தொழில் செய்திகள்

பொருள் ஆதாரம் மற்றும் தூய்மைக் கட்டுப்பாடு, செயல்முறை அளவுரு தேர்வுமுறை, பூச்சு ஒட்டுதல், உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை, சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு போன்ற குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான CVD TaC பூச்சு செயல்முறை எதிர்கொள்ளும் குறிப்பிட்ட சவால்களை கட்டுரை பகுப்பாய்வு செய்கிறது. அத்துடன் தொடர்புடைய தொழில் தீர்வுகள்.

SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் பயன்பாட்டுக் கண்ணோட்டத்தில், இந்தக் கட்டுரை TaC பூச்சு மற்றும் SIC பூச்சு ஆகியவற்றின் அடிப்படை இயற்பியல் அளவுருக்களை ஒப்பிடுகிறது, மேலும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறைக்கப்பட்ட அசுத்தங்கள் மற்றும் SiC பூச்சுக்கு மேல் TaC பூச்சுகளின் அடிப்படை நன்மைகளை விளக்குகிறது. குறைந்த செலவுகள்.

ஃபேப் தொழிற்சாலையில் பல வகையான அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன. பொதுவான உபகரணங்களில் லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், பொறித்தல் செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், மெல்லிய திரைப்பட படிவு செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், ஊக்கமருந்து செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், சி.எம்.பி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், செதில் துகள் கண்டறிதல் உபகரணங்கள் மற்றும் பிற அளவீட்டு உபகரணங்கள் அடங்கும்.