குவார்ட்ஸ் எரிவாயு விநியோக தட்டு

குவார்ட்ஸ் எரிவாயு விநியோக தகடுகள், குவார்ட்ஸ் ஷவர்ஹெட்ஸ் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி புனையலில் முக்கியமான கூறுகள். குவார்ட்ஸின் விதிவிலக்கான தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலம், இந்த தட்டுகள் செதில் மேற்பரப்பில் செயல்முறை வாயுக்களின் சீரான மற்றும் நிலையான ஓட்டத்தை உறுதி செய்கின்றன. டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திரைப்படங்கள் அல்லது பொறிக்கப்பட்ட அம்சங்களின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை பராமரிக்க இந்த துல்லியமான விநியோகம் அவசியம்.

உயர் தூய்மை இணைந்த குவார்ட்ஸின் முக்கிய அம்சங்கள்

பொருள்: 99.99%உயர் தூய்மை ஃபியூஸ் குவார்ட்ஸ்

வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: 1000 க்கு மேல் வெப்பநிலையைத் தாங்குகிறது

● அரிப்பு எதிர்ப்பு: செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு எதிரான சிறந்த ஆயுள்

● துல்லியமான வாயு ஓட்டம்: உகந்த வாயு விநியோகம் மற்றும் படிவு சீரான தன்மைக்கான சீரான மைக்ரோ-துளை விநியோகம்

தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்பு: அளவு, துளை முறை மற்றும் பெருகிவரும் அம்சங்கள் குறிப்பிட்ட உபகரண மாதிரிகளுக்கு வடிவமைக்கப்படலாம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பாத்திரங்கள்

1. உடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) மற்றும் வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)

பங்கு.

குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்:

Conter சீரான கட்டுப்பாடு: தட்டின் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட மைக்ரோ-ஹோல்கள் வாயு ஓட்டம் மற்றும் செறிவு முழு செதில் மேற்பரப்பிலும் ஒரே மாதிரியாக இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன. நிலையான தடிமன் மற்றும் செயல்திறனுடன் படங்களை டெபாசிட் செய்ய இது மிக முக்கியம்.

● மாசு தடுப்பு: குவார்ட்ஸின் அதிக தூய்மை தட்டு செயல்முறை வாயுக்களுடன் செயல்படுவதிலிருந்து அல்லது அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தடுக்கிறது. இது படத்தின் தூய்மையை பராமரிக்கிறது மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது.

2. பிளாஸ்மா-மேம்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (பி.இ.சி.வி.டி)

பங்கு: PECVD இல், குவார்ட்ஸ் ஷவர்ஹெட் எதிர்வினை வாயுக்களை வழங்குவதோடு மட்டுமல்லாமல் பிளாஸ்மா தலைமுறைக்கு ஒரு மின்முனையாகவும் செயல்படுகிறது.

குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்:

● பிளாஸ்மா பற்றவைப்பு: ஷவர்ஹெட் பொதுவாக பிளாஸ்மாவை உருவாக்க ரேடியோ-அதிர்வெண் (ஆர்எஃப்) சக்தி மூலத்துடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. பிளாஸ்மாவுக்குள் உள்ள உயர் ஆற்றல் துகள்கள் வாயு எதிர்வினைகளின் சிதைவை ஊக்குவிக்கின்றன, குறைந்த வெப்பநிலையில் திரைப்பட படிவுகளை செயல்படுத்துகின்றன.

● வெப்ப நிலைத்தன்மை: குவார்ட்ஸ் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது உயர் வெப்பநிலை பிளாஸ்மா சூழலைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது. இது செயல்முறை அறைக்குள் ஒரு சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்க உதவுகிறது, மேலும் திரைப்படத் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேலும் உறுதி செய்கிறது.

3. உலர் பொறித்தல்

பங்கு.

குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்:

● எட்ச் சீரான தன்மை: தட்டு ஒரு சீரான ஓட்டம் மற்றும் எட்ச் வாயுக்களின் செறிவை உறுதி செய்கிறது, இது முழு செதில் முழுவதும் நிலையான எட்ச் ஆழம் மற்றும் சுயவிவரத்தை உறுதி செய்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்குத் தேவையான துல்லியமான வடிவங்களை அடைய இது முக்கியமானது.

● அரிப்பு எதிர்ப்பு: எட்ச் வாயுக்களின் வலுவான அரிக்கும் பண்புகள் நீடித்த பொருளின் அவசியம். குவார்ட்ஸின் உயர் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஷவர்ஹெட்டின் ஆயுட்காலம் விரிவுபடுத்துகிறது மற்றும் செயல்முறை குறுக்கீடுகளின் அபாயத்தை குறைக்கிறது.

4. செதில் சுத்தம்

பங்கு.

குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்:

● சீரான துப்புரவு: துப்புரவு வாயுக்கள் செதிலின் ஒவ்வொரு பகுதியையும் அடைவதை தட்டு உறுதி செய்கிறது, இது முழுமையான மற்றும் சீரான துப்புரவு செயல்முறையை செயல்படுத்துகிறது.

● வேதியியல் பொருந்தக்கூடிய தன்மை: பரந்த அளவிலான துப்புரவு இரசாயனங்கள் கொண்ட குவார்ட்ஸின் பொருந்தக்கூடிய தன்மை எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் துப்புரவு செயல்முறையின் தூய்மை மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது.