AMAT கவர் மேல் குவார்ட்ஸ் 8 அங்குல PCII

AMAT கவர் டாப் குவார்ட்ஸ் 8 அங்குல PCII (பகுதி எண். 0200-00218) என்பது 200mm (8-inch) PVD செயல்முறை அறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் கூறு ஆகும், குறிப்பாக அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் Endura® இயங்குதளத்துடன் (PCII சேம்பர்) இணக்கமானது.

அதி-உயர் தூய்மையுடன் இணைந்த குவார்ட்ஸில் இருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த கூறு, தூய்மையான மற்றும் நிலையான படிவு சூழலை பராமரிப்பதில் மாசுபாட்டைக் குறைப்பதன் மூலம் மற்றும் நிலையான பிளாஸ்மா நடத்தையை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

Vetek செமிகண்டக்டரில், கடுமையான பொருள் கட்டுப்பாடு மற்றும் பரிமாணத் துல்லியத்துடன் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பாகங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம், குறைக்கடத்தி ஃபேப்கள் மற்றும் உபகரணங்கள் சேவை வழங்குநர்களுக்கு நம்பகமான மாற்றுகளை வழங்குகிறோம்.

முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்:

செயல்முறை விண்ணப்பம் & அறை நிலை

இந்த குவார்ட்ஸ் கவர் குறிப்பாக அலுமினியம் (Al), டைட்டானியம் (Ti) மற்றும் தாமிரம் (Cu) போன்ற உலோக மெல்லிய படல படிவுக்கான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் PVD ஸ்பட்டரிங் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

அறை நிலை

இந்த கூறு PVD அறையின் மேல் பகுதியில் நிறுவப்பட்டுள்ளது, இது பொதுவாக மேல் கவர் பகுதி என குறிப்பிடப்படுகிறது, அங்கு இது வெளிப்படும்:

● பிளாஸ்மா வெளியேற்ற மண்டலங்கள்

● செயல்முறை வாயு ஓட்டம் பாதைகள்

● உலோக துகள் படிவு சூழல்கள்

அறையில் செயல்பாட்டு பங்கு

அறையின் கட்டமைப்பிற்குள், கவர் டாப் குவார்ட்ஸ் உலோகம் அல்லாத பாதுகாப்புத் தடையாகவும், மின்காப்பு உறுப்பாகவும் செயல்படுகிறது, இது செதில்களுக்கு மேலேயும் இலக்குப் பகுதிக்கு அருகிலும் அமைந்துள்ளது.

அதன் இடம் இதற்கு முக்கியமானது:

● உலோக படிவுகளிலிருந்து உணர்திறன் அறை கூறுகளை பாதுகாக்கிறது

● RF பிளாஸ்மா சூழல்களில் மின் காப்புப் பராமரித்தல்

● நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செயல்முறை நிலைமைகளை ஆதரித்தல்

முக்கிய செயல்பாடுகள் & செயல்திறன் நன்மைகள்

1) மாசு கட்டுப்பாடு

PVD செயல்முறைகளின் போது, ​​sputtered உலோக அணுக்கள் செதில்களில் மட்டும் ஆனால் உள் அறை பரப்புகளில் டெபாசிட் முனைகின்றன.

இந்த குவார்ட்ஸ் கவர்:

● தியாக பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது

● முக்கியமான அறை கட்டமைப்புகளில் உலோகம் குவிவதைத் தடுக்கிறது

● துகள் உருவாக்கம் மற்றும் குறுக்கு மாசுபாட்டை குறைக்கிறது

முடிவு: மேம்படுத்தப்பட்ட செதில் விளைச்சல் மற்றும் செயல்முறை தூய்மை

2) பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை & மின் காப்பு

அதன் சிறந்த மின்கடத்தா பண்புகளுக்கு நன்றி, உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் உறுதி செய்கிறது:

● நிலையான RF புல விநியோகம்

● மின் குறுக்கீடு ஆபத்து குறைக்கப்பட்டது

● செயல்முறை சுழற்சிகள் முழுவதும் நிலையான பிளாஸ்மா அடர்த்தி

முடிவு: மேம்படுத்தப்பட்ட படம் சீரான தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும்

3) உயர்ந்த பொருள் தூய்மை

Vetek செமிகண்டக்டர் தூய்மையற்ற அறிமுகத்தைக் குறைக்க அதி-உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது.

● குறைந்த உலோக மாசுபாடு

● வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம்

● மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி முனைகளுக்கு ஏற்றது

முடிவு: கடுமையான ஃபேப்-நிலை தூய்மைத் தரங்களைப் பூர்த்தி செய்கிறது

4) சிறந்த பிளாஸ்மா & வெப்ப எதிர்ப்பு

கூறு தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:

● பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் அயனி குண்டுவீச்சு

● மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல்

முடிவு: நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு அதிர்வெண்

5) செலவு குறைந்த நுகர்வு வடிவமைப்பு

மாற்றக்கூடிய அறை நுகர்பொருளாக, இந்த பகுதி:

● விலையுயர்ந்த அறை வன்பொருளைப் பாதுகாக்கிறது

● பராமரிப்பு சுழற்சிகளை எளிதாக்குகிறது

● மொத்த உரிமைச் செலவைக் குறைக்கிறது (TCO)

Vetek செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

Vetek செமிகண்டக்டரில், உயர் செயல்திறன் கொண்ட குவார்ட்ஸ் கூறுகளை வழங்க, பொருள் அறிவியல் நிபுணத்துவத்தை குறைக்கடத்தி செயல்முறை புரிதலுடன் இணைக்கிறோம்.

எங்கள் நன்மைகள்:

● இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையுடன் துல்லியமான எந்திரம்

● கடுமையான மூலப்பொருள் தேர்வு மற்றும் கண்டுபிடிக்கும் தன்மை

● AMAT Endura இயங்குதளங்களுடன் நிரூபிக்கப்பட்ட இணக்கத்தன்மை

● உலகளாவிய குறைக்கடத்தி வாடிக்கையாளர்களுக்கு நிலையான வழங்கல்

● தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் மேம்படுத்தலுக்கான பொறியியல் ஆதரவு