செய்தி

சிலிக்கான் கார்பைடு நானோ பொருட்களின் (sic) நானோமீட்டர் அளவில் (1-100nm) குறைந்தது ஒரு பரிமாணத்தைக் கொண்ட பொருட்கள். இந்த பொருட்கள் பூஜ்ஜியமாக இருக்கலாம், ஒன்று, இரண்டு-, அல்லது முப்பரிமாணமாக இருக்கலாம் மற்றும் மாறுபட்ட பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்வரும் உள்ளடக்கம் CVD SIC இன் தயாரிப்பு வகைப்பாடு மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளின் அறிமுகமாகும்

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் TAC பூச்சின் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் TAC பூச்சு தயாரிப்புகளின் ஒட்டுமொத்தமாக ஒரு விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD SUSSCECTOR இன் தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் MOCVD SUSCECEPTOR தயாரிப்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

ASMக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்ஸி அமைப்பினுள் ஒரு மாற்றுப் பகுதி மட்டுமல்ல. இது ஒரு செயல்முறை-முக்கியமான கேரியர் ஆகும், இது வெப்ப சீரான தன்மை, செதில் தூய்மை, பூச்சு ஆயுள், அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால உற்பத்தி செலவு ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது.

ஒரு CVD TaC பூச்சு கவர் என்பது ஒரு பாதுகாப்பு மூடி அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு மட்டுமல்ல. உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், இது அறையின் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, பகுதி வாழ்நாள் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கலாம்.