தொழில் செய்திகள்

கிடைக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பங்களில், பெரிய அளவிலான எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் SiC படிக வளர்ச்சி உலை மேம்பட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுடன் பெரிய விட்டம், குறைந்த குறைபாடுள்ள SiC படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான ஒரு முக்கியமான தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளது. இந்தத் தொழில்நுட்பம் எவ்வாறு செயல்படுகிறது, அதன் நன்மைகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தொழில்துறை தலைவர்கள் Veteksemi இன் புதுமையான தீர்வுகளை ஏன் நம்புகிறார்கள் என்பதை இந்தக் கட்டுரை ஆராய்கிறது.

ASMக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்ஸி அமைப்பினுள் ஒரு மாற்றுப் பகுதி மட்டுமல்ல. இது ஒரு செயல்முறை-முக்கியமான கேரியர் ஆகும், இது வெப்ப சீரான தன்மை, செதில் தூய்மை, பூச்சு ஆயுள், அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால உற்பத்தி செலவு ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது.

ஒரு CVD TaC பூச்சு கவர் என்பது ஒரு பாதுகாப்பு மூடி அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு மட்டுமல்ல. உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், இது அறையின் தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, பகுதி வாழ்நாள் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கலாம்.