செய்தி

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பிற துறைகளில் SiC பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளின் முக்கிய பகுதியாக மாறும். SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களின் மையமாக, வெப்ப புல வடிவமைப்பு தொடர்ந்து விரிவான கவனத்தையும் ஆழமான ஆராய்ச்சியையும் பெறும்.

தொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப முன்னேற்றம் மற்றும் ஆழமான பொறிமுறை ஆராய்ச்சி மூலம், 3C-SIC ஹீட்டோரோபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி தொழிலில் மிக முக்கிய பங்கு வகிக்கும் மற்றும் உயர் திறன் கொண்ட மின்னணு சாதனங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.

இடஞ்சார்ந்த ALD, இடஞ்சார்ந்த தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அணு அடுக்கு படிவு. செதில் வெவ்வேறு நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்கிறது மற்றும் ஒவ்வொரு நிலையிலும் வெவ்வேறு முன்னோடிகளுக்கு வெளிப்படும். கீழே உள்ள படம் பாரம்பரிய ALD மற்றும் இடஞ்சார்ந்த தனிமைப்படுத்தப்பட்ட ALD ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான ஒப்பீடு ஆகும்.

சமீபத்தில், ஜேர்மன் ஆராய்ச்சி நிறுவனமான ஃபிரான்ஹோஃபர் ஐ.ஐ.எஸ்.பி டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் ஆராய்ச்சி மற்றும் வளர்ச்சியில் ஒரு முன்னேற்றத்தை ஏற்படுத்தியுள்ளது, மேலும் சி.வி.டி படிவு தீர்வை விட மிகவும் நெகிழ்வான மற்றும் சுற்றுச்சூழல் நட்பாக இருக்கும் ஒரு தெளிப்பு பூச்சு தீர்வை உருவாக்கியது, மேலும் வணிகமயமாக்கப்பட்டுள்ளது.