கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது மற்றும் பல-செதில் அல்லது பல-செயல்முறை மாறுதலின் போது குறுக்கு-மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.
● செலவு குறைந்த மாற்று: கடுமையான பட்ஜெட் தேவைகள் கொண்ட திட்டங்களுக்கு, எங்கள் குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள் பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது நம்பகமான நுழைவுப் புள்ளியை வழங்குகின்றன, இது MOCVD அமைப்புகளுக்கு அத்தியாவசிய பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்பாட்டை வழங்குகிறது.