தொழில் செய்திகள்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மெல்லிய படப் பொருட்களை அறையில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் SiO2, SiN போன்றவை அடங்கும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வகைகளில் PECVD மற்றும் LPCVD ஆகியவை அடங்கும். வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு வகையைச் சரிசெய்வதன் மூலம், வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய CVD உயர் தூய்மை, சீரான தன்மை மற்றும் நல்ல படக் கவரேஜ் ஆகியவற்றை அடைகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளை விவரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் சின்தேரிங் விரிசல்களின் காரணங்கள் மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடைய தீர்வுகள் பற்றிய பகுப்பாய்வு குறித்தும் இது கவனம் செலுத்துகிறது.