செய்தி

எபிடாக்ஸி மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு அவற்றின் திரைப்பட வளர்ச்சி வழிமுறைகள் மற்றும் இயக்க நிலைமைகளில் உள்ளது. எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்குநிலை உறவைக் கொண்ட படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக மெல்லிய திரைப்படத்தை வளர்க்கும் செயல்முறையை குறிக்கிறது, அதே அல்லது ஒத்த படிக கட்டமைப்பைப் பராமரிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, ALD என்பது ஒரு படிவு நுட்பமாகும், இது வெவ்வேறு வேதியியல் முன்னோடிகளுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறை வெளிப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது, இது ஒரு நேரத்தில் ஒரு மெல்லிய திரைப்படத்தை உருவாக்கும்.

CVD TAC பூச்சு என்பது ஒரு அடி மூலக்கூறில் (கிராஃபைட்) அடர்த்தியான மற்றும் நீடித்த பூச்சுகளை உருவாக்குவதற்கான ஒரு செயல்முறையாகும். இந்த முறையானது உயர் வெப்பநிலையில் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் TaC ஐ வைப்பதை உள்ளடக்குகிறது, இதன் விளைவாக சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புடன் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு உருவாகிறது.

8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) செயல்முறை முதிர்ச்சியடையும் போது, ​​உற்பத்தியாளர்கள் 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குலத்திற்கு மாற்றத்தை துரிதப்படுத்துகிறார்கள். சமீபத்தில், குறைக்கடத்தி மற்றும் ரெசோனாக் 8 அங்குல எஸ்.ஐ.சி உற்பத்தி குறித்த புதுப்பிப்புகளை அறிவித்தது.